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[发明专利]一种双串口分时控制准分子激光器通讯电路-CN202211676439.7在审
发明人：胡哲;朱能伟;游利兵;方晓东 -专利权人：深圳盛方科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种双串口分时控制准分子激光器通讯电路，包括有至少一个用于准分子激光器通讯信号与触摸屏通讯信号相互转换以及用于准分子激光器通讯信号与智能设备通讯信号相互转换的通讯信号互转电路，通讯信号互转电路连接有触摸屏接口、智能设备接口、激光信号发送电路、激光信号接收电路，激光信号接收电路中的开关二极管D1和开关二极管D2的隔离作用，使得两发接收数据引脚的电平互不影响，三极管T2导通，光纤接收头F2发光接收数据，当其中一路为低电平时，通讯信号互转电路输出的RXD信号被拉低，使得三极管T2截至，光纤接收头F2不接收数据，从而实现了触摸屏、智能设备电脑端与激光器之间的分时信号传输功能。
一种串口分时控制准分子激光通讯电路

[发明专利]一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器-CN202111459953.0在审
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵;马跃;刘弘禹 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器，包括用于灌装惰性气体和卤素气体的谐振腔体(1)，所述的谐振腔体(1)内设有相互间隔并能够放电的两个电极(2)，所述的谐振腔体(1)前端设有第一谐振镜片(3)，所述的谐振腔体(1)后端设有第二谐振镜片(4)，并且在第一谐振镜片(3)与电极(2)前端之间的位置设置有第一正圆形光阑(5)，在电极(2)后端与第二谐振镜片(4)之间的位置设置有第二正圆形光阑(6)。本发明结构简单，激光发散角一致，光斑呈圆形。
一种发散一致圆形光斑准分子激光

[发明专利]一种真空加热装置及准分子激光加工系统-CN202111461427.8在审
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵;马跃;刘弘禹 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H05B6/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空加热装置，包括腔体(1)和能够封闭或打开腔体(1)的盖体(2)，所述的腔体(1)上设有在盖体(2)封闭腔体(1)时用于对其内进行抽真空的接头(3)，所述的腔体(1)内设置有铁柱(4)，所述的铁柱(4)外套设有螺旋状的铜制线圈(5)，所述的铜制线圈(5)的两端分别与外部的直流高频电源连接，所述的铁柱(4)上设有用于放置工件(100)的放置位(6)，所述的盖体(2)上设有能供准分子激光穿透的镜片(7)。本发明还公开一种采用前述真空加热装置的准分子激光加工系统。本发明真空加热装置及准分子激光加工系统结构简单，不会损坏元器件且安全性好。
一种真空加热装置准分子激光加工系统

[实用新型]一种双串口分时控制准分子激光器通讯电路-CN202223478227.6有效
发明人：胡哲;朱能伟;游利兵;方晓东 -专利权人：深圳盛方科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双串口分时控制准分子激光器通讯电路，包括有至少一个用于准分子激光器通讯信号与触摸屏通讯信号相互转换以及用于准分子激光器通讯信号与智能设备通讯信号相互转换的通讯信号互转电路，通讯信号互转电路连接有触摸屏接口、智能设备接口、激光信号发送电路、激光信号接收电路，激光信号接收电路中的开关二极管D1和开关二极管D2的隔离作用，使得两发接收数据引脚的电平互不影响，三极管T2导通，光纤接收头F2发光接收数据，当其中一路为低电平时，通讯信号互转电路输出的RXD信号被拉低，使得三极管T2截至，光纤接收头F2不接收数据，从而实现了触摸屏、智能设备电脑端与激光器之间的分时信号传输功能。
一种串口分时控制准分子激光通讯电路

[发明专利]准分子激光器换镜片保护结构-CN202211549104.9在审
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵;马跃;刘弘禹;罗凯平 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了准分子激光器换镜片保护结构，包括具有谐振腔(100)的腔体(1)，所述的谐振腔(100)内设有能对充入其内的气体进行激励以产生准分子激光的电极(2)，所述的腔体(1)上并位于谐振腔(100)的前后两侧分别设有窗口(3)，所述的窗口(3)位置设置有可拆卸的镜片组件(4)，所述的腔体(1)上设有能相对其转动并能打开或关闭窗口(3)的保护盖(5)，当镜片组件(4)连接到腔体(1)上时，所述的保护盖(5)打开窗口(3)，当镜片组件(4)从腔体(1)上拆下时，所述的保护盖(5)关闭窗口(3)。本发明结构简单，能够最大程度减少空气进入腔体内。
准分子激光镜片保护结构

