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- [实用新型]一种自动对位曝光设备-CN201921812097.0有效
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陈志特;王华;何增灿;黄海浩
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东莞科视自动化科技有限公司
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2019-10-26
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2020-05-19
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种自动对位曝光设备，包括光源模组和对位模组，还包括第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位，所述第一曝光工位和第二曝光工位分别设置在所述进出料工位的两侧；所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一工作框模组，三个所述工作框模组分别与一导向模组连接，以实现三个所述工作框模组在所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位之间的相互切换；所述光源模组位于所述第一曝光工位或所述第二曝光工位上；所述对位模组位于所述第一曝光工位上或所述第二曝光工位上本实用新型可同时进行对位曝光和进/出料，或同时进行对位、曝光以及进/出料，大大提高了该自动对位曝光设备的产能。
- 一种自动对位曝光设备
- [实用新型]一种自动对位双面曝光设备-CN201921812085.8有效
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陈志特;王华;何增灿;黄海浩
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东莞科视自动化科技有限公司
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2019-10-26
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2020-06-16
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H05K3/06
- 本实用新型公开了一种自动对位双面曝光设备，包括对位曝光装置和翻板装置，所述翻板装置设置在两个所述对位曝光装置之间，所述对位曝光装置和翻板装置通过一送料模组连接；其中，所述对位曝光装置包括光源模组、对位模组、第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位，所述第一曝光工位和第二曝光工位分别设置在所述进出料工位的两侧；所述第一曝光工位、第二曝光工位和进出料工位上均设有一工作框模组，三个所述工作框模组分别与一导向模组连接本实用新型可同时进行对位曝光和进/出料，或同时进行对位、曝光以及进/出料，大大提高了该自动对位双面曝光设备的产能；在两个曝光装置中设置翻板装置，使该自动对位双面曝光设备可实现双面曝光。
- 一种自动对位双面曝光设备
- [实用新型]3D盖板多工位曝光机-CN201621155814.3有效
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余燕青
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东莞市友辉光电科技有限公司
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2016-10-24
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2017-06-27
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G03F7/20
- 本实用新型涉及电子产品3D盖板技术领域，尤其是涉及3D盖板多工位曝光机，该装置具有上料输送带、出料输送带、曝光对位机构、光源及多个曝光工位，曝光对位机构和光源通过移动交替给不同曝光工位进行对位和曝光，每个曝光工位设有移动的工作台，3D盖板通过前机械手从上料输送带抓取放到工作台，卸料是通过后机械手从工作台取出，放到出料输送带；每个曝光工位安装有曝光MASK，通过曝光对位机构进行识别，发出指令调整工作台上的3D盖板位置与曝光MASK本实用新型实现多工位同时工作，对位、定位快捷准确，精度高，减少不必要的误差，工位之间工作衔接紧凑，利于3D玻璃盖板曝光实施。
- 盖板多工位曝光
- [实用新型]多工位3D盖板曝光机-CN201720942776.4有效
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余燕青
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东莞市友辉光电科技有限公司
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2017-07-31
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2018-02-27
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G03F7/20
- 本实用新型涉及多工位3D盖板曝光机，具有机座，机座上设有进料平台、上料工位、下料工位、出料平台及曝光工位；以及组装在机座上工作台、上料机械手、下料机械手、曝光MASK、对位系统、曝光光源，工作台实现多自由度调整，达到工作台上的盖板进行纠偏对位，工作台在工作初始位与曝光工位之间往复移动；曝光光源通过曝光MASK对工作台上的盖板曝光加工。本实用新型实现多工位曝光工作，上下料方便，对位和定位快捷准确，工位之间工作衔接紧凑，适应2D、2.5D、3D玻璃盖板曝光加工，提升工作效率及工作质量，也节约运行成本，对企业的生产效益带来可观的提升。
- 多工位盖板曝光
- [发明专利]全自动高速平行光曝光装置-CN202211186536.8在审
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余燕青;杜志航;周朝平
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东莞市友辉光电科技有限公司
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2022-09-28
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2022-12-02
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G03F7/20
- 本发明公开了全自动高速平行光曝光装置，包括上料机械手，所述上料机械手的顶部固定连接有来料拉带。本发明通过上料机械手、来料拉带、阵列工位、相机移动机构、曝光工位、曝光光源、出料机械手、出料拉带、翻转机构、反面上料机械手、反面阵列工位、反面曝光工位、反面曝光光源和出料工位的配合使用，能够大大提高HJT光伏电池铜基金属化曝光作业生产效率，且便于控制曝光光罩GAP，从而保证曝光精度，如果使用大面积曝光光罩，曝光光罩会因为重力变形，各个HJT电池基片位置的光罩GAP很难保证一致，且本装置曝光的方式可以是曝光工装定速移动通过曝光光源，也可以是曝光光源定速移动通过曝光工装，或者将曝光工装暂停在曝光光源下完成。
- 全自动高速平行曝光装置
- [发明专利]直写式曝光设备及其控制方法-CN202211335604.2在审
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刘国藩
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合肥芯碁微电子装备股份有限公司
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2022-10-28
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2022-12-23
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G03F7/20
- 本发明公开了一种直写式曝光设备及直写式曝光设备的控制方法，其中，底座上设置有沿长度方向延伸且沿宽度方向排布的第一导轨和第二导轨，沿第一导轨方向依次定义第一上下板工位、第一对准工位、第一曝光工位、第二对准工位和第二上下板工位，沿第二导轨方向依次定义第三上下板工位、第三对准工位、第二曝光工位、第四对准工位和第四上下板工位；第一工件台和第二工件台均设置在第一导轨上，第三工件台和第四工件台均设置在第二导轨上，四个工件台利用驱动装置往复移动以在各自对应的工位之间切换，利用输送翻转系统对基板进行翻转以获得基板的待曝光面。该直写式曝光设备集成四个工件台，实现了在同一个曝光流程中完成基板的正面和反面曝光。
- 直写式曝光设备及其控制方法
- [实用新型]一种多工位液体制版机-CN202023058960.3有效
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陈水波
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广东柔印机械有限公司
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2020-12-18
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2021-11-19
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B41C1/00
- 本实用新型涉及一种多工位液体制版机，包括机架、曝光平台、曝光装置，所述曝光装置包括上曝光组件，所述上曝光组件设于所述曝光平台上方，所述上曝光组件包括压胶上盖、与压胶上盖连接的第一滑块和设于压胶上盖底面的上压胶玻璃，所述压胶上盖内设有上曝光灯，所述曝光平台上设有两个以上工位，所述工位上设有与所述上压胶玻璃匹配的下压胶玻璃，所述机架上设有与所述第一滑块匹配的第一导轨，所述机架上设有驱动所述第一滑块在所述第一导轨上往复滑动的第一驱动装置本实用新型与现有技术相比，采用双工位设计，一工位进行曝光，另一进行卸料、上料，供双工位不间断工作，工作效率高。
- 一种多工位液体制版机
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