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[实用新型]双腔室真空电机-CN201820707109.2有效
发明人：胡华 -专利权人：成都鸿图电器有限责任公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H02K5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了双腔室真空电机，包括电机壳体、第一腔室、第二腔室、阻隔板、排气嘴、隔气盖板、弹簧片、密封条、密封板、定子、转子、转轴孔、转轴所述电机壳体内部设置阻隔板将电机内部空间隔成第一腔室和第二腔室两个腔室，第一腔室内部装有定子和转子，转子的转轴一端伸出电机壳体外，转轴另一端穿过阻隔板上的转轴孔，电机壳体中第一腔室的一侧置有排气嘴，排气嘴的内嘴上置有弹簧片，弹簧片的一端固定在排气嘴的内嘴边沿，弹簧片另一端连接隔气盖板本实用新型避免了转子尾部暴露在外而引起的进气风险，在抽真空的过程中采用抽真空管插入电机上的排气嘴进行抽真空，操作方便、安全，快捷。
排气嘴弹簧片转子第一腔室电机壳体阻隔板转轴本实用新型第二腔室真空电机抽真空密封板双腔室转轴孔盖板隔气内嘴密封条电机内部空间抽真空管螺丝固定腔室内部一端连接转子尾部电机壳体内部进气腔室外嘴电机穿过伸出暴露安全

[发明专利]用于电机的导体的腔室-CN201510273179.2有效
发明人： J.比亚里克;L.D.J.克勒文塞;D.马德勒;J-N.西蒙;C.阿纳 -专利权人：通用电器技术有限公司
申请日： 2015-05-26 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： H02K15/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于电机的导体的腔室。提供用于电机的定子线棒的可靠腔室的问题通过定子线棒腔室来解决，腔室包围在腔室的第一笔直部分中的一定数目的中空导体、在第二锥形部分中的一定数目的中空导体以及在第三笔直部分中的一定数目的中空导体和相邻实心导体，而腔室的第一部分利用安装在第一部分的边缘处的环和适于环的管嘴来封闭。该问题还通过用于定子线棒腔室的制造方法来解决，该方法包括：将一定数目的中空导体布置在腔室的第一笔直部分中、将所述数目的中空导体布置在腔室的第二锥形部分中，以及将所述数目的中空导体和相邻实心导体布置在腔室的第三笔直部分中，从而通过将环安装在第一部分的边缘处且使管嘴适于环来用环封闭腔室的第一部分。
用于电机导体

[发明专利]腔室的内衬和腔室-CN201710357147.X有效
发明人：张军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种腔室的内衬和腔室。该腔室的内衬包括抽气内衬和均流内衬，所述均流内衬环绕设置于所述抽气内衬的内侧，所述均流内衬至少包括本体和隔离部，所述隔离部上开设有至少两个孔洞，以将所述均流内衬与所述抽气内衬之间的间隙隔离为连通的进气区域与出气区域；所述腔室内的气体经所述进气区域进入所述孔洞进行均流后，进一步通过所述抽气区域连通的排气口排出至所述抽气内衬的外部。该腔室的内衬，实现了对出气口与进气口之间的空间区域的划分，实现了工艺气体及副产物经过匀流后被真空抽走，实现了气体分布的均匀性。
内衬

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201810457537.9有效
发明人：师帅涛;丁安邦;陈鹏;史小平;李春雷;兰云峰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件及反应腔室，该腔室组件包括：电极板，其与射频源电连接，且在电极板上设置有进气口；匀流部件，其采用绝缘材料制作，且与电极板共同构成匀流空间，进气口与匀流空间连通，并且在匀流部件上设置有多个出气口，出气口分别与匀流空间和反应腔室连通。本发明提供的腔室组件，其避免产生空心阴极放电，从而可以提高等离子体的稳定性。
组件反应

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201811511088.8有效
发明人：王帅伟;兰云峰;王勇飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件，包括腔体、腔室盖，其特征在于，还包括铰接模块，所述铰接模块设置在所述腔体与所述腔室盖之间，用于实现所述腔室盖的开合，且在所述铰接模块内设有气体通路，所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述腔室盖通入所述腔体的内部即使腔室盖处于开启状态，气体通路仍然处于封闭状态，而不会暴露在大气环境中，从而避免了在开启腔室盖，以取放衬底或者维护腔室时，因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路，进而可以保证腔室的洁净度，降低薄膜的颗粒缺陷
组件反应

[发明专利]腔室-CN201611061883.2在审
发明人：杨敬山;郭浩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室，包括用于承载被加工工件的承载件，以及设置在其上方的加热装置，该加热装置用于朝向被加工工件辐射热量，加热装置包括：安装板，设置在承载件的上方；热源，设置在安装板的下方，且沿安装板的周向间隔分布本发明提供的腔室，其可以满足对多种尺寸的被加工工件的加热均匀性的要求。
安装板被加工工件加热装置热源调节组件承载件腔室加热均匀性辐射热量径向移动周向间隔种腔室承载

[发明专利]轮边驱动总成的机壳和轮边驱动总成-CN202011381760.3有效
发明人：杨胜麟;王建新;高缘;邹小松;王坤城 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H02K9/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种轮边驱动总成的机壳，机壳包括电机壳体(100)，电机壳体(100)包括用于安装左驱动电机的左电机腔室(110)、用于安装右驱动电机的右电机腔室(120)和电机冷却液流道，电机冷却液流道围绕左电机腔室(110)和右电机腔室(120)布置并设置为使得冷却液依次交替地冷却左电机腔室(110)和右电机腔室(120)，电机冷却液流道集成于电机壳体内，并围绕左电机腔室和所述右电机腔室布置，电机冷却液流道内冷却液依次交替地冷却左电机腔室和右电机腔室，保证冷却液温度分布均匀，以便在减少占用空间的基础上，均匀冷却电机，保障轮边驱动总成的稳定运行。
驱动总成机壳

