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[实用新型]一种带有余热利用的微型自由活塞动力装置-CN201721637865.4有效
发明人：禹莉莉;王谦;黄蓉;赵岩 -专利权人：江苏大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： F02B71/04 文献下载
摘要：；所述微型自由活塞动力机构包括定子和活塞；所述左燃烧室和右燃烧室内壁分别设有激磁绕组和定子绕组，所述激磁绕组与外部电源连接；所述定子绕组与储能装置连接；所述活塞的结构为磁性对置式活塞结构，所述排气口与废气收集管连接；所述废气收集管内设有导向管；所述高温侧陶瓷板与低温侧陶瓷板相互平行，所述N型半导体和P型半导体交替排列在高温侧陶瓷板与低温侧陶瓷板之间，且通过导电片串联连接；所述导电片与储能装置连接。
自由活塞陶瓷板本实用新型废气收集管活塞储能装置定子绕组动力机构动力装置激磁绕组余热利用导电片温差发电装置燃烧室内壁高温热源活塞结构交替排列能源利用外部电源外界环境左燃烧室导向管对置式排气口冷源温差平行发电

[实用新型]冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备-CN201721533749.8有效
发明人：特洛伊·乔纳森·贝克;武泽成;王颖慧 -专利权人：镓特半导体科技（上海）有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： B01D8/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备。冷阱装置可以用于对从反应腔室排出的尾气进行预处理。采用本实用新型的冷阱装置能避免粉尘沉积在抽气装置上造成抽气装置停机，减少抽气装置和尾气处理装置的废气处理量且延长设备清洗保养周期以降低生产成本；尾气处理系统能快速高效地处理各种废气以降低对环境的危害，且结构简单，成本低廉；采用本实用新型的半导体生产设备，能减少保养频率，有效降低生产成本。
冷阱装置罐体半导体生产设备尾气处理系统本实用新型抽气装置进气口反应腔室沉淀区冷却区排气口预处理尾气处理装置保养频率保养周期顶部设置废气处理粉尘沉积罐体上部罐体下部冷却管路设备清洗侧壁排出停机废气尾气

[实用新型]一种半导体废气处理设备新型冷却板降温装置-CN202123307509.5有效
发明人：崔汉博;崔汉宽 -专利权人：上海高生集成电路设备有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： F23J15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体废气处理设备新型冷却板降温装置,包括废气仓，所述废气仓的底部之间设置有降温装置，所述降温装置包括若干块冷却板和降温通道，所述冷却板的内部设置有若干隔板，所述冷却板的底部设置有安装板本实用新型通过降温装置，可以有效的降低废气经高温处理后的温度，提高了处理的效率。
一种半导体废气处理设备新型冷却降温装置

[实用新型]一种半导体厂酸碱废气综合处理装置-CN202020647417.8有效
发明人：于培勇;钱润金 -专利权人：金广恒环保技术（南京）股份有限公司
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体厂酸碱废气综合处理装置，包括废气综合处理塔体，所述废气综合处理塔体的内部的下方安装有废气收集室，所述废气收集室的内部的下方安装有斜坡板，所述废气收集室的内部的前端安装有排污口，所述废气收集室的上方安装有聚集室，所述聚集室的上方安装有环形连接管。本实用新型的填料净化处理层的内部的边侧设置有倒三角密封块，通过倒三角密封块可以将填料净化处理层的开口的大小进行改变，大口朝下，小口朝上，通过大口可以将废气大量收集，通过小口逐渐放出，这样废气在喷淋处理的过程中，可以将壁面的废气完全处理，减少壁面吸附颗粒，使废气完全喷淋，从而提高废气处理的效果。
一种半导体酸碱废气综合处理装置

[发明专利]气体传感器-CN200880103727.5无效
发明人： D·利梅斯多夫;R·菲克斯 -专利权人：罗伯特.博世有限公司
申请日： 2008-08-14 - 公布日： 2010-07-21 - 主分类号： G01N27/414 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于测定气体混合物特别是内燃机废气中气体成分的气体传感器(10)，其具有涂于由半导体材料制成的基板(13)上的和曝露于待测气体混合物的气敏层(17)，该气敏层(17)含银。
气体传感器

