专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]版图中插入填充图形的方法-CN201210496239.3有效
  • 李彦正;周京英;孙长江 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2012-11-28 - 2017-02-15 - G06F17/50
  • 本申请公开了一种版图中插入填充图形的方法,包括以下步骤在每个局部区域的允许插入填充图形的结构中,虚拟地插入标准填充图形。计算该局部区域在虚拟地插入填充图形之后的图形密度,判断其是否大于或等于该局部区域的图形密度的最低要求。如果是,在该局部区域的允许插入填充图形的结构中实际插入该填充图形。如果否,在该局部区域的允许插入填充图形的结构中,虚拟地插入比上一次虚拟插入的填充图形更大的新的填充图形。不断重复直至该局部区域在插入新的填充图形之后的图形密度大于或等于该局部区域的图形密度的最低要求。本申请可以快速地实现在版图中插入填充图形,使得所有局部区域都满足最低的图形密度要求。
  • 版图插入填充图形方法
  • [发明专利]利用冗余图形填充来调整芯片图形密度的方法-CN201010545835.7有效
  • 陈福成 - 上海华虹NEC电子有限公司
  • 2010-11-16 - 2012-05-23 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种利用冗余图形填充来调整芯片图形密度的方法,包括如下步骤:得到芯片制备中某个图层的可填充区域;预设一组图形密度不等的填充图形;等分为多个小块区域,设定在填充后图层的图形密度,小块区域的最小图形密度值、最大图形密度值和相邻两个小块区域间的最大图形密度差值;计算上述各小块区域初始的图形密度值;计算填入的图形密度最大的填充图形后的小块区域的图形密度值;采用虚拟图形填充的方法调整每个小块区域的图形密度;对各小块区域中的可填充区域进行填充,使填充后小块区域的图形密度值与步骤(6)所调整出的图形密度值最接近。本发明的方法,改善了填充后的局部区域图形密度的均一性。
  • 利用冗余图形填充调整芯片密度方法
  • [发明专利]冗余图形填充方法-CN201110312357.X有效
  • 陈福成 - 上海华虹NEC电子有限公司
  • 2011-10-14 - 2013-04-17 - G06F17/50
  • 本发明公开了一种冗余图形填充方法,包括步骤:1)根据半导体器件中各层次的相互关系,计算出芯片上不可填充冗余图形区域与可填充冗余图形区域;2)以不可填充冗余图形区域的边界作为填充算法的起始边,环状填充冗余图形,每一次环状填充填充算法的一个计算循环。该方法将不可填充区域的边界作为填充算法的起始边,环状插入冗余图形,如此,保证了在需要冗余图形保护的器件周围,优先插入冗余图形,从而得以更好地保证器件的良率。
  • 冗余图形填充方法
  • [发明专利]一种闭合曲线图形填充方法-CN201710148539.5有效
  • 周燕;曾凡智 - 佛山科学技术学院
  • 2017-03-14 - 2020-04-24 - G06T11/40
  • 本发明提供一种闭合曲线图形填充方法,首先,输入闭合曲线图形,并选取闭合曲线图形边界的外接矩形以缩小填充范围;其次,对外接矩形平均分为四个区域,并选取各区域的角落点作为种子的填充点;再次,分别对四个区域中闭合曲线图形的外部区域进行种子填充,得到闭合曲线图形的外部区域;最后,分别提取四个区域中未填充的区域,作为闭合曲线图形的内部闭合区域;并对闭合曲线图形的内部闭合区域进行填充。本发明闭合曲线图形填充方法实用性强和适应性强,该闭合曲线图形填充方法可有效避免因图形对象多和图形复杂而产生填充不完整和填充错误的问题,从而大大提高图形填充的效率和填充的准确性。
  • 一种闭合曲线图形填充方法
  • [发明专利]改版冗余图形填充方法、系统及电子设备-CN202310626845.0在审
  • 曹云;李佳佳;魏芳 - 上海华力微电子有限公司
  • 2023-05-30 - 2023-08-25 - G06F30/392
  • 本发明提供了一种改版冗余图形填充方法、系统及电子设备,包括:提供改版版图,改版版图具有改版版图层次;获得改版冗余图形填充区域;获得位于改版冗余图形填充区域内的冗余图形作为第一冗余图形区;获得相邻改版版图层次中的区域外组合冗余图形;在变形固定组合冗余图形库中,获得区域外组合冗余图形对应的位于改版冗余图形填充区域外的变形冗余图形作为第二冗余图形区;将改版版图层次中的独立冗余图形作为第三冗余图形区;将第一冗余图形区、第二冗余图形区及第三冗余图形区合并为改版版图层次的改版冗余图形,将改版冗余图形填充至改版冗余图形填充区域内,实现对改版版图进行改版冗余图形填充
  • 改版冗余图形填充方法系统电子设备
  • [发明专利]曲线图形光学邻近修正方法-CN202010279739.6有效
  • 陈世杰;黄增智;郭进 - 联合微电子中心有限责任公司
