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- [实用新型]一种单晶硅芯片压力传感装置-CN201620645808.X有效
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魏满妹
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魏满妹
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2016-06-27
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2016-11-16
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G01L1/16
- 本实用新型公开了一种单晶硅芯片压力传感装置,其结构包括外管、导管、保护线路器、壳体、保护膜、传感板、单晶硅芯片、磁铁、衬底、单晶硅层、单晶硅薄膜、真空腔,所述壳体连接所述导管,所述导管两端连接着所述外管,所述壳体内部连接着所述保护线路器,所述导管连接着所述传感板,所述传感板连接着所述保护膜,所述传感板连接着所述单晶硅芯片,所述单晶硅芯片设有衬底,所述衬底之上设置有所述单晶硅层,所述单晶硅层设有所述单晶硅薄膜,所述单晶硅薄膜与所述衬底之间形成所述真空腔,所述真空腔在任意位置的竖直方向上的截面均为梯形结构。本实用新型产品单晶硅芯片抗压性能高,不易损坏,传感信号不容易受到干扰。
- 一种单晶硅芯片压力传感装置
- [实用新型]一种耐盐碱腐蚀的单晶硅片-CN202122144111.8有效
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霍育强
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池州首开新材料有限公司
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2021-09-07
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2022-02-18
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H01L23/12
- 本实用新型公开一种耐盐碱腐蚀的单晶硅片,涉及单晶硅片领域,包括单晶硅片本体,单晶硅片本体的外侧设置有保护架,保护架内腔中开设有与单晶硅片本体相匹配的安装槽,保护架内腔中设置有二氧化硅层,二氧化硅层一侧设置有耐腐蚀层,保护架底部内腔设置有支撑板,二氧化硅层安装在两个相邻的保护架之间,耐腐蚀层由环氧树脂组成,耐腐蚀层安装在二氧化硅层的一侧,耐腐蚀层和二氧化硅层的厚度相同,通过以上各装置之间的配合使用可以增加单晶硅片的耐盐碱性,更好的对单晶硅片进行保护,防止单晶硅片在沾染盐碱性液体后发生损坏,保证单晶硅片的使用效果,使得单晶硅片具有耐盐碱腐蚀的功能。
- 一种盐碱腐蚀单晶硅
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