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[发明专利]一种高精跟踪摄像机调焦光轴角度偏差的测试方法-CN201811209398.4有效
发明人：王胜;杨龙;谢芳;李先贤;黄明和;王艳;李峰;张庆滨;蒙丽君;郑孟 -专利权人：孝感华中精密仪器有限公司
申请日： 2018-10-17 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： H04N17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高精跟踪摄像机调焦光轴角度偏差的测试方法，平行光管的分划板口径小于光电自准直仪的口径，光学平晶的口径大于光电自准直仪的口径，光学平晶采用前、后面平行度高的光学平晶；本发明简单易行，提高了测量精度
一种跟踪摄像机调焦光轴角度偏差测试方法

[发明专利]标准镜单元、标准镜安装组件及晶圆检测装置-CN202210432627.9在审
发明人：曾安;唐寿鸿;陈建强;朱充 -专利权人：南京中安半导体设备有限责任公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本申请提供一种标准镜单元、标准镜安装组件及晶圆检测装置，所述标准镜单元包括标准镜及至少两个凸块，所述至少两个凸块固定在所述标准镜的外周表面上且沿周向间隔设置。本申请提供的技术方案，在标准镜的外周表面设置凸块，通过凸块来安装标准镜，可以使得安装后的两个标准镜之间具有较小的间隙，在待检测的物体例如晶圆位于该两个标准镜之间进行检测时，由于较小的间隙中气阻较大，晶圆不容易产生振动，利于提升晶圆的检测精度。
标准单元安装组件检测装置

[发明专利]晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202211637558.1在审
发明人：刘梦茹;熊星;李永杰 -专利权人：苏州华兴源创科技股份有限公司
申请日： 2022-12-17 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。本申请通过获取图像坐标系下的待测晶圆与标准晶圆间的第一位置偏差，以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，完成对晶圆检测设备的拍摄点位的补偿，不需要对晶圆的位置进行调整，减少了晶圆检测定位的时间，提高了晶圆检测设备的效率
检测设备定位方法装置计算机存储介质

[发明专利]检测血液中奥氮平的方法-CN201911099549.X在审
发明人：雒琴;贾永娟;倪君君 -专利权人：北京和合医学诊断技术股份有限公司
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G01N30/89 文献下载
摘要：本发明的检测血液中奥氮平的方法包括：制备奥氮平标准储备液、制备奥氮平的标准中间液、制备内标工作液、制备标准溶液和利用液相色谱‑质谱联用仪检测标准溶液，拟合得到奥氮平对应的标准曲线方程为：y
奥氮平血液检测制备奥氮平质谱联用仪液相色谱标准曲线方程制备标准溶液标准储备液准确度标准溶液技术指标检测结果特异性强消除系统血液样品工作液灵敏度内标物中间液标定氮平内标拟合制备回收率分析

[发明专利]对准标记的制作方法及晶圆键合方法-CN202210677258.X有效
发明人：张祥平;李海峰;古哲安;林士程 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本发明提供一种对准标记的制作方法及晶圆键合方法，包括提供标准掩模版，在所述标准掩模版上形成有对准标记图案；计算待标记的所述晶圆的曝光区域与所述标准掩模版的曝光区域的差值，并根据所述差值调整曝光机台的曝光参数；根据所述曝光参数将所述标准掩模版上的对准标记图案分别转移至具有不同曝光区域的所述晶圆。本发明通过一个标准掩模版即可在不同尺寸的晶圆上制作对准标记，节省掩模版成本。进一步的，在晶圆键合过程中，可以使用同一掩模版对不同的承载晶圆制作对准标记以匹配器件晶圆，满足不同产品的键合需求，针对每个需要承载晶圆键合的产品都能节省一块掩模版，具有实际效益。
对准标记制作方法晶圆键合方法

[发明专利]一种航空件超高精度端面平面度检测成像装置及检测方法-CN201811427991.6在审
发明人：朱运;邰炳芳 -专利权人：中国航发长春控制科技有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种航空件超高精度端面平面度检测成像装置及检测方法涉及机械密封端面的平面度检测技术领域，解决了检测效率和测量准确度均较低的问题，包括实木主体盒、平晶托盘、平晶、干涉光源、CCD传感器、万向调节支架和计算机实木主体盒的底座上设有平面镜，后侧板上设有毛玻璃，左侧板、右侧板和上板的内表面上设有黑色遮光层，上板上设有安装平晶托盘的槽孔；平晶放置在平晶托盘上，干涉光源安装在实木主体盒内，CCD传感器连接万向调节支架本发明通过CCD传感器和万向调节支架，使干涉条纹清晰的呈现在计算机上，弥补了平晶检测平面度时测量结果难以高效准确读取的缺陷，提高零件检测效率和准确度。
平晶万向调节支架托盘主体盒实木检测成像装置检测端面平面度干涉光源准确度航空件上板计算机干涉条纹图像读取黑色遮光层平面度检测干涉条纹机械密封零件检测后侧板毛玻璃内表面平面度平面镜右侧板左侧板槽孔底座测量发送拍摄清晰

