“聚焦离子束”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果828289个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]聚焦离子束样品清洁方法及装置-CN202111475885.7有效
发明人：王娅茹;李威 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种聚焦离子束样品清洁方法及装置。所述聚焦离子束样品清洁方法包括如下步骤：倾斜一聚焦离子束样品，使得所述聚焦离子束样品朝向一离子束的传输路径、且所述聚焦离子束样品中待清洁的第一表面与所述传输路径平行；控制所述样聚焦离子束样品自转第一预设角度，使得所述第一表面朝向所述传输路径；驱动所述离子束沿所述传输路径射向所述第一表面，以清洁所述第一表面。本发明从而改善聚焦离子束样品的清洁效果，提高了聚焦离子束工艺制备的TME图片质量。
聚焦离子束样品清洁方法装置

[发明专利]聚焦离子束装置-CN202180036774.8在审
发明人：水村通伸 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种聚焦离子束装置，其具备聚焦离子束柱状体，所述聚焦离子束柱状体在镜筒中内置有聚焦离子束光学系统而将聚焦离子束从所述镜筒的前端部射出，其中，在从所述聚焦离子束光学系统射出的所述聚焦离子束的去路的附近配置有向被处理基板的表面供给电子的金属针、金属片等电子供给部、具备捕获二次带电粒子的检测部的微通道板等，聚焦离子束装置通过设为这样简单的结构，由此能够实现聚焦离子束装置的低成本化，并且能够有效地防止带电。
聚焦离子束装置

[发明专利]一种基于荧光探针扫描的离子束控制装置-CN202110508180.4有效
发明人：伦俊杰;孙宗丽;孟凡瑞 -专利权人：昌乐县人民医院
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于荧光探针扫描的离子束控制装置，所述装置至少包括设置有离子束偏转组件的加速器和控制单元，控制单元用于控制离子束偏转组件以调节离子束的照射位置和深度，在离子束的发射路径上设置有深度调节单元，所述深度调节单元至少包括深度调节板和至少一个能够使得离子束聚焦的离子聚焦组件，所述离子聚焦组件将通过所述深度调节板的扩散的离子束聚焦在靶区。与现有技术中离子束直接照射在肿瘤组织的靶区相比，本发明能够调整离子束的路径并使得离子束聚焦，根据肿瘤位置的位移直接进行离子束的聚焦点的适应性调整，照射的精确度更高，对健康组织的损害更小。
一种基于荧光探针扫描离子束控制装置

[发明专利]独立控制离子束的偏转、减速与聚焦的方法-CN201811309627.X在审
发明人：董静娟 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明揭示一种用于控制离子束的偏转、减速及聚焦的方法。所述方法通过改变位于离子束两侧的电极电位来独立的控制离子束的偏转、减速和聚焦。所述方法包括：对离子束偏转的控制；对离子束减速的控制；对离子束聚焦的控制；对离子束出口处形状的控制；对离子束残余能量污染的控制；对离子束中电子的控制；以及对离子束的最终偏转角度的微调，同时使得离子束的轨迹通过透镜的出口
独立控制离子束偏转减速聚焦方法

[发明专利]一种基于光电离的低动能脉冲离子源-CN202110631064.1在审
发明人：高蕻;张国栋;关力畅;程敏 -专利权人：中国科学院化学研究所
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01J27/24 文献下载
摘要：本发明属于离子‑分子交叉束散射技术领域，涉及一种基于光电离的低动能脉冲离子源，包括：离子加速透镜组、偏转电极组、第一聚焦电极组、第二聚焦电极组和离子减速组件；离子加速透镜组，用于产生并加速离子，并对离子束进行初步聚焦；偏转电极组，用于对经过初步聚焦的离子束进行空间位置和速度方向的修正；第一聚焦电极组，用于对经过修正的离子束进行二次聚焦；第二聚焦电极组，用于对离子束进行第三次聚焦，以使离子束焦点落在反应区中心；离子减速组件，用于将经过第三次聚焦的离子束减速，并配合第一聚焦电极组和第二聚焦电极组优化离子束的聚焦状态。其采用多级聚焦的方式，以保证离子在动能降到很低的情况下也保持良好的聚焦状态。
一种基于电离动能脉冲离子源

