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- [发明专利]版图中插入填充图形的方法-CN201210496239.3有效
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李彦正;周京英;孙长江
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2012-11-28
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2017-02-15
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G06F17/50
- 本申请公开了一种版图中插入填充图形的方法,包括以下步骤在每个局部区域的允许插入填充图形的结构中,虚拟地插入标准填充图形。计算该局部区域在虚拟地插入填充图形之后的图形密度,判断其是否大于或等于该局部区域的图形密度的最低要求。如果是,在该局部区域的允许插入填充图形的结构中实际插入该填充图形。如果否,在该局部区域的允许插入填充图形的结构中,虚拟地插入比上一次虚拟插入的填充图形更大的新的填充图形。不断重复直至该局部区域在插入新的填充图形之后的图形密度大于或等于该局部区域的图形密度的最低要求。本申请可以快速地实现在版图中插入填充图形,使得所有局部区域都满足最低的图形密度要求。
- 版图插入填充图形方法
- [发明专利]一种闭合曲线图形填充方法-CN201710148539.5有效
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周燕;曾凡智
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佛山科学技术学院
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2017-03-14
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2020-04-24
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G06T11/40
- 本发明提供一种闭合曲线图形填充方法,首先,输入闭合曲线图形,并选取闭合曲线图形边界的外接矩形以缩小填充范围;其次,对外接矩形平均分为四个区域,并选取各区域的角落点作为种子的填充点;再次,分别对四个区域中闭合曲线图形的外部区域进行种子填充,得到闭合曲线图形的外部区域;最后,分别提取四个区域中未填充的区域,作为闭合曲线图形的内部闭合区域;并对闭合曲线图形的内部闭合区域进行填充。本发明闭合曲线图形填充方法实用性强和适应性强,该闭合曲线图形填充方法可有效避免因图形对象多和图形复杂而产生填充不完整和填充错误的问题,从而大大提高图形填充的效率和填充的准确性。
- 一种闭合曲线图形填充方法
- [发明专利]曲线图形光学邻近修正方法-CN202010279739.6有效
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陈世杰;黄增智;郭进
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联合微电子中心有限责任公司
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2020-04-10
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2022-04-12
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G03F7/20
- 本发明提供了一种曲线图形光学邻近修正方法,在对导入的原始设计图形进行光学邻近修正后,对曲线图形进行填充拟合处理以形成标准图形;所述填充拟合处理的步骤包括:在包含所述曲线图形的边线的设定区域内排布标准填充图形的阵列;将与所述曲线图形相交的所述标准填充图形作为填充拟合图形,所述填充拟合图形具有与所述曲线图形重叠的重叠部分以及与所述曲线图形不重叠的非重叠部分;通过使所述曲线图形合并所述非重叠部分或去除所述重叠部分,形成所述标准图形本发明通过对硅光器件的曲线图形进行填充拟合处理,以形成标准图形,使版图图形符合常规光掩模版标准,在确保光学邻近修正结果接近原始图形的同时,降低光掩膜版生产成本。
- 曲线图形光学邻近修正方法
- [发明专利]冗余金属的填充方法-CN201911368197.3在审
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曹云;于明
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2019-12-26
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2020-05-08
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G06F30/392
- 本发明提供一种冗余图形的填充方法,包括:提供一版图,所述版图上设置有主图形区和冗余图形区;提供至少三组待填充的冗余图形;计算各组所述冗余图形在所述冗余图形区中的图形密度;按照所述图形密度从大到小的顺序将各组所述冗余图形依次填充在所述冗余图形区中本发明中,先填充图形密度大的所述冗余图形可以快速提升所述冗余图形区的有效图形密度;进一步的,按照所述图形密度从大到小的顺序填充所述冗余图形,可以有效减小冗余图形的图形密度差异,从而使得在整个晶片上(主图形区和冗余图形区)达到均匀的有效图形密度,从而改善微负荷效应。
- 冗余金属填充方法
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