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[发明专利]一种磨片清洗工艺-CN202310966724.0在审
发明人：白玉麟;段立群;孙希凯;东士博;刘建伟;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供一种磨片清洗工艺，步骤包括：对研磨后的硅片先进行预清洗，再对预清洗后的硅片进行碱液清洗；其中，所述碱液清洗时所用的药液为弱碱性清洗剂。本申请一种磨片清洗工艺，适合各种类型产品的清洗，清洗效果好且质量高，避免多种工艺切换而导致的切换工时的浪费，提高清洗效率；可有效去除硅片表面残留的杂质，并使腐蚀后的去除量不足0.5um，且不会对产品的TTV产生影响。
一种清洗工艺

[发明专利]一种废水回用处理工艺-CN202310825991.6在审
发明人：周艺妃;孙维帅;潘力;董雪丽;张晋英;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本申请提供一种废水回用处理工艺，步骤包括：收集生产废水；对废水进行中和及絮凝；使废水中的絮凝物进行处理；再对废水进行过滤，最终获得合格的水液，以用于制作生产所用纯水。本申请一种废水回用处理工艺，可快速且稳定地对废水进行回收处理，并可保证废液处理后的各项技术参数均符合生产所用的纯水标准，提高废水的利用率，节约水资源，降低生产成本。
一种废水用处理工

[发明专利]一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法-CN201810332647.2有效
发明人：张志富;李伟凡;郝大维;边智学;刘愿;郭宝川 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法，包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述管路上设有蝶阀，所述真空泵管路与所述真空泵之间通过第二波纹管连接，所述真空泵上还设有真空泵排气管道。本发明所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法，通过真空泵与单晶炉一对多的形式，以及相应的控制方法，能够提高真空泵的利用率，保证较好的使用效果，同时避免出现因抽空发生的“流熔”事故，稳定性较好，方便实用。
一种提高真空泵利用率装置方法

[实用新型]一种自动加热甩干机-CN202320788419.2有效
发明人：严政先;段立群;孙希凯;韩木迪;东士博;宋春明;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F26B11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动加热甩干机，包括箱体、加热组件和驱动组件，所述箱体内部设有甩干桶，用于装载清洗筐，所述清洗筐内设有装载硅片的片篮，所述加热组件设置在所述箱体的顶部，所述驱动组件设置在所述箱体内部，位于所述甩干桶的底部，用于驱动所述甩干桶转动。本实用新型的有益效果是提高了甩干机的装载速度，增大了装载容量，提高了甩干效率，有效的保证了硅片的质量，结构简单，操作便捷。
一种自动加热甩干机

[发明专利]一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺-CN202310647414.2在审
发明人：由佰玲;王维师;周迎朝;邓春星;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B08B9/22 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片包装片盒的清洗及干燥工艺，包括：将包装片盒上载并置入纯水槽中浸泡，传递至预清洗槽中进行预清洗，进入清洗槽进行清洗；清洗后的所述包装片盒移动至第一处理处进行干燥处理；干燥后的所述包装片盒转移至第二处理处进行一次静置储存，随后再置入恒温氮气柜中进行二次静置处理，将其取出后在第二处理处进行三次静置，处理完成。本发明的有益效果是采用的包装片盒的干燥静置包含三个部分，一是热空气干燥和散热导流，二是一级环境静置和降温，三是N2柜干燥，通过这种方式清洗的包装片盒但保证了表面的及其微小的液滴的充分干燥。
一种硅片包装清洗干燥工艺

[发明专利]一种区熔单晶小头切除装置及提高切除效率的装置-CN201810517849.4有效
发明人：李伟凡;涂颂昊;郝大维;边智学;刘愿;郭宝川;王遵义;孙晨光;王彦君;孙健 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C30B13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种区熔单晶小头切除装置及提高切除效率的装置，包括中心固定轴、撞击杆、弹力装置及可前后运动的刀架机构；刀架机构前端设有刀片机构，弹力装置设置在刀架机构后端，中心固定轴与刀架机构转动连接，撞击杆与中心固定轴固接，驱动机构驱动刀架前后运动。本发明所述的一种区熔单晶小头切除装置及提高切除效率的装置，能够在切除单晶小头时不拆炉的条件下，减小单晶小头的切除过程中所产生的粉尘，进而保证炉膛环境满足高品质区熔单晶加工的需求。
一种区熔单晶小头切除装置提高效率