[发明专利]一种基于位移偏离的离子束校准装置-CN202110917445.6在审
发明人：孙宗丽;伦俊杰;孟凡瑞 -专利权人：昌乐县人民医院
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于位移偏离的离子束校准装置，至少包括控制单元、离子束偏转组件和深度调节单元，控制单元接收位移检测装置发送的肿瘤组织的位移信息，在深度调节单元的出光侧设置有离子聚焦组件，所述离子聚焦组件设置在离子束的发射路径上并将通过深度调节板的扩散的离子束聚焦在靶区，响应于所述位移检测装置发送的待照射位置的位移信息，所述控制单元控制深度调节板和至少一个能够使得离子束聚焦的离子聚焦组件来调节离子束的路径，直至离子束的照射点与待照射位置匹配。本发明调整离子束的路径并使得离子束聚焦，根据肿瘤位置的位移直接进行离子束的聚焦点的适应性调整，照射的精确度更高，对健康组织的损害更小。
一种基于位移偏离离子束校准装置

[发明专利]一种基于荧光三维影像的离子聚焦装置-CN202110911268.0在审
发明人：孙宗丽;伦俊杰;孟凡瑞 -专利权人：昌乐县人民医院
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： H01J29/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于荧光三维影像的离子聚焦装置，离子聚焦装置与控制单元连接，离子聚焦装置设置在离子束的发射路径上并将通过深度调节板的扩散的离子束聚焦在靶区，离子聚焦装置包括离子聚焦组件，离子聚焦组件包括第一透镜和第二透镜，第一透镜和第二透镜分别通过电磁控制的机械架独立进行角度参数和位置参数的控制；第一透镜设置在深度调节板的离子束输出路径上，由深度调节板降低能量并扩散的离子束通过第一透镜的折射形成平行的离子束，控制单元控制第二透镜将平行的离子束聚焦在靶区的目标点本发明调整离子束的路径并使得离子束聚焦，根据肿瘤位置的位移直接进行离子束的聚焦点的适应性调整，照射的精确度更高，对健康组织的损害更小。
一种基于荧光三维影像离子聚焦装置

[发明专利]离子束调整-CN201180045304.4有效
发明人：常胜武;约瑟·C·欧尔森;法兰克·辛克莱;马太·P·麦卡伦 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2011-09-14 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： H01J37/10 文献下载
摘要：一种束线式离子植入机，包括：离子源，其被配置为用以产生离子束；扫描器，其被配置为用以对离子束进行扫描，从而产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束；以及聚焦元件，其具有聚焦场，位于扫描器的上游，被配置为用以使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点一种离子束调整方法包括：产生离子束；使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点；以及对离子束进行扫描，以产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束。
离子束调整

[发明专利]具有减小的扫描场效应的离子注入-CN200980150790.9有效
发明人：爱德华·艾伊斯勒 -专利权人：艾克塞利斯科技公司
申请日： 2009-12-10 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供了离子注入系统和扫描系统，其中提供了聚焦调整部件用于调整离子束的聚焦性质，来减小扫描器在离子束上的零场效应。聚焦性质可以被调整，用于改善跨过工件扫描的束轮廓的一致性，或改善跨过工件的离子注入的一致性。本发明公开了将经扫描的离子束提供给工件的方法，包括扫描离子束以产生经扫描的离子束，关于扫描器在离子束上的零场效应调整离子束的聚焦性质，以及朝向工件引导离子束。
具有减小扫描场效应离子注入

[发明专利]一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法-CN201210031361.3有效
发明人：邵天敏;张少婧;刘佳琛;王惠;刘大猛 -专利权人：清华大学
申请日： 2012-02-13 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G01Q60/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针的方法，包括以下步骤：对原始光纤进行预处理；将预处理后的光纤的固定在聚焦离子束系统的样品台上，调整样品台的方位，使聚焦离子束系统的离子束出射方向垂直于光纤的中心轴，启动聚焦离子束系统对光纤的端面进行铣削，使其端面光滑平整；调整样品台的方位，使聚焦离子束的出射方向垂直光纤的末端面，将圆环状灰度图转换成.bmp文件通过计算机输到聚焦离子束系统的图形发生器中对光纤末端的圆柱面进行逐层铣削；改变聚焦离子束系统的加工参数，将其处于精铣削的状态，将锥角灰度图转换成.bmp文件通过计算机输到聚焦离子束系统的图形发生器中对光纤的端面进行铣削，获得所需光纤探针。
一种利用聚焦离子束技术制备光纤探针方法

