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[发明专利]投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法-CN201810416484.6在审
发明人：苏佳妮;齐月静;卢增雄;杨光华;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：为此目的，本发明提供了一种投影物镜的数值孔径的在线检测装置，该在线检测装置包括能够设置于掩模台上的散射元件、能够设置于工件台上的数值孔径测量装置，光源经过散射元件的散射光束覆盖投影物镜并通过投影物镜投影在数值孔径测量装置上，数值孔径测量装置能够根据散射光束投影在数值孔径测量装置上的投影光束检测投影物镜的数值孔径。
投影物镜数值孔径在线检测装置数值孔径测量散射光束散射元件检测检测技术领域投影物镜投影快速测量投影光束性能参数光刻机掩模光源投影覆盖

[发明专利]一种真空微粒计数器-CN202110257687.7有效
发明人：赵烨梁;胡晓 -专利权人：中国科学院上海高等研究院
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： G01N15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空微粒计数器，包括外壳，其具有沿z向贯穿外壳的测量孔，外壳的内部固定有：光入射部，用于发射激光并形成截面光强均匀分布的平顶光束，位于测量孔的一侧，包括沿x向依次排列的激光器、入射光学元件组和入射光阑，入射光学元件组包括沿x向依次排列的聚焦透镜、匀光棒和透镜组；光探测部，收集平顶光束被微粒散射而形成的散射光，并根据收集到的散射光探测微粒数量；光出射部，与光入射部相对位于测量孔的另一侧，用于吸收光入射部发出的激光中未被微粒散射的部分本发明的真空微粒计数器，采用包含匀光棒的特殊入射光路，使得入射激光形成截面光强均匀分布的平顶光束，可增大有效测量区域。
一种真空微粒计数器

[实用新型]用于光刻机系统的在线检测装置-CN201820656769.2有效
发明人：苏佳妮;齐月静;卢增雄;杨光华;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2018-05-03 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：为此目的，本实用新型提供了一种用于光刻机系统的在线检测装置，该在线检测装置包括能够设置于掩模台上的散射元件、能够设置于工件台上的数值孔径测量装置，光源经散射元件的散射光束覆盖投影物镜并通过投影物镜投影在数值孔径测量装置上，数值孔径测量装置能够根据散射光束投影在数值孔径测量装置上的投影光束检测投影物镜的数值孔径。
在线检测装置投影物镜数值孔径测量本实用新型数值孔径光刻机散射光束散射元件检测检测技术领域投影物镜投影快速测量投影光束性能参数掩模光源投影覆盖

[发明专利]一种测量短碳纳米管直径和长度的光散射装置及方法-CN201110342462.8有效
发明人：杨晖;郑刚;戴曙光 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2011-11-03 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种测量短碳纳米管直径和长度的光散射装置及方法，氦氖激光器发射的光，通过格林-泰勒棱镜变成垂直方向的线偏振激光；入射线偏振激光经平面镜反射，经透镜聚焦后照射在样品池内的颗粒样品上，被激光束照射的样品颗粒产生的90度方向的散射光依次进入两个正对的小孔；渥拉斯顿棱镜将散射光分解为垂直方向偏振散射光和水平方向偏振散射光；两个光电倍增管分别对两个方向的偏振散射光进行检测，将测得的光信号转换成TTL脉冲电压信号送入数学相关器得到测量直径及长度
一种测量纳米直径长度散射装置方法

[实用新型]一种测量短碳纳米管直径和长度的光散射装置-CN201120429496.6有效
发明人：杨晖;郑刚;戴曙光 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2011-11-03 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种测量短碳纳米管直径和长度的光散射装置，氦氖激光器发射的光，通过格林-泰勒棱镜变成垂直方向的线偏振激光；入射线偏振激光经平面镜反射，经透镜聚焦后照射在样品池内的颗粒样品上，被激光束照射的样品颗粒产生的90度方向的散射光依次进入两个正对的小孔；渥拉斯顿棱镜将散射光分解为垂直方向偏振散射光和水平方向偏振散射光；两个光电倍增管分别对两个方向的偏振散射光进行检测，将测得的光信号转换成TTL脉冲电压信号送入数学相关器得到测量直径及长度
一种测量纳米直径长度散射装置