[实用新型]一种半导体尾气处理设备管道限流装置-CN202320815345.7有效
发明人：崔汉博;崔汉宽 -专利权人：上海高笙集成电路设备有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F16L55/027 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体尾气处理设备管道限流装置，包括装置本体，所述装置本体包括限流板和密封圈，所述密封圈套接在限流板外侧；所述限流板外侧设有安装凹槽，所述安装凹槽呈环状内凹状结构，所述安装凹槽内部设有若干组呈环状等距方式分布的固定块该种半导体尾气处理设备管道限流装置可以限制了气体通过量，在管道内经过缓冲，已相对稳定的流量经过限流装置，使限流装置后的气体压力稳定，提高了废气处理能力。
一种半导体尾气处理设备管道限流装置

[发明专利]具有氟气发生装置的半导体制造设备-CN201080003667.7无效
发明人：毛利勇;八尾章史;田仲健二;宫崎达夫 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2010-01-15 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： C25B1/24 文献下载
摘要：本发明提供一种具有氟气发生装置的半导体制造设备，其包括氟气发生装置、以及使含有氟系气体的废气燃烧的除害装置。上述半导体制造设备还包括将从氟气发生装置产生的副生成气体向上述除害装置引导的导出路径，上述除害装置具有将送至除害装置的副生成气体用作燃烧剂的机构。
具有氟气发生装置半导体制造设备

[实用新型]一种气体过滤器-CN202220817936.3有效
发明人：常浩;冯辉 -专利权人：瑞奥华科技工程（成都）有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B01D53/79 文献下载
摘要：本实用新型涉及环保设备技术领域，具体涉及一种气体过滤器，包括主体和过滤组件，过滤组件包括第一滤网、集气斗、导气管、进液管、排液阀和第二滤网，主体为过滤组件提供安装条件，过滤腔用于存储吸收液，半导体生产过程中产生的废气首先通过第一滤网，第一滤网将废气中的有毒废气和有机废气吸收，集气斗使废气集中并进入所述导气管，通过进液管将吸收液加入过滤腔中，导气管引导废气进入吸收液中，吸收液会吸收废气中的酸性废气和碱性废气，深度过滤完成的废气再经过第二滤网进行最终过滤，通过三重过滤环节，使废气能够彻底过滤，解决了过滤器只通过过滤网过滤，过滤效果不好的问题。
一种气体过滤器

[发明专利]一种温泉浴池的半导体温差发电装置-CN201711126114.0在审
发明人：毛永远 -专利权人：江苏欧一油品科技有限公司
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： F03G7/04 文献下载
摘要：本发明提供一种温泉浴池的半导体温差发电装置，涉及温差发电技术领域。该温泉浴池的半导体温差发电装置，包括地基，地基的顶部固定安装有池壁。该温泉浴池的半导体温差发电装置，通过池壁、蒸发器、涡轮箱、涡轮、发电机、涡轮杆、蒸汽进管、水泵、冷水进管、冷水出管、冷凝器、废气出管和凝结水出管的配合，温泉内的温水通过蒸发器产生蒸汽，通过涡轮驱动发电机发电
一种温泉浴池半导体温差发电装置

[发明专利]排气装置及半导体加工设备-CN202110356380.2在审
发明人：陈路路;赵海洋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种排气装置及半导体加工设备，包括用于将半导体加工设备的工艺腔室中的废气排出的主排气管路和设置在主排气管路上的主通断阀，其还包括分级过压保护组件，分级过压保护组件包括内径不同的至少两条过压排气管路本发明提出的排气装置及半导体加工设备，其能够根据预设压力开启分级过压保护组件，辅助主排气管路进行排气，从而能够使主排气管路内部压力维持在安全的压力范围内。
排气装置半导体加工设备

[发明专利]空气过滤装置-CN03158528.0有效
发明人：曾国邦 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2003-09-18 - 公布日： 2004-08-04 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本发明适用于过滤由半导体厂产生的腐蚀废气，并可减少排出气体中的次微米级硅颗粒及可溶性腐蚀气体，以避免硅颗粒在半导体厂的厂务排气管中堆积，增加管路维修费用，并减少半导体厂排气口所排出的悬浮微粒，以避免其所排出的次微米悬浮微粒形成空气污染
空气过滤装置