[发明专利]一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度的方法-CN201010569692.3无效
发明人：王荣明;罗浒;崔益民;姚骏恩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度的方法，该方法有四大步骤：一、对刻蚀加工的样品进行清洗、烘干，然后装入双束系统的样品台上，并抽取真空；二、移动样品台到该双束系统的工作距离，调节该双束系统电压、束流等参数，调节好电子束与离子束象散，最终使该系统中的电子束与离子束的焦点汇聚于样品表面。三、在聚焦离子束曝光软件-图形发生器上设计好需要加工的图形；同时打开聚焦离子束和电子束辅助聚焦离子束刻蚀加工，根据聚焦离子束束流大小选择好合适的电子束束流范围；四、关闭该双束系统中电子束与离子束的高压，
一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度方法

[发明专利]一种离子束传输光路-CN201811201399.4有效
发明人：彭立波;张赛;易文杰 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束传输光路，包括用于产生包含目标元素离子的离子源、用于引出包含目标元素离子的离子束的引出电极、用于对离子束进行筛选的分析器、设有光栏缝的分析光栏、用于离子束聚焦的聚焦透镜、用于提升离子束能量的加速管、用于对离子束进行对称扫描以将离子束扩张为扇形扫描离子束的对称静电扫描电极、以及用于对扇形扫描离子束的角度进行矫正以形成平行离子束的均匀磁场平行透镜，所述离子源、引出电极、分析器、分析光栏、聚焦透镜、加速管
一种离子束传输

[发明专利]在TEM样品制备中用于低kV FIB铣削的基于剂量的端点确定-CN201310386836.5有效
发明人： T.G.米勒;J.阿加瓦奇;M.莫里亚蒂 -专利权人： FEI公司
申请日： 2013-08-30 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供一种用于使用聚焦离子束形成透射电子显微术样品薄层的方法、系统以及计算机可读介质，包括将高能聚焦离子束引导向大块量材料；用该高能聚焦离子束铣削掉该多余量的材料，以产生带有一个或多个具有破坏层的暴露面的半成品样品薄层；对该聚焦离子束的清除速率进行表征；对清除速率进行表征之后，将该低能聚焦离子束引导向该半成品样品薄层一段预先确定的铣削时间，以便从该低能聚焦离子束上单位面积发送规定剂量的离子；以及用该低能聚焦离子束铣削该半成品样品薄层以清除至少一部分破坏层
tem 样品制备用于 kv fib 铣削基于剂量端点确定

[发明专利]聚焦离子束注入结合氟化氙气体辅助刻蚀的微纳加工方法-CN200910067643.7有效
发明人：房丰洲;徐宗伟;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2009-01-09 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于聚焦离子束注入和辅助气体刻蚀的微纳加工方法，包括下列步骤：将待加工基底置于聚焦离子束样品室；通过离子束成像系统对其进行形貌观测；利用聚焦离子束对基底按照目标加工图案进行离子注入加工；在所述的聚焦离子束样品室内，原位利用聚焦离子束氟化氙气体辅助刻蚀的方法对离子注入区域进行微纳加工。
聚焦离子束注入结合氟化氙气辅助刻蚀加工方法

[实用新型]垂直引入飞行时间质量分析器离子束动能分散聚焦装置-CN202223573515.X有效
发明人：王宇翀;邹立 -专利权人：泰州宸安生物科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J49/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了垂直引入飞行时间质量分析器离子束动能分散聚焦装置，涉及质谱仪组件领域，包括加速器、无场区以及入射离子束，所述加速器的出口与无场区连接的入口处安装有聚焦装置，聚焦装置包括入射极片、中间极片以及出射极片本实用新型通过设置的聚焦装置，能够对离子束内的离子进行聚集，减少离子的分散情况，增加离子与检测器单位面积内的检测量，从而提高仪器灵敏度，且使聚焦装置与进入的离子束保持在同一轴线上，使得聚焦装置对离子施加的力仅仅改变离子束的分散度，不会造成离子束反射偏移。
垂直引入飞行时间质量分析器离子束动能分散聚焦装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条