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[发明专利]光学构件用合成石英玻璃、投影曝光装置及投影曝光方法-CN03808732.4无效
发明人：生田顺亮;阿形纪之 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2003-04-23 - 公布日： 2005-07-27 - 主分类号： C03C3/06 文献下载
摘要：一种光学构件用合成石英玻璃，在以ArF受激准分子激光器激光为光源的光学装置内，于能量密度2mJ/cm²/脉冲以下使用，或者是以KrF受准分子激光器激光为光源的光学装置内，于能量密度30mJ/cm²/脉冲以下使用，其特征在于，其氢分子浓度在1×10¹⁶分子/cm³以上、5×10¹⁶分子/cm
光学构件合成石英玻璃投影曝光装置方法

[发明专利]处理薄金属层的方法与设备-CN01804788.2无效
发明人： J·S·伊姆 -专利权人：纽约市哥伦比亚大学托管会
申请日： 2001-10-09 - 公布日： 2003-03-19 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种处理衬底上薄金属层的方法和设备，通过用第一受激准分子激光脉冲辐射金属层，可控制该金属层中的颗粒度、颗粒形和颗粒界位置与定向。所述脉冲由掩膜限定的强度图案具有遮盖区与透光区。经第一受激准分子激光脉冲辐射后，让金属层的熔化区再固化。再固化期间，至少部分不熔区在邻接的熔化区内使颗粒活化生长而产生较大的颗粒。继第一受激准分子激光脉冲辐射再使熔化区完成再固化后，用强度图案偏移的第二受激准分子激光脉冲辐射金属层，使遮盖区覆盖金属层具有更少更大颗粒的区域。
处理金属方法设备

[发明专利]受激准分子激光器和谱线紧缩模块-CN200710004260.6无效
发明人：金壮鲜 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2007-01-19 - 公布日： 2007-07-25 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够使半导体制造的生产良率增大并最大化的受激准分子激光器和谱线紧缩模块。谱线紧缩模块利用了扩束器，由受激准分子激光器的发生器产生并入射的激光穿过扩束器，且扩束器将激光准直在一个方向上。衍射光栅接收准直的激光，衍射激光，并根据激光的相关波长将激光的行进方向分开。多波长反射器位于衍射光栅和扩束器之间的一侧的反射位置，以通过扩束器使具有多波长的激光再次进入发生器中。多波长反射器将行进方向被衍射光栅分开的激光中由多个波长组成的激光反射到扩束器上。
准分子激光紧缩模块

[发明专利]含有硫原子的防反射膜-CN200580008475.4有效
发明人：广井佳臣;岸冈高广;中山圭介;坂本力丸 -专利权人：日产化学工业株式会社
申请日： 2005-03-15 - 公布日： 2007-03-21 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：本发明提供一种防反射膜和用于形成防反射膜的组合物，所述的防反射膜，防反射光的效果高，不发生与光致抗蚀剂的混合，能够在使用F2受激准分子激光(波长157nm)或ArF受激准分子激光(波长193nm)等短波长的光的光刻工艺中使用
含有原子反射

[发明专利]一种抗蚀图形改进材料以及使用该材料制备抗蚀图形的方法-CN200910137846.9有效
发明人：野崎耕司;小澤美和 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2003-01-22 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：其中水溶性芳香族化合物选自包含以下物质的组中：多元酚，代表性的有五倍子酸，以及它的衍生物；萘多元醇，代表性的有萘二醇，萘三醇，以及它们的衍生物；和苯甲酮衍生物，代表性的有茜素黄A，其中抗蚀图形通过照射ArF受激准分子激光或者波长短于ArF受激准分子激光的波长的激光来形成，并且其中抗蚀图形改进材料的图形包括一种基本上不透过ArF受激准分子激光的基础树脂。
一种图形改进材料以及使用制备方法

[外观设计]激光测量装置-CN201830008004.3有效
发明人：守屋正人 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：激光测量装置。2．本外观设计产品的用途：用于测量受激准分子激光装置的激光特性。3．本外观设计的设计要点：在于产品的形状。4．最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。
外观设计激光测量装置受激准分子激光激光特性测量图片

[发明专利]化学增强型正光刻胶组合物和锍盐-CN01129511.2无效
发明人：上谷保则;大桥贤治;釜渊明 -专利权人：住友化学工业股份有限公司
申请日： 2001-06-22 - 公布日： 2002-01-09 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：该组合物适宜于KrF受激准分子激光、ArF受激准分子激光下的平版印刷,从而可得到高性能的光刻胶图案。
化学增强光刻组合

