|
钻瓜专利网为您找到相关结果 4078622个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]显影方法和显影装置-CN201510336734.1有效
-
竹口博史;井关智弘;寺下裕一
-
东京毅力科创株式会社
-
2015-06-17
-
2019-11-12
-
G03F7/30
- 本发明提供一种能够形成CD分布均匀性足够高的抗蚀剂的显影方法。本发明涉及的显影方法,其用于对基板表面上的曝光后的抗蚀剂膜进行显影来形成抗蚀剂图案,依序具有如下步骤:(A)向旋转的基板供给显影液的步骤;(B)使抗蚀剂膜与显影液反应的步骤;和(C)为了使抗蚀剂膜与显影液的反应停止而从抗蚀剂膜表面除去显影液的步骤,在(A)步骤中,使用接液喷嘴,该接液喷嘴具有显影液的排出口和从排出口在横向扩展且与抗蚀剂膜相对的面,并且在(C)步骤中,使除去了显影液的抗蚀剂膜表面的反应停止区域和与显影液的反应持续进行的抗蚀剂膜表面的反应进行区域的边界从抗蚀剂膜的中心部向周缘部移动
- 显影方法装置
|