[实用新型]准分子激光器换镜片保护结构-CN202223261876.0有效
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵;马跃;刘弘禹;罗凯平 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型公开了准分子激光器换镜片保护结构，包括具有谐振腔(100)的腔体(1)，所述的谐振腔(100)内设有能对充入其内的气体进行激励以产生准分子激光的电极(2)，所述的腔体(1)上并位于谐振腔(100)的前后两侧分别设有窗口(3)，所述的窗口(3)位置设置有可拆卸的镜片组件(4)，所述的腔体(1)上设有能相对其转动并能打开或关闭窗口(3)的保护盖(5)，当镜片组件(4)连接到腔体(1)上时，所述的保护盖(5)打开窗口(3)，当镜片组件(4)从腔体(1)上拆下时，所述的保护盖(5)关闭窗口(3)。本实用新型结构简单，能够最大程度减少空气进入腔体内。
准分子激光镜片保护结构

[实用新型]一种深紫外激光传输装置-CN202222653880.5有效
发明人：马跃;游利兵;朱能伟;刘弘禹;方晓东;罗凯平 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种深紫外激光传输装置，包括具有密闭空间的壳体，壳体上设有深紫外激光射入窗口和深紫外激光射出窗口，壳体内并位于深紫外激光射入窗口与深紫外激光射出窗口之间还设有光路调节装置，壳体内并位于深紫外激光射入窗口与深紫外激光射出窗口之间还设有光束准直系统，壳体上还连接有用于向密闭空间内注入减少深紫外激光传输损耗的介质的介质存储装置，壳体上设有充气口及出气口。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供能够有效减少深紫外激光传输中的能量损耗的深紫外激光传输装置。该装置结构简单、调试方便、传输路径直观、运行成本低、应用灵活、实用性强能够灵活配合前端或后端的加工/实验设备，应用更广泛。
一种深紫激光传输装置

[实用新型]一种准分子激光光路调整模块-CN202222918413.0有效
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种准分子激光光路调整模块，包括激光器本体，激光器本体内具有的激光反应腔，激光器本体上设有端盖，端盖上设有出光口，端盖上连接调整架底座，调整架底座上连接有调整架，调整架上设有能够跟随其前后移动的镜片组件，调整架与调整架底座之间还设有能够将二者连通使得出光口与镜片组件之间形成封闭腔的连接组件，连接组件包括能够伸缩的连接管，连接管上还设有在其伸长或缩短时能够跟随展开或压缩的多个凹腔，调整架底座上并位于封闭腔内还设有能供激光通过的光阑组件。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够减少金属尘埃附着在镜片的内表面上的准分子激光光路调整模块。
一种准分子激光调整模块

[发明专利]一种准分子激光光路调整模块-CN202211360989.8在审
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光光路调整模块，包括激光器本体，激光器本体内具有的激光反应腔，激光器本体上设有端盖，端盖上设有出光口，端盖上连接调整架底座，调整架底座上连接有调整架，调整架上设有能够跟随其前后移动的镜片组件，调整架与调整架底座之间还设有能够将二者连通使得出光口与镜片组件之间形成封闭腔的连接组件，连接组件包括能够伸缩的连接管，连接管上还设有在其伸长或缩短时能够跟随展开或压缩的多个凹腔，调整架底座上并位于封闭腔内还设有能供激光通过的光阑组件。本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够减少金属尘埃附着在镜片的内表面上的准分子激光光路调整模块。
一种准分子激光调整模块