[发明专利]一种双波长输出准分子激光器-CN202211176702.6在审
发明人：朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种双波长输出准分子激光器，包括机架，机架内设有准分子激光腔室，准分子激光腔室内设有至少两个放电电极，两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道，机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置，机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组，机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
一种波长输出准分子激光

[实用新型]一种双波长输出准分子激光器-CN202222570315.2有效
发明人：朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双波长输出准分子激光器，包括机架，机架内设有准分子激光腔室，准分子激光腔室内设有至少两个放电电极，两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道，机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置，机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组，机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
一种波长输出准分子激光

[发明专利]水性碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、光掩模和电子装置的制造方法-CN02151387.2有效
发明人：白石洋;右高园子;服部孝司;新井唯;逆水登志夫 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2002-11-20 - 公布日： 2003-07-09 - 主分类号： C08G16/02 文献下载
摘要：本发明提供一种可以较少的工序数目制造、高精度且低缺陷的KrF准分子激光平版印刷法用光掩模。本发明的KrF准分子光平版印刷法用光掩模，是在石英玻璃基板(10)上直接形成可将KrF受激准分子激光(波长：约248nm)有效地吸收的抗蚀图案(18)。抗蚀图案(18)，是由以在萘环导入至少结合有一羟基的高遮光性水性碱可溶性树脂或该水性碱可溶性树脂的衍生物作为高分子树脂基质的水性碱可溶性树脂作为主成分的感光性树脂组合物所构成。
水性可溶性树脂感光性组合光掩模电子装置制造方法

[实用新型]一种准分子激光器位置调节机构-CN202321433382.8有效
发明人：白雅苏拉 -专利权人：北京精亦光电科技有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本申请涉及一种准分子激光器位置调节机构，属于准分子激光器技术领域。包括:准分子激光器，该准分子激光器包括机架，机架内设有准分子激光腔室；位置调节机构，该位置调节机构设有两组，两组位置调节机构分别固定在准分子激光器底部的两端；位置调节机构包括驱动准分子激光器沿水平方向移动的水平调节器，以及驱动准分子激光器沿竖直方向移动的竖向调节器。本申请的两组位置调节机构的水平调节器和竖向调节器分别通过水平方向运动和竖直方向运动实现准分子激光器四个自由度方向运动。本申请解决了大质量准分子激光器的装配调节和光路对准问题，位置调节机构通过单人手动或自动即可使大质量准分子激光器与光路系统精确对准。
一种准分子激光位置调节机构

[发明专利]一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路-CN202011617779.3有效
发明人：游利兵;方晓东;王宏伟;杨礼昭 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路。包括用于触发准分子激光器的装置和用于驱动准分子激光器的脉冲电路；用于触发准分子激光器的装置包括信号采集模块和电信号处理模块；用于驱动准分子激光器的脉冲电路包括触发脉冲电路，触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步。因此，本发明在晶体管和第十电容的相互配合作用下，能够产生快前沿低抖动的高压脉冲信号给准分子激光器，以保证准分子激光器的工作性能。
一种用于触发准分子激光产生等离子体电路

[发明专利]一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置-CN202211225386.7在审
发明人：马跃;游利兵;朱能伟;刘弘禹;方晓东;罗凯平 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种深紫外准分子激光传输装置，包括具有密闭空间的壳体，壳体上设有深紫外准分子激光射入窗口和深紫外准分子激光射出窗口，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光路调节装置，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光束准直系统，壳体上还连接有用于向密闭空间内注入减少深紫外准分子激光传输损耗的介质的介质存储装置，壳体上设有充气口及出气口，壳体包括外壳和透明观察窗本发明目的是克服了现有技术的不足，提供能够有效减少深紫外准分子激光传输中的能量损耗并方便直接观察和调试的深紫外准分子激光传输装置。
一种多功能透明结构深紫准分子激光传输装置

[外观设计]控制装置-CN201830008005.8有效
发明人：宫田将和 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：2．本外观设计产品的用途：用于控制受激准分子激光装置。3．本外观设计的设计要点：在于产品的形状。4．最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。
控制装置

[实用新型]157nm拉曼激光器-CN02283402.8无效
发明人：楼祺洪;朱晓峥;周军;叶震寰;董景星;魏运荣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2002-12-20 - 公布日： 2003-12-17 - 主分类号： H01S3/30 文献下载
摘要：一种新型的高功率激光器可以产生157nm的深紫外激光。NdYAG激光器五倍频输出213nm激光，然后对氢气进行受激喇曼散射，可获得反四阶斯托克斯光输出，其波长为157nm。与氟分子准分子激光器相比，本技术原理简单，实施路线清晰，而且成本低。
157 nm 激光器

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