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[实用新型]一种半导体制程废气的燃烧处理装置-CN201821079320.0有效
发明人：杨春水;曹小康;司马超;张坤;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体制程废气的燃烧处理装置，涉及工业环保设备技术领域。该制程废气的燃烧处理装置，包括除尘箱，所述除尘箱左侧连通有进气管，所述进气管上设置有第一风机，所述除尘箱顶部连通有第二风机，所述第一输气管上设置有干燥器，所述第一输气管右端连通有燃烧箱，所述燃烧箱内部固定连接有陶瓷传热板该半导体制程废气的燃烧处理装置，通过设置除尘箱，使得气体更为流畅的通过装置，通过设置装置箱，对初步过滤的气体进行酸碱中和，通过设置燃烧箱，使得充分燃烧的气体可以通过出气口进入到大气中。
燃烧箱燃烧处理装置连通除尘箱半导体制程废气风机进气管输气管设备技术领域本实用新型充分燃烧初步过滤工业环保内部固定设置装置酸碱中和通过装置出气管出气口传热板干燥器制程液化气陶瓷

[实用新型]一种用于半导体工厂空压机废热回收装置-CN202223570368.0有效
发明人：王奇平 -专利权人：上海合晶硅材料股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： F25B27/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，属于半导体加工技术领域，包括安装座，所述安装座的顶部从左至右均依次安装有空压机本体、热循环锅炉和中央空调主机，所述空压机本体的一侧从上至下均依次开设有连接口，通过设置回流管的作用能够将冷却塔从废气管中排出的热量进行回收并通过回收过滤机构对废气热量回收进行过滤，然后再次进入到空压机本体内部进行空气压缩，因此可将回收的废气热量能够并入热循环锅炉中作为热水系统补充的作用
一种用于半导体工厂空压机废热回收装置

[实用新型]保温瓶外壳加工用注塑装置-CN202222873556.4有效
发明人：陈奕颖;陈保柱;姜世钊 -专利权人：安徽明晶日用品科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B29C45/73 文献下载
摘要：本实用新型公开了保温瓶外壳加工用注塑装置，包括安装座，所述安装座的外侧通过螺栓固定有操作箱，所述安装座的顶部设置有挤料机构，所述操作箱的内部设置有冲压机构，所述冲压机构包括连接支架、液压杆、模具底座、半导体板、散热风扇、塑形块、注塑口和振动器，所述操作箱的顶部设置有处理机构；通过设置有冲压机构，模具底座配合塑形块完成冲压注塑操作，半导体板释放冷气对模具底座进行快速降温，使原料能够快速成型，振动器带动塑形块振动，使成型后的原料快速与塑形块和模具底座分离，提高了脱模操作的效率，设置有处理机构对废气进行处理，避免了废气被人体直接吸入，降低了废气对人体和空气的危害，提高了装置的环保性。
保温瓶外壳工用注塑装置

[实用新型]半导体废气处理槽的刮刀装置-CN200920006853.0有效
发明人：冯五良 -专利权人：东服企业股份有限公司
申请日： 2009-03-25 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： B08B9/049 文献下载
摘要：一种半导体废气处理槽的刮刀装置，设于该废气处理槽的一入气管内，且该入气管具一废气入口及一连通该废气处理槽的废气出口，该入气管呈弯曲状，而使入气管内部形成相连通的一前管道及一后管道，前管道连通废气入口，后管道连通废气出口，且后管道内对应于废气出口的位置具一驱动器，驱动一滑设于后管道内的刮刀往复位移，据此，该刮刀装置能清除后管道的管壁上的结垢物。
半导体废气处理刮刀装置

[实用新型]净化半导体制程废气的合氧供热装置-CN201120432178.5有效
发明人：冯五裕 -专利权人：东服企业股份有限公司
申请日： 2011-11-03 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种净化半导体制程废气的合氧供热装置，包括罩设于处理槽顶部的头座，头座上设有废气导管与热管，该废气导管延伸至该处理槽内形成一朝下的废气排放口，该热管植入该处理槽内形成一沿该废气排放口方向延伸形成的管部，且该管部一端形成一热空气排放口，该热空气排放口低于该废气排放口一特定距离，以供应热空气进入处理槽内，并增加废气与该热管产生的热源的接触时间，以净化废气中的有害物质。
净化半导体废气供热装置

[发明专利]废气处理方法和处理系统-CN03800145.4无效
发明人：田口裕康;星野恭之;朴炳涉;金炳哲 -专利权人：昭和电工株式会社;小池酸素工业株式会社
申请日： 2003-02-13 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理从刻蚀或清洗步骤排放的含有氟气或卤素氟化物气体的废气的方法，包括使该废气在燃烧室中燃烧，该燃烧室具有在其表面上形成的氟化物钝化膜。该方法用于处理从半导体制造工艺中排放的含有高浓度或大量氟气或卤素氟化物气体的废气，该方法是安全和节能的，并能以提高的效率进行废气的预处理。
废气处理方法系统

[实用新型]一种全自动半导体视觉检查机-CN202120204001.3有效
发明人：韩鹏 -专利权人：青岛安诺机电有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体检测设备领域，具体地说，涉及一种全自动半导体视觉检查机。包括内置有控制主机的主机箱、供料机构、上料机构、旋转送料机构、若干个视觉检查装置、若干个姿态调整装置和收料机构。本实用新型实现了自动检查半导体产品的外观，经过多次对半导体的姿态调整，配合高分辨率的视觉摄像头，检查产品的所有外表面，一次旋转，各个工位同时进行作业，各个摄像头同时拍摄，旋转节拍非常短，效率高，检测过程无需人为参与，人员占有率低，可脱机作业；无人员接触产品，不会对产品外观造成二次污染，而且，品控稳定，漏检率为零；同时，人机交互友好，低能耗，高性能，设备寿命长，无废水废气等排放。
一种全自动半导体视觉检查

[实用新型]一种新型废气处理设备-CN202321291155.6有效
发明人：郭聪;夏晓丹;王倩;朱木兰;陈海波;陈传