[实用新型]一种蒸发光散射检测器-CN201420081746.5有效
发明人：李昭;何杰;徐彬;鲁湛;何萍 -专利权人：上海浩杰生物科技有限公司
申请日： 2014-02-23 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： G01N21/49 文献下载
摘要：所述蒸发光散射检测器包括主机，所述主机包括:雾化室、漂移管、光学检测室及排气管，所述雾化室、所述漂移管、所述光学检测室及所述排气管顺序相连，该蒸发光散射检测器还包括：高温气体废液回收系统,所述高温气体废液回收系统包括：半导体制冷室，冷凝管及废液回收系统；所述半导体制冷室的一端与所述主机的排气管相连，所述半导体制冷室的另一端与所述冷凝管的一端相连，所述冷凝管的另一端与所述废液回收系统相连。该蒸发光散射检测器的高温气体废液回收系统直接与主机中的排气管相连，从而进行废气回收，配合流畅，应用方便。
一种蒸发散射检测器

[实用新型]一种温泉浴池的半导体温差发电装置-CN201721518245.9有效
发明人：毛永远 -专利权人：浙江晨峰电力成套设备有限公司
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： F03G7/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种温泉浴池的半导体温差发电装置，涉及温差发电技术领域。该温泉浴池的半导体温差发电装置，包括地基，地基的顶部固定安装有池壁。该温泉浴池的半导体温差发电装置，通过池壁、蒸发器、涡轮箱、涡轮、发电机、涡轮杆、蒸汽进管、水泵、冷水进管、冷水出管、冷凝器、废气出管和凝结水出管的配合，温泉内的温水通过蒸发器产生蒸汽，通过涡轮驱动发电机发电
温泉浴池半导体温差发电装置冷凝器蒸发器温水池壁出管水泵地基涡轮驱动发电机温差发电技术本实用新型发电效率冷水出管冷水进管冷水输送温差发电循环利用蒸汽进管装置结构凝结水涡轮杆涡轮箱涡轮发电机废汽排出加热蒸汽抽取废气冷却温泉发电配合

[实用新型]一种汽油机专用的涡轮增压器-CN201820534964.8有效
发明人：王奕峰 -专利权人：南安市奇优机械设计有限公司
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： F02B39/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种汽油机专用的涡轮增压器，包括空气压缩机、涡轮壳体、外壳、过滤钢网、密封套、凹槽、通孔以及半导体制冷片，空气压缩机安装在涡轮壳体上侧，外壳固定在废气旁通阀真空罐后端面，过滤钢网安装在外壳内，密封套对称安装在过滤钢网的左右端面，凹槽开设在外壳内下侧，该设计解决了原有的涡轮增压器防尘功能不够全面的问题，通孔对称开设在涡轮壳体上下端面，孔通过膨胀螺丝将半导体制冷片与涡轮壳体之间相固定，半导体制冷片安装在涡轮壳体内
涡轮增压器涡轮壳体半导体制冷片过滤钢网汽油机本实用新型空气压缩机密封套原有的专用的通孔废气旁通阀对称安装对称开设防尘功能降温功能膨胀螺丝上下端面外壳固定组合安装后端面涡轮壳真空罐体内震动

[实用新型]一种便于闭合的工业废气环保治理回收装置-CN202122750180.3有效
发明人：宫帅;刘欢 -专利权人：天津泺泽环保科技有限公司
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H05K7/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于闭合的工业废气环保治理回收装置，包括箱体，还包括固定组件和散热组件，所述固定组件安装在箱体内，所述固定组件具体由丝杆、轴承、固定框、滑条、滑轨、夹板、伸缩杆、橡胶垫和螺块组成，在箱体内底部插接丝杆并螺纹连接两组螺块，螺块连接夹板，并在箱体底部通过滑条滑动连接滑轨内，将滑条安装在固定框两侧，以便于对控制主机的安装和拆卸使用，使用更方便，在箱体内安装半导体制冷片并在外侧安装散热风扇，在箱体内设置温度传感器和控制芯片连接半导体制冷片，以便于通过半导体制冷片对箱体内安装的控制主机提供降温散热的保护作用，使用更安全。
一种便于闭合工业废气环保治理回收装置