[发明专利]一种制备区熔单晶的线圈对中装置-CN201810713329.0有效
发明人：赵阳;刘琨;姚志强;陈玉桥;楚占宾;王广明;孙晨光;王彦君;孙健 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C30B13/28 文献下载
摘要：本发明创造提供一种制备区熔单晶的线圈对中装置，该对中装置设置于区熔炉内；区熔炉包括了由上至下固定连接的上炉室、中炉室和下炉室，其中，所述中炉室内固设有一线圈，所述线圈的上表面设有一对中片；所述对中片为透明片体结构，其正中心开设有一圆形孔洞；所述下炉室内设有下轴，所述下轴可以在区熔炉内上下升降，所述下轴的顶部固设有一激光发生器，所述激光发生器的激光竖直向上。本发明创造采用激光发生器取代原有的机械式对中器，可以使下轴只上升到线圈附近，无需与线圈硬性接触，避免了机械对中器的磨损和对设备的损坏；同时激光对中的精度和效果较机械式对中更高更好，提高了对中工序的效率。
一种制备区熔单晶线圈装置

[实用新型]一种碳化硅托盘及清洗装置-CN202320080906.3有效
发明人：严政先;孙希凯;石明;董建斌;东士博;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-01-12 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B65D19/38 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种碳化硅托盘，为一体成型结构，包括底板、一号耳板和二号耳板，所述一号耳板垂直安装至底板的一端，所述二号耳板垂直安至底板的另一端形成U字型结构，所述底板的两侧分别设有一号侧壁a和一号侧壁b，所述一号耳板的两侧分别设有二号侧壁a和二号侧壁b，所述二号耳板的两侧分别设有三号侧壁a和三号侧壁b，所述二号侧壁a、一号侧壁a和三号侧壁a依次首尾相接形成一号侧栏，所述二号侧壁b、一号侧壁b和三号侧壁b依次首尾相接形成二号侧栏，使碳化硅托盘整体形成槽状体。本实用新型通过清洗使托盘具备稳定承载运输二氧化硅的能力。
一种碳化硅托盘清洗装置

[实用新型]一种硅片生产用的篮筐装置-CN202320788437.0有效
发明人：严政先;段立群;孙希凯;韩木迪;东士博;宋春明;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片生产用的篮筐装置，包括托篮架、压篮装置和挡条，所述托篮架为顶端开口的镂空架体，用于放置片篮；所述压篮装置与所述托篮架可拆卸连接，用以对片篮进行高度方向的限位；所述挡条设置在所述托篮架底与所述压篮装置之间，用以对片篮进行长度或宽度方向的限位。本实用新型中的所述托篮架可以盛装多种尺寸的片篮，一筐多用，企业不必生产并仓储不同尺寸的篮筐，节省生产成本；通过不同安装位点及尺寸的所述挡条和所述压篮装置对不同尺寸的片篮进行限位，防止在硅片抛光、清洗和甩干等过程中，片篮产生晃动或者掉落，稳固效果好且适用范围广。
一种硅片生产篮筐装置

[发明专利]一种N型外延片表面预处理方法-CN202310380898.9在审
发明人：谢琼震;徐翀;谢艳;孙振康;杨依坤;范宗帅;陈渊凌;罗晖;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明提供一种N型外延片表面预处理方法，对外延层生长完毕后的外延片表面进行预处理，包括，将外延片放置于含有氧的气体氛围中，采用醇类溶液对外延片表面进行浸润；对外延片表面进行按压、摩擦。本发明的有益效果是整个处理过程简单、快捷，预处理效果稳定，在预处理过程中没有采用对环境有污染的材料，处理时间短，为实验室或者工厂在N型硅外延片预处理环节提供了更多的选择性。
一种外延表面预处理方法