[发明专利]一种砂轮轴倾斜角度测量方法-CN201210436120.7有效
发明人：霍凤伟;康仁科;郭东明;冯光 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2012-11-05 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： G01C9/00 文献下载
摘要：一种砂轮轴倾斜角度测量方法，属于超精密磨削技术领域，采用一个激光位移传感器、一个光学平晶、一个工件轴、一个砂轮轴。其特征在于，激光位移传感器安装在砂轮轴的前端，其射出光束与砂轮轴的回转轴线平行，光学平晶夹持在工件轴前端中心处且光学平晶与工件轴的回转轴线垂直，转动砂轮轴时激光位移传感器的光斑能够通过光学平晶的中心。激光光斑中心到砂轮轴的回转轴线的距离和光学平晶的半径需要给定；通过测量激光位移传感器距光学平晶中心点和外周边上两点的距离来计算砂轮轴的回转轴线相对于工件轴的回转轴线的倾斜角度。
一种砂轮倾斜角度测量方法

[发明专利]改善键合面重合度残值的方法-CN202310189838.9在审
发明人：余兴;王清蕴 -专利权人：芯盟科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：所述改善键合面重合度残值的方法包括如下步骤：提供第一晶圆以及第二晶圆；对第一晶圆以及第二晶圆进行第一次光刻，使第一晶圆以及第二晶圆均形成标准对准标记；对第二晶圆进行第二次光刻，根据预获取的对准标记补偿值对第二晶圆的标准对准标记进行补偿，使第二晶圆形成补偿对准标记；以第一晶圆的标准对准标记以及第二晶圆的补偿对准标记为参考，键合第一晶圆以及第二晶圆，形成晶圆键合结构。上述技术方案，通过第一次光刻在两晶圆上产生相同的标准对准标记，减小两片晶圆对准标记的差异；引入第二次光刻在第二晶圆上进行标记补偿，以补偿键合时上下卡盘带来的重合度残值。
改善键合面重合度方法

[发明专利]一种鉴定二次电池失效原因的方法-CN200810141991.X有效
发明人：李永胜 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2008-08-23 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： G01N23/207 文献下载
摘要：本发明公开了一种鉴定二次电池失效原因的方法，包括对失效电池的电极材料取样，用X射线衍射仪进行分析，得到电极材料样品的X射线衍射图谱，然后对衍射图谱进行晶相检索分析得到样品晶相组成，将样品晶相组成与鉴定标准对比，找到鉴定标准中与样品晶相组成对应的标准晶相，该标准晶相所对应的电池失效原因即为所述失效电池的失效原因。
一种鉴定二次电池失效原因方法

[发明专利]预防晶圆破裂的监控方法-CN201310084533.8有效
发明人：朱陆君;陈宏璘;龙吟;倪棋梁;郭贤权 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-03-15 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种预防晶圆破裂的监控方法，包括：获得标准缺陷信号特征；得待检测晶圆的边缘缺陷信号特征；将所述待检测晶圆的边缘信号特征与所述标准缺陷信号特征进行比较，若所述待检测晶圆的边缘信号特征与所述标准缺陷信号特征匹配，则所述判断所述待检测晶圆为具有缺口缺陷的晶圆，存在破裂风险。本发明解决的问题是提供一种能够预防晶圆破裂的监控方法，对晶圆进行监控，提前发现并且处理存在破裂风险的晶圆，减少晶圆破裂引起颗粒缺陷以及产品良率降低等问题。
预防破裂监控方法

[发明专利]一种化学气相沉积装置的温度校准和控制方法-CN202111262182.6在审
发明人：闫韬;陈恩毅;丛海 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01K15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学气相沉积装置的温度校准和控制方法，该装置包括：晶圆承载台，测量晶圆承载台温度的第一温度传感器，用于加热该装置的加热器；校准方法包含：将一设置有标准接触式温度传感器的仿晶圆放在晶圆承载台上；启动加热器使该装置温度升高；将标准接触式温度传感器读数随时间的变化记录为标准温度变化值；将第一温度传感器读数随时间的变化记录为晶圆承载台温度变化值；将晶圆承载台温度变化值按时间对应校正为标准温度变化值其优点是：通过标准接触式温度传感器、仿晶圆和第一温度传感器，获取晶圆在工艺过程中的温度变化数据，并对第一温度传感器进行校准，提高了第一温度传感器温度测量的准确度，保证了晶圆生产的良品率。
一种化学沉积装置温度校准控制方法