[实用新型]一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统-CN202222524346.4有效
发明人：游利兵;方晓东;游德海;朱能伟;马跃 -专利权人：深圳技术大学;深圳盛方科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统，所述系统包括温度探测部、冷却管路、加热部和控制模块；冷却管路上设有比例阀和换热器；换热器设置在激光放电腔内部，在冷却介质流动方向上，比例阀位于换热器前端；比例阀内部设有第一阀芯和第二阀芯，第一阀芯和第二阀芯并联在比例阀的阀进口和阀出口之间；第一阀芯的最大开度大于第二阀芯的最大开度，第一阀芯的最小开度大于第二阀芯的最小开度。本实用新型通过比例阀可以实现非常大的冷却介质流速调控范围，从而可以非常灵活的控制换热器的换热效率，实现对激光放电腔内部温度的精确调控。
一种大功率准分子激光放电温度控制系统

[发明专利]一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统和方法-CN202211163323.3在审
发明人：游利兵;方晓东;游德海;朱能伟;马跃 -专利权人：深圳技术大学;深圳盛方科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：一种大功率准分子激光放电腔温度控制系统和方法，所述系统包括温度探测部、冷却管路、加热部和控制模块；冷却管路上设有比例阀和换热器；换热器设置在激光放电腔内部，在冷却介质流动方向上，比例阀位于换热器前端；比例阀内部设有第一阀芯和第二阀芯，第一阀芯和第二阀芯并联在比例阀的阀进口和阀出口之间；第一阀芯的最大开度大于第二阀芯的最大开度，第一阀芯的最小开度大于第二阀芯的最小开度。本发明实现了快速并精确控制激光放电腔的工作温度，使得激光放电腔内维持在一个稳定的温度范围内，避免温度过低，缩短响应时间，提高了激光放电腔内电‑光转化效率；也避免温度过高，保证元件工作温度安全，延长使用寿命。
一种大功率准分子激光放电温度控制系统方法

[发明专利]一种双波长输出准分子激光器-CN202211176702.6在审
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种双波长输出准分子激光器，包括机架，机架内设有准分子激光腔室，准分子激光腔室内设有至少两个放电电极，两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道，机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置，机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组，机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置。本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
一种波长输出准分子激光

[实用新型]一种双波长输出准分子激光器-CN202222570315.2有效
发明人： 朱能伟;方晓东;游利兵 -专利权人：中山普宏光电科技有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双波长输出准分子激光器，包括机架，机架内设有准分子激光腔室，准分子激光腔室内设有至少两个放电电极，两个放电电极之间形成有能供准分子激光通过的光路通道，机架上设有与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充ArF混合气体的第一充气装置和与准分子激光腔室连通并对准分子激光腔室内充KrF混合气体的第二充气装置，机架上并位于光路通道上设有前腔镜及用于将准分子激光反射至前腔镜上的后腔镜组，机架上还设有能够与准分子激光腔室连通并用于对准分子激光腔室抽真空的抽真空装置。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够生成多种波长的准分子激光的双波长输出准分子激光器。
一种波长输出准分子激光

[发明专利]一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置-CN202211225386.7在审
发明人：马跃;游利兵;朱能伟;刘弘禹;方晓东;罗凯平 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种深紫外准分子激光传输装置，包括具有密闭空间的壳体，壳体上设有深紫外准分子激光射入窗口和深紫外准分子激光射出窗口，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光路调节装置，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光束准直系统，壳体上还连接有用于向密闭空间内注入减少深紫外准分子激光传输损耗的介质的介质存储装置，壳体上设有充气口及出气口，壳体包括外壳和透明观察窗，壳体上还设有操作窗口部。本发明目的是克服了现有技术的不足，提供能够有效减少深紫外准分子激光传输中的能量损耗并方便直接观察和调试的深紫外准分子激光传输装置。
一种多功能透明结构深紫准分子激光传输装置

[实用新型]一种多波长准分子激光加工系统-CN202221537901.0有效
发明人：马跃;游利兵;朱能伟;刘弘禹;方晓东 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-06-18 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多波长准分子激光加工系统，包括工作台，工作台上设有能够向外发射不同波长激光的第一激光激励发生器、第二激光激励发生器及第三激光激励发生器，工作台上设有第一反射镜、第二反射镜及第三反射镜，工作台上还设有能够使得第一反射镜、第二反射镜或第三反射镜反射的激光通过的光学系统，多波长准分子激光加工系统还包括控制系统、高压充电电源及用于装夹工件的加工台。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，根据准分子激光器结构和技术特点提供的一种在单台系统上能够发射多种波长准分子激光的多波长准分子激光加工系统。
一种波长准分子激光加工系统

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