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[发明专利]一种含碳层的等离子刻蚀方法-CN201010110098.8无效
发明人：倪图强;高山星一;陶铮 -专利权人：中微半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2010-02-11 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：一种含碳层的等离子刻蚀方法，包括：刻蚀步骤，提供一刻蚀气体在等离子体作用下对所述含碳层进行刻蚀，并刻蚀至一定深度，以露出一刻蚀界面，所述刻蚀界面包括侧壁；侧壁钝化步骤，提供一含碳氢成份的反应气体，在等离子体作用下，在所述刻蚀界面的侧壁形成含碳氢成份的聚合物，沉积在所述刻蚀界面的侧壁表面；交替循环所述刻蚀步骤和侧壁钝化步骤，直到刻蚀到达目标深度。利用本方法可以精确刻蚀含碳层，防止污染物产生，同时保证较高的刻蚀速率。
一种含碳层等离子刻蚀方法

[发明专利]页岩储层总有机碳含量和脆性空间展布的检测方法-CN201410805488.5有效
发明人：程飞;张宇生 -专利权人：中国石油天然气集团公司;中国石油集团东方地球物理勘探有限责任公司
申请日： 2014-12-22 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： G01V1/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种页岩储层总有机碳含量和脆性空间展布的检测方法，涉及石油地质勘探技术领域。方法包括：建立储层矿物岩石物理模型；确定页岩储层总有机碳含量和脆性的相关弹性参数或弹性参数组合体的值域和脆性极值；获取页岩储层总有机碳含量和脆性的相关弹性参数或弹性参数组合体；根据相关弹性参数或弹性参数组合体的值域和脆性极值，对地震数据体AVA反演得到的相关弹性参数或参数组合体进行层位解释，确定含气页岩储层区域和脆性区域，获取得到含气页岩储层区域和脆性区域顶底界面数据；根据含气页岩储层区域和脆性区域顶底界面数据，确定页岩储层的含气页岩储层厚度分布和脆性区体厚度分布本发明能够解决页岩气勘探缺少总有机碳含量和脆性空间展布的参数依据的问题。
页岩储层总有机含量脆性空间展布检测方法

[发明专利]一种含碳膜层的清洗液及清洗方法-CN202211655387.5在审
发明人：尹印;贺兆波;叶瑞;陈小超;周璇;万杨阳;彭浩 -专利权人：湖北兴福电子材料股份有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C11D1/62 文献下载
摘要：本发明属于电子化学品领域，具体涉及一种含碳膜层的清洗液及清洗方法。所述清洗液组成包括重铬酸盐、酸、氟化物、表面活性剂及超纯水。该清洗液可在有效去除晶圆表面的碳膜、碳氧化硅膜、碳氮化硅膜等含碳膜层的同时，不损伤硅晶圆表面，有利于晶圆的重复利用。
一种含碳膜层清洗方法

[发明专利]操作固定床干底气体发生器的方法-CN200680003819.7无效
发明人： J·C·范·戴克;M·科尔兹恩 -专利权人：塞索鲁奇科技（特许）有限公司
申请日： 2006-01-26 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： C10J3/06 文献下载
摘要：一种操作固定床干底气体发生器(10)的方法，包括向气体发生器的气化室(14)中装入平均颗粒大小至少为1mm的粗粒含碳物质(20)和一种灰熔温度提高剂(32)以形成含碳物质床层，向气化室中加入一种气化剂(22、24)，并在气化室中将粗粒含碳物质气化生成合成气(30)和灰分(28)。灰分收集在含碳物质下方的一个灰分床层中，并从气化室中排出合成气和灰分。
操作固定床底气发生器方法

[实用新型]炉缸侧壁内衬-CN201220214932.2有效
发明人：徐瑞图;何汝生 -专利权人：明光瑞尔非金属材料有限公司
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： C21B7/06 文献下载
摘要：本实用新型的炉缸侧壁内衬，包括含碳材料衬体和含Al2O3耐材衬体，其特征在于：含碳材料衬体与含Al2O3耐材衬体之间设有隔热层。优选地，所述含碳材料衬体与含Al2O3耐材衬体之间全部或部分设有隔热层（3）。隔热层为单层或多层。所述隔热层每层厚度为5mm — 50mm。所述隔热层由陶瓷纤维板、陶瓷纤维毡或陶瓷纤维毯构成。所述隔热层的导热系数不高于所述含Al2O3耐材衬体的导热系数。
侧壁内衬