  • 2020-04-10 - 2022-04-12 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种曲线图形光学邻近修正方法,在对导入的原始设计图形进行光学邻近修正后,对曲线图形进行填充拟合处理以形成标准图形;所述填充拟合处理的步骤包括:在包含所述曲线图形的边线的设定区域内排布标准填充图形的阵列;将与所述曲线图形相交的所述标准填充图形作为填充拟合图形,所述填充拟合图形具有与所述曲线图形重叠的重叠部分以及与所述曲线图形不重叠的非重叠部分;通过使所述曲线图形合并所述非重叠部分或去除所述重叠部分,形成所述标准图形本发明通过对硅光器件的曲线图形进行填充拟合处理,以形成标准图形,使版图图形符合常规光掩模版标准,在确保光学邻近修正结果接近原始图形的同时,降低光掩膜版生产成本。
  • 曲线图形光学邻近修正方法
  • [发明专利]一种冗余图形填充方法-CN201410161258.X无效
  • 郜彬;于世瑞;陈权;毛智彪;方精训 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-04-22 - 2014-07-02 - G06F17/50
  • 本发明公开了一种冗余图形填充方法,包括提供芯片版图并通过逻辑运算获得冗余图形填充区域;基于设计规则在所述冗余图形填充区域中填充冗余图形;将所述芯片版图划分为多个不重合的窗口;以及计算各所述窗口在填充所述冗余图形后的图形密度并判断所述图形密度是否超出预定范围,若超出则通过逻辑运算移除该窗口内的冗余图形填充新的冗余图形,以使各所述窗口的最终图形密度调整在所述预定范围内。本发明能够有效提高图形层密度的均匀性。
  • 一种冗余图形填充方法
  • [发明专利]基于FPGA的直写光刻图形填充方法、装置、光刻机和介质-CN202310419139.9在审
  • 周安萌;王岩岩;邵德洋 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2023-04-14 - 2023-07-14 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种基于FPGA(Field‑Programmable Gate Array,即现场可编程门阵列)的直写光刻图形填充方法、装置、光刻机和介质,其中,基于FPGA的直写光刻图形填充方法,包括:获取曝光图形区域数据和图形数据;根据曝光图形区域数据将曝光图形区域划分为N个处理通道,获取N个处理通道的区域数据,其中,N≥2;根据N个处理通道的区域数据和图形数据对位于曝光图形区域中的图形进行筛选和切割处理;同时对N个处理通道中的图形进行填充。本发明实施例的基于FPGA的直写光刻图形填充方法,通过设置多个处理通道,多个处理通道能实现并行接收并处理图形填充,提高对曝光图形填充效率,整体缩短填充时间,提升设备产能。
  • 基于fpga光刻图形填充方法装置介质
  • [发明专利]ECO改版改变冗余图形填充方法、终端设备和存储介质-CN202011562072.7在审
  • 张逸中;于世瑞 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2020-12-25 - 2021-04-02 - G06T7/00
  • 本发明公开了一种ECO改版冗余图形填充方法,包括:从ECO改版前版图数据中,将冗余填充图形和非冗余填充图形分别抽取出来;将提取的非冗余填充图形与ECO改版版图图形进行层与层的差异对比,并在有差异位置生成标定识别层;保留标定识别层外的冗余填充图形,移除标定识别层内的冗余填充图形,形成第一中间版图图形;根据ECO改版版图图形数据,在第一中间图形数据标定识别层范围内重新插入并优化冗余图形,形成第二中间版图图形;将第一中间版图图形和第二中间版图图形合并得到最终本发明能够有效地避免ECO造成冗余图形发生位移等问题,缩短了冗余图形填充周期,同时极大程度的减小了冗余图形对工艺的影响,提高了工艺的稳定性。
  • eco改版改变冗余图形填充方法终端设备存储介质
  • [发明专利]冗余金属的填充方法-CN201911368197.3在审
  • 曹云;于明 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2019-12-26 - 2020-05-08 - G06F30/392
  • 本发明提供一种冗余图形填充方法,包括:提供一版图,所述版图上设置有主图形区和冗余图形区;提供至少三组待填充的冗余图形;计算各组所述冗余图形在所述冗余图形区中的图形密度;按照所述图形密度从大到小的顺序将各组所述冗余图形依次填充在所述冗余图形区中本发明中,先填充图形密度大的所述冗余图形可以快速提升所述冗余图形区的有效图形密度;进一步的,按照所述图形密度从大到小的顺序填充所述冗余图形,可以有效减小冗余图形图形密度差异,从而使得在整个晶片上(主图形区和冗余图形区)达到均匀的有效图形密度,从而改善微负荷效应。
  • 冗余金属填充方法

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