[发明专利]用于光刻曝光中的光强调节装置及光强调节方法-CN201210319549.8有效
发明人：罗闻;孙智超 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-09-03 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种用于光刻曝光中的光强调节装置，包括：汞灯光源，位于灯室内，用于提供该光刻装置的光源；可动反射镜组，位于灯室出光口处，包括至少一个可动镜片，用于汇聚所述光源的散射光束；能量传感器，用于测量所述基底表面的光功率；控制器，用于信号检测、运算以及发送命令；所述控制器与所述汞灯光源、所述可动反射镜组以及所述能量传感器连接，所述汞灯光源发出的散射光束经所述可动反射镜组后进入所述后继光路。
用于光刻曝光中的调节装置方法

[发明专利]一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法-CN201910206959.3有效
发明人：张彬;钟哲强;张科鹏;黄聪;张小民 -专利权人：四川大学
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法，包括：光电探测器1，与分束镜结合置于探测光路中，以测量入射光能量；光电探测器2，固定在积分球内探测孔处，以测量散射光能量；二维旋转系统，用于固定待测元件本发明的测量原理是：由激光光源发射的探测光束依次穿过分束镜、激光扩束器、高反射镜，经积分球入射孔投射到被测元件上，形成散射光；所述散射光的镜面部分经积分球出射孔/样品孔离开积分球，由光收集器收集；所述散射光的漫散射部分在积分球内多次反射形成均匀光
一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法

[发明专利]线偏振光束激发拉曼散射增强传感装置-CN201910191410.1在审
发明人：苗玉;李仔艳;单新治;王冠学;高秀敏 -专利权人：量敏传感技术（上海）有限公司
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明涉及线偏振光束激发拉曼散射增强传感装置，包括激光器、空间滤波器、起偏器、空间光调制器、聚焦透镜、二向色镜、滤光片、光谱仪。线偏振光激发单元通过空间光调制器、偏振片、空间滤波器产生线性偏振光束，所产生的光束经过二相色镜后照射到聚焦透镜上，抛物面反射镜为半圆形结构，内部镀有高反膜，其半径大于透镜的焦距。待测量样品放置于抛物面反射镜内部，通过其特殊的光学结构来增强拉曼散射光的强度，使散射光沿光轴方向入射到滤光片上，滤光片为高通滤光片，再经过透镜聚焦到光谱仪狭缝上。本发明具有结构简单、便于构建、可靠性高、灵活性强、应用范围广、信噪比高、光束质量高、检测精准等优点。
偏振光束激发散射增强传感装置

[实用新型]一种LIBS背散射收集靶材检测装置-CN202121472554.3有效
发明人：徐智博;刘林林;赵培茜;林玲 -专利权人：重庆建安仪器有限责任公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LIBS背散射收集靶材检测装置，包括激光器，还包括分光镜，其中一光束通过多个反射镜反射并经透镜聚焦后垂直轰击靶物质表面；另一光束通过光路调节装置后经透镜聚焦后轰击靶物质表面，使两光束之间具有光程差，使两光束轰击靶物质的入射方向相正交；在靶物质表面产生的等离子体云的散射光范围内设有一散射光谱收集装置。
一种 libs 散射收集检测装置

[发明专利]一种基于直角棱镜的颗粒物空气动力学粒径检测光机结构-CN202111167521.2在审
发明人：朱宝龙;王春勇;戴昊;李耀成;余昌源;丁柯风 -专利权人：朱宝龙
申请日： 2021-10-07 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于直角棱镜的颗粒物空气动力学粒径检测光机结构，发明涉及了双光束颗粒物空气动力学粒径测量领域，该发明包括所述照明装置包括发光单元、分光单元和散射光信号收集单元，所述发光单元内设有对光进行光束整形匀化组件，所述的散射光信号收集单元内设有光散射探测腔；达到技术效果是解决了现有颗粒物粒径谱分析设备测量的精确度较低的问题，从而提供了使得动力学粒径测量仪的调试难度降低，传感器体积更小，粒径分辨率更高，光噪声更低
一种基于直角棱镜颗粒空气动力学粒径检测结构