[实用新型]一种量化LED固晶底胶流平的测试装置-CN202123449632.0有效
发明人：陈江聪;罗庆荣;曹锋 -专利权人：吉安市木林森新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本申请提供一种量化LED固晶底胶流平的测试装置，涉及胶水测试设备技术领域。所述量化LED固晶底胶流平的测试装置，包括测试架，所述测试架上转动设有用于放置待测固晶底胶的测试盘，以及用于检测所述测试盘内待测固晶底的胶滴流平扩散情况的检测机构，所述测试盘上表面沿其圆周方向依次排列设有多个用于放置待测固晶底胶的测试凹槽与现有技术相比，本申请结构简单，通过检测机构直接对测试盘内待测固晶底胶的胶滴流平扩散情况进行观察收集，实现自动检测，无需肉眼观察，提高准确度，方便快捷，测试盘上设置有多个测试凹槽，可一次测试多种固晶底胶或一次测量同种固晶底胶的多组数据
一种量化 led 固晶底胶流平测试装置

[实用新型]一种晶圆片打标机的定位机构-CN202022655062.X有效
发明人：丁波;李轶;陈瀚;赵耀;陈登奎;杭海燕 -专利权人：上海微世半导体有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆片打标机的定位机构，包括能够进行升降的旋转吸头、设于旋转吸头旁的用于往旋转吸头上取放晶圆片的上下料机构，还包括对位机构，对位机构包括两个能够相向移动的对中卡爪、设于一侧对中卡爪上的平边挡边、设于另一侧对中卡爪上的定位柱以及设于旋转吸头一侧的能够感应晶圆片平边经过的传感器，对中卡爪对称布置于所述旋转吸头中轴线的两侧，平边挡边和定位柱能够配合抵住晶圆片的平边和相对侧的弧形边缘。通过对中卡爪对晶圆片进行对中，使晶圆片的圆心对准旋转吸头的中心，进而有效提高定位精度，通过传感器、平边挡边和定位柱的配合对晶圆片进行角度定位，相比图像匹配的方式定位效率更高。
一种晶圆片打标机定位机构

[发明专利]激光量测机台扫描精度验证方法-CN200510034147.3无效
发明人：阙凌华;袁忠奎;徐韦;欣小波;林桂央 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2005-04-12 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种激光量测机台扫描精度验证方法，该方法包括下列步骤：采用透明平晶作为透明件的标准件，其平面度作为准确度的名义真值；以各种激光扫描方式对该标准件进行多次扫描，计算每种扫描方式所得平面度的平均值、标准差、平均值与名义真值的偏差；根据标准差及与名义真值的偏差，确认透明件的最适合扫描方式；在最适合扫描方式下设定各参数的值，对该标准件进行多次扫描及计算所得平面度的平均值、标准差及平均值与名义真值的偏差，以确认透明件的最适合扫描参数；在经过确认的扫描方式和扫描参数下，多次扫描该标准件，计算每种扫描方式下所得多个平面度值的平均值、标准差、平均值与名义真值的偏差，以判断重复性及准确性。
激光机台扫描精度验证方法

[发明专利]一种用于激光芯片制造中平边补偿对准的光刻方法-CN201610874047.X有效
发明人：孙丞;杨国文 -专利权人：西安立芯光电科技有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种用于激光芯片制造中平边补偿对准的光刻方法，首先，从某一批衬底对应的外延片中任意挑选一片，进行光刻、腐蚀、研磨、解理；其中，在光刻工艺完成后测量光刻图形与晶圆平边之间的偏转角度，在解理工艺完成后测量解理边与光刻图形之间的偏转角度，计算得出晶圆平边与解理边之间的偏转角度；然后，根据计算出的晶圆平边与解理边之间的偏转角度，在作业该衬底批次后续晶圆的第一步光刻时，人为地对晶圆平边与解理边之间的偏转进行补偿。本发明提出一种用于激光芯片制造中平边补偿对准的光刻方法，消除了晶圆平边和解理边的偏转不可控的因素，有效提高砷化镓激光芯片的成品率，且实现成本较低。
一种用于激光芯片制造中平补偿对准光刻方法