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- [发明专利]自动开槽设备、开槽方法及全切系统-CN202211690556.9有效
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施心星
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苏州镭明激光科技有限公司
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2022-12-28
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2023-06-06
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H01L21/67
- 本发明公开了一种自动开槽设备、开槽方法及全切系统,属于半导体加工领域,其包括:上料装置;清洗装置,用于清洗晶圆组件;涂敷装置,用于涂敷晶圆组件;第一搬运装置,可在上料装置、清洗装置以及涂敷装置之间往返搬运晶圆组件,第一搬运装置具有缓存工位;开槽装置,用于对晶圆组件进行开槽;以及第二搬运装置,可在缓存工位和开槽装置之间往返搬运晶圆组件;其中,第二搬运装置包括第一搬运机构和第二搬运机构,第一搬运机构和第二搬运机构的移动方向相反本发明第一搬运装置可直接将晶圆组件自上料装置搬运至清洗装置或者涂敷装置,转移简单,效率高;第二搬运装置包括第一搬运机构和第二搬运机构,从而提高晶圆组件取放效率。
- 自动开槽设备方法系统
- [实用新型]一种显示屏的组装设备-CN201620404229.6有效
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2016-05-07
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2017-01-11
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B23P19/06
- 本实用新型公开了一种显示屏的组装设备,包括第一显示组件搬运装置、第二显示组件搬运装置、中心搬运装置和打螺丝装置;中心搬运包括装置上搬运杆、下搬运杆和旋转平台,上搬运杆和下搬运杆上设置有治具;旋转平台包括两提供独立动力的驱动装置,该俩驱动装置分别驱动上搬运杆和下搬运杆在不同的水平面上转动;第一显示组件搬运装置将第一显示组件从第一输送轨道搬运到上搬运杆上,第二显示组件搬运装置将第二显示组件从第二输送轨道搬运到下搬运杆上。
- 一种显示屏组装设备
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