[发明专利]倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪-CN200510029678.3无效
发明人：程兆谷;高海军;覃兆宇;张志平;黄惠杰;钱红斌 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-03-01 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：一种倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪，其构成是：在所述的激光光源组件发出的光束前进的方向上，依次有双凹透镜和平凸透镜组成的扩束系统，双胶合聚焦透镜，光束经平面反射镜转折且聚焦倾斜入射在被测量硅片表面，硅片位于工作台上；两块凸面相对的平凸透镜构成的散射光收集镜头对散射光进行收集，光电探测器置于所述的收集镜头的焦点处，光电探测器的输出端接计算机，在硅片的反射光方向上设有一光学陷阱。
倾斜入射散射硅片表面缺陷检测

[实用新型]一种基于直角棱镜的颗粒物空气动力学粒径检测光机结构-CN202122402280.7有效
发明人：朱宝龙;王春勇;戴昊;李耀成;余昌源;丁柯风 -专利权人：朱宝龙
申请日： 2021-10-07 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于直角棱镜的颗粒物空气动力学粒径检测光机结构，发明涉及了双光束颗粒物空气动力学粒径测量领域，该发明包括所述照明装置包括发光单元、分光单元和散射光信号收集单元，所述发光单元内设有对光进行光束整形匀化组件，所述的散射光信号收集单元内设有光散射探测腔；达到技术效果是解决了现有颗粒物粒径谱分析设备测量的精确度较低的问题，从而提供了使得动力学粒径测量仪的调试难度降低，传感器体积更小，粒径分辨率更高，光噪声更低
一种基于直角棱镜颗粒空气动力学粒径检测结构

[实用新型]倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪-CN200520045038.7无效
发明人：程兆谷;高海军;覃兆宇;张志平;黄惠杰;钱红斌 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-10-04 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：一种倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪，其构成是：在所述的激光光源组件发出的光束前进的方向上，依次有双凹透镜和平凸透镜组成的扩束系统，双胶合聚焦透镜，光束经平面反射镜转折且聚焦倾斜入射在被测量硅片表面，硅片位于工作台上；两块凸面相对的平凸透镜构成的散射光收集镜头对散射光进行收集，光电探测器置于所述的收集镜头的焦点处，光电探测器的输出端接计算机，在硅片的反射光方向上设有一光学陷阱。
倾斜入射散射硅片表面缺陷检测

[发明专利]一种受激布里渊散射激光雷达模拟深海探测的系统装置-CN201810356577.4在审
发明人：史久林;袁大鹏;许锦;罗宁宁;张余宝;何兴道 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G01S7/48 文献下载
摘要：本发明提供一种受激布里渊散射激光雷达模拟深海探测的系统装置。上述系统装置的具体过程是种子注入式固体脉冲激光器发射出532nm的激光束，经过1/2波片后，激光束变为水平偏振光，通过偏振分光镜，激光束再经过1/4波片、聚焦系统，入射到压力舱中，聚焦产生后向受激布里渊散射光谱，受激布里渊散射光依次通过1/4波片、偏振分光镜、反射镜、F‑P标准具后，进入ICCD信号采集系统，并由信号处理系统对ICCD采集的信号进行处理分析。
波片受激布里渊散射偏振分光镜系统装置激光束固体脉冲激光器信号处理系统种子注入式激光雷达聚焦系统深海探测标准具反射镜压力舱凸透镜布里渊散射光信号采集系统信号进行处理液压控制系统水平偏振光窄带滤波器显示系统光谱后向入射聚焦采集发射分析

[发明专利]基于光学相干技术的双偏振高光谱分辨率激光雷达系统-CN202110970504.6在审
发明人：吴松华;陈相成;戴光耀;刘金涛 -专利权人：中国海洋大学
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01S17/95 文献下载
摘要：本发明提供一种基于光学相干技术的双偏振高光谱分辨率激光雷达系统，包括：发射系统，用于产生相干线偏振激光光束和本振光，输出的激光准直后入射到大气层中；接收系统，用于接收大气的散射介质后向散射光信号，并对大气的散射介质后向散射光信号进行偏振特性的分离，并与本振光混频；鉴频系统，包括相干接收机用于将混频后的散射介质后向散射光信号转换成电信号，电子滤波器将电信号频率限制在特定的范围，滤波后的电信号经过模拟数字转换器后由信号处理器接收，对接收的时域信号进行窗函数算法、快速傅里叶变换和累加算法处理，分离出不同偏振态的气溶胶后向散射谱信号和大气分子后向散射谱信号。
基于光学相干技术偏振光谱分辨率激光雷达系统