[实用新型]一种外延片洗涤水处理装置-CN202222682451.0有效
发明人：孙维帅;周艺妃;杨国林;张晋英;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种外延片洗涤水处理装置，包括：原水槽、混凝槽、过滤器、抗污染UF膜、过滤水槽、保安过滤器以及RO膜；其中，每个部件均通过连接管道进行连接；外延片洗涤水先储存至所述原水槽中，再进入所述混凝槽中进行硅沉淀，随后通过所述过滤器进行过滤，再通过所述抗污染UF膜除去所述外延片洗涤水中的悬浮颗粒，进入所述过滤水槽中，再通过所述保安过滤器进入至所述RO膜中进行去离子过滤。本实用新型的有益效果是通过新型外延片尾气洗涤水处理工艺对外延尾气洗涤水进行回收处理，处理后的水质满足回用要求，重新用于洗涤塔洗涤尾气。
一种外延洗涤水处理装置

[实用新型]一种晶圆V槽定位装置及倒角装置-CN202320788436.6有效
发明人：高国志;东士博;韩木迪;宋春明;崔政;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆V槽定位装置及倒角装置，包括用于晶圆运送的传送组件、检测组件以及用于对晶圆的V槽进行定位的旋转定位组件，其中，旋转定位组件设于传送组件的出料端，旋转定位组件可相对传送组件转动，传送组件传送晶圆至旋转定位组件处，旋转定位组件驱动晶圆转动，以使得晶圆的V槽转动至与旋转定位组件接触时，晶圆停止转动，进行V槽定位；检测组件设于旋转定位组件的一侧，与晶圆的位置相对应，检测晶圆的转动状态。本实用新型的有益效果是各个晶圆进入倒角工序时的V槽的位置相一致，使得在晶圆倒角过程中，各个晶圆的V槽处研磨去除量一致，保证晶圆倒角后V槽形貌深度大小一致，保证V槽形貌一致，满足工艺要求。
一种定位装置倒角

[实用新型]一种区熔单晶倒运降温装置-CN202320784273.4有效
发明人：王春元;孙皓;孙健;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种区熔单晶倒运降温装置，包括支撑框架、降温装置和移动装置，所述支撑框架用于放置区熔单晶，所述降温装置设置在所述支撑框架未放置所述区熔单晶的一侧，用于对所述区熔单晶降温，所述移动装置设置在所述支撑框架上，用于移动所述区熔单晶。本实用新型的有益效果是避免了区熔单晶生产过程中的多次搬运，同时实现了搬运和降温的功能，结构简单占地面积小，操作便捷，提高了生产效率，降低了生产成本，有效保证了区熔单晶在运输过程中的安全性，减少了安全隐患。
一种区熔单晶倒运降温装置

[发明专利]一种片盒自动包装设备-CN201811319640.3有效
发明人：张淳;戴超;李笑岩;刘琦;谭永麟;孙晨光;吕莹 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B65B43/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种片盒自动包装设备，包括包装机支架和依次排列设置在包装机支架内部架体上的片盒上料转运装置、预制袋开口装置、预制袋封装装置、预制袋撑开调节装置和片盒封装后下料转运装置，片盒封装后下料转运装置上方的包装机支架内部架体上设置有预制袋真空吸盘装置。本发明所述的一种片盒自动包装设备，通过采用自动包装的方法，降低人为误操作，进而影响包装美观，同时节省时间、节约空间、可自动控制、减少人工参与、提高工作效率。
一种自动包装设备

[实用新型]一种硅片清洗用翻转单元-CN202320008027.X有效
发明人：张宏杰;刘建伟;武卫;刘姣龙;祝斌;袁祥龙;刘园;裴坤羽;孙晨光;王彦君;由佰玲;常雪岩;杨春雪;谢艳;刘秒;吕莹;徐荣清 -专利权人： 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片清洗用翻转单元，包括翻转装置以及可沿着翻转装置的轴线移动的分离托举装置，分离后的一组硅片被放置于分离托举装置上，分离托举装置动作，该组硅片落在翻转装置内，翻转装置动作，对硅片进行翻转。本实用新型的有益效果是翻转装置与分离托举装置相配合，分离托举装置接收硅片后，向下移动，硅片落入相对应的侧面卡位槽内，并对承托部的侧面卡位槽承托，硅片停留在翻转装置中，翻转装置翻转，实现硅片放置状态的改变，使得多组硅片清洗后，进行各组硅片翻转、下载，能够同时进行多组硅片清洗，提高硅片的清洗产能。
一种硅片清洗翻转单元

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