[发明专利]一种钠离子电池碳基负极材料及其制备方法-CN202211603548.6在审
发明人：蔡金明;陈其赞;汤小辉 -专利权人：广东墨睿科技有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明提供一种钠离子电池碳基负极材料及其制备方法，所述钠离子电池碳基负极材料包括硬碳基材和包覆在所述硬碳基材表面的含钠碳层，所述硬碳基材含氮掺杂。通过氮掺杂利用氮原子比碳原子电负性更强，增强碳材与钠离子的结合，有利于钠离子的嵌入，同时，氮掺杂可形成局部N型掺杂，提高碳材导电性，降低极片内阻，有利于提高碳基负极材料的循环性能；通过含钠碳层的包覆对氮掺杂硅基负极粉体进行包覆从而实现加钠处理
一种钠离子电池负极材料及其制备方法

[发明专利]一种硅基复合负极材料及其制备方法和储能器件-CN201711038683.X有效
发明人：苏航;李阳兴;刘辰光;王平华 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种用于制造终端或者电动车储能电池的硅基复合负极材料，包括硅基材料内核以及形成在所述硅基材料内核表面的包覆层，所述包覆层包括快离子导体层以及含氟碳材料层，所述含氟碳材料层形成于所述快离子导体层表面，所述快离子导体层形成于所述硅基材料内核表面并位于所述硅基材料内核以及所述含氟碳材料层之间，以将所述硅基材料内核与所述含氟碳材料层分隔开。所述硅基复合负极材料具有高容量、高导电导离子性、高结构稳定性，能够自保护以防止硅基材料内核受到HF的腐蚀，且能够在电池首次充电过程中原位生成LiF层，具有良好的循环稳定性能。
一种复合负极材料及其制备方法器件

[发明专利]铜-石墨烯接合体及其制造方法以及铜-石墨烯接合结构-CN202180010284.0在审
发明人：寺崎伸幸 -专利权人：三菱综合材料株式会社
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L23/373 文献下载
摘要：该铜‑石墨烯接合体为通过接合由铜或铜合金构成的铜部件和含有石墨烯聚集体的含石墨烯的碳质部件而成的结构，在铜部件与含石墨烯的碳质部件之间，在含石墨烯的碳质部件侧形成有活性金属碳化物层，该活性金属碳化物层包含选自Ti、Zr、Nb和Hf中的一种或两种以上的活性金属的碳化物，在该活性金属碳化物层与铜部件之间形成有Mg固溶层，该Mg固溶层在Cu的母相中固溶有Mg。
石墨接合及其制造方法以及结构

[发明专利]电容器封装结构及其抗氧化复合式电极箔-CN201710075927.5在审
发明人：钱明谷;林杰 -专利权人：钰邦科技股份有限公司
申请日： 2017-02-13 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： H01G4/008 文献下载
摘要：抗氧化复合式电极箔包括一基底材料结构、一第一导电材料结构以及一第一含碳材料结构。第一导电材料结构设置在基底材料结构上。第一含碳材料结构设置在第一导电材料结构上。第一导电材料结构的其中一部分为接触第一含碳材料结构的一第一含氧金属化合物层。第一含氧金属化合物层设置在第一导电材料结构的其余部分与第一含碳材料结构之间，以阻挡穿过第一含碳材料结构的外界氧气去接触第一导电材料结构的其余部分，借此以提升抗氧化复合式电极箔的抗氧化功能。
导电材料结构含碳材料复合式电极抗氧化电容器封装结构含氧金属化合物基底材料抗氧化功能结构设置外界氧气穿过阻挡

[发明专利]光掩模坯料、光掩模的制造方法以及光掩模-CN202011339150.7在审
发明人：松桥直树 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G03F1/22 文献下载
摘要：发明涉及的光掩模板包括：基板；被加工膜；以及由含有铬的材料构成的膜，该膜从远离基板的一侧起具有第1层、第2层、第3层以及第4层。第1层的铬含有率为40原子％以下(含)，氧含有率为38原子％以上(含)，氮含有率为22原子％以下(含)，且厚度为6nm以下(含)。第2层的铬含有率为38原子％以下(含)，氧含有率为30原子％以上(含)，氮含有量为18原子％以下(含)，碳为14原子％以下(含)，且膜厚为22nm以上(含)且32nm以下(含)。第3层的铬含有率为50原子％以下(含)，氧含有率为30原子％以下(含)，氮含有量为20原子％以上(含)，且膜厚为6nm以下(含)。第4层的铬含有率为44原子％以下(含)，氧含有率为20原子％以上(含)，氮含有量为20原子％以下(含)，碳为16原子％以下(含)，且膜厚为13nm以上(含)。
光掩模坯料制造方法以及