[实用新型]一种生物质用多腔破碎器-CN201621003018.8有效
发明人：叶丽萍;李曦荣 -专利权人：中山益思节能环保科技有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及生物质破碎设备技术领域，具体涉及一种生物质用多腔破碎器，它包括物料存储室，物料存储室上设置有振动式混料室，振动式混料室上设置有破碎室；所述破碎室内分隔成前左腔室、前右腔室、后左腔室和后右腔室；所述前左腔室、前右腔室、后左腔室和后右腔室的顶面上分别设置有电机A、电机B、电机C和电机D；所述电机A、电机B、电机C和电机D分别与旋转杆A、旋转杆B、旋转杆C、旋转杆D相连；所述旋转杆A、旋转杆B、旋转杆C、旋转杆D分别设置在前左腔室、前右腔室、后左腔室和后右腔室内；它采用针对不同类别的生物质原料进行分别破碎处理；它具有结构简单，成本低，缩短了初加工处理时间，极大地提高了工作效率。
一种生物质用多腔破碎

[发明专利]智能腔室及智能腔室元件-CN201910307866.X在审
发明人：西蒙·尼古拉斯·宾斯;布赖恩·T·韦斯特;罗纳德·维恩·肖尔;罗杰·M·约翰逊;迈克尔·S·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：处理腔室包括腔室主体、一或多个监控装置，及一或多个天线，腔室主体具有设置于腔室主体上的腔室盖组件，一或多个监控装置与腔室盖组件耦接，一或多个天线邻近于与一或多个监控装置通信的腔室盖组件设置。
监控装置腔室主体腔室盖智能腔天线元件处理组件设置腔室耦接邻近通信

[发明专利]腔室冷却装置及反应腔室-CN201910160484.9有效
发明人：弓利军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室冷却装置及反应腔室，包括槽状本体、隔水板、冷却管和多个喷嘴，其中，冷却管设置在槽状本体相对的两个侧边，且用于向多个喷嘴中通入冷却介质，多个喷嘴用于向槽状本体中通入冷却介质，隔水板覆盖在槽状本体上本发明提供的腔室冷却装置及反应腔室，其能够避免空气在槽状本体中无法排除，并且减少槽状本体中冷却介质乱流的情况发生，从而提高腔室冷却装置的冷却效果。
冷却装置反应

[发明专利]组合处理腔室和处置腔室-CN201910130024.1有效
发明人：王安川;X·陈;Z·李;H·哈玛纳;Z·陈;C-M·徐;J·黄;N·K·英格尔;D·卢博米尔斯基;S·文卡特拉马;R·撒库尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-06 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及组合处理腔室和处置腔室。提供用于控制湿气污染物造成的工艺缺陷的系统、腔室及工艺。系统可提供用于腔室的配置以在真空或受控环境中施行多项操作。腔室可包括组合腔室设计中的配置以提供附加处理功能。
组合处理处置

[实用新型]用于处理腔室的腔室部件-CN201820695755.1有效
发明人：邬笑炜;D·芬威克;詹国栋;J·Y·孙;M·R·赖斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：公开了一种用于处理腔室的腔室部件。腔室部件包括：由金属或陶瓷中的至少一种构成的制品；以及在所述制品的至少一个表面上的钇基氧氟化物层，所述钇基氧氟化物层具有10nm至300μm的厚度，并且其中所述钇基氧氟化物层具有选自由以下构成的组的成分
腔室部件氧氟化物钇基处理腔室复合陶瓷第二相陶瓷金属自由

[其他]用于处理腔室的腔室元件-CN202090000944.8有效
发明人：林丽萍;斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏;艾娜．王 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：揭示了用于处理腔室的腔室元件。在一个实施方式中，用于处理腔室的所述腔室元件包括具有一体式整体构造的元件部件主体。元件部件主体具有外表面。在外表面上形成设计复合表面。
用于处理元件

[发明专利]智能腔室及智能腔室元件-CN201580008206.1有效
发明人：西蒙·尼古拉斯·宾斯;布赖恩·T·韦斯特;罗纳德·维恩·肖尔;罗杰·M·约翰逊;迈克尔·S·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：处理腔室包括腔室主体、一或多个监控装置，及一或多个天线，腔室主体具有设置于腔室主体上的腔室盖组件，一或多个监控装置与腔室盖组件耦接，一或多个天线邻近于与一或多个监控装置通信的腔室盖组件设置。
智能元件

[发明专利]等离子腔室的腔室屏蔽-CN02817066.0无效
发明人：布瑞·詹姆斯·古德 -专利权人：现代半导体美国公司
申请日： 2002-08-28 - 公布日： 2004-11-24 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于诸如离子植入机的源腔室之类的等离子腔室的屏蔽系统，包括：一个顶屏蔽板(502)，构形成附着在等离子腔室的顶部内表面；一个底屏蔽板(504)，构形成附着在等离子腔室的底部内表面；和一个后屏蔽板(506)，构形成附着在等离子腔室的后部内表面，其中，顶屏蔽板(502)的后缘与后屏蔽板(506)的顶缘相交，底屏蔽板(504)的后缘(528)与后屏蔽板(506)的底缘相交，从而顶屏蔽板(502)、底屏蔽板(504)和后屏蔽板(506)装配在一起基本上盖住腔室的内表面，从而在等离子腔室工作时减少在等离子腔室内侧表面上的沉积。
等离子屏蔽

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