[发明专利]控制在用于锂离子电池组的含硅电活性材料上形成多层碳覆层的方法-CN202011194185.6在审
发明人：王蕾;肖兴成;W·李;M·W·弗布鲁格;M·P·巴洛格 -专利权人：通用汽车环球科技运作有限责任公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明公开了控制在用于锂离子电池组的含硅电活性材料上形成多层碳覆层的方法。提供了制备用于循环锂离子的电化学电池的负极材料的方法。在大于或等于大约100℃的第一温度下用氧化剂处理由硅、含硅合金、含锡合金或其组合形成的电极材料的表面以形成包含氧化物的连续中间层。该方法还包括在大于或等于大约600℃的第二温度下在连续中间层上热解含碳前体以便在其上形成连续碳覆层。中间层氧化物可以转变为碳化物。连续碳覆层包含石墨碳和无定形碳，并可以是多层覆层，其中内部层主要包含无定形碳，外部层主要包含石墨碳。
控制用于锂离子电池组含硅电活性材料形成多层覆层方法

[发明专利]一种通过两次图案化制做磁性隧道结阵列的方法-CN201611131067.4有效
发明人：张云森;麻榆阳;肖荣福 -专利权人：上海磁宇信息科技有限公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01L43/12 文献下载
摘要：一种通过两次图案化制做磁性隧道结阵列的方法，包括：在底电极基底上依次形成磁性隧道结多层膜、硬掩模膜层和牺牲掩模膜层；形成含碳图膜层、无机抗反射层和光刻胶层，用光刻工艺图形化定义形成第一层图案；等离子预处理第一层图案光刻胶层；采用反应离子刻蚀工艺把第一层图案图形转移到硬掩模层；除去残留的含碳图膜层和聚合物；再次形成含碳图膜层、无机抗反射层和光刻胶层，用光刻工艺图形化定义形成第二层图案；等离子体预处理第二层图案光刻胶层；采用反应离子刻蚀工艺把第二层图案转移到硬掩模膜层，在第一层图案和第二层图案的交叉处，最终形成图形化定义的硬掩模；除去残留的含碳图膜层和聚合物；对磁性隧道结多层膜进行刻蚀。
一种通过两次图案制做磁性隧道阵列方法

[发明专利]用于二次电池材料的硫灌注碳-CN201380070845.1有效
发明人：苏里亚·S·莫甘缇;贾亚普拉卡什·纳瓦尼德哈克里施南;乔纳森·李;理查德·戴尔麦里科;南森·鲍尔 -专利权人：苏里亚·S·莫甘缇;贾亚普拉卡什·纳瓦尼德哈克里施南;乔纳森·李;理查德·戴尔麦里科;南森·鲍尔
申请日： 2013-11-19 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01M4/13 文献下载
摘要：一方面，描述了生产作为用于Li‑S电池的负极材料的硫灌注含碳材料的方法，包括：提供含碳材料；将元素硫和含碳材料混合；以及在大于1atm的压力下、在约445℃至约1000℃的温度下加热混合的硫和含碳材料一定时间，从而产生硫蒸气以用硫灌注含碳材料，从而得到硫灌注含碳材料。另一方面，描述了用于生产作为用于Li‑S电池的负极材料的硫灌注含碳材料的反应器，包括：反应器体，其构造为耐受约1atm至约150atm；和反应器体内表面处的内耐硫层，其中内层在约450℃至约1000℃的温度下对硫蒸气呈惰性
用于二次电池材料灌注

[发明专利]减少氢沉积工艺-CN202080088499.X在审
发明人：闵笑全;V·S·C·帕里米;P·K·库尔施拉希萨;K·李 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：方法可包括使基板与含钨前驱物接触。方法可包括在基板上形成包括钨的起始层。方法可包括由含氢前驱物处理起始层。方法可包括形成含钨前驱物和含碳前驱物的等离子体。等离子体中的氢可限于含碳前驱物中包括的氢。方法可包括在起始层上形成含钨硬掩模层。
减少沉积工艺

[发明专利]一种高含碳量和高耐磨的硬质MoCN涂层及其制备方法-CN202211674927.4在审
发明人：徐志彪;李德香;吕笑文;刘叶诚;王校益;徐霖绿;谢森 -专利权人：五邑大学
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供一种高含碳量和高耐磨的硬质MoCN涂层及其制备方法，包括基底、Mo过渡层、MoCN层，Mo过渡层沉积在基底上，且在Mo过渡层上还沉积有MoCN层，本发明的MoCN涂层形成了以超硬度和宽带隙为主要性能的碳氮化合物，得到高含碳量和高耐磨的复合涂层材料；Mo过渡层相对较软，可以减小与基材的应力，提高涂层与基材的结合力，另外Mo过渡层可进一步减小涂层内应力，提高涂层与基材的结合力；通过控制乙炔的流量来制备不同含碳量的MoCN层晶粒细小，MoCN层为非晶态碳相和MoN相，晶粒尺寸小于11.6nm；本发明可提高靶材的利用率，又能够发挥多弧溅射结合力强和中频磁控溅射内应力小的优势。
一种高含碳量耐磨硬质 mocn 涂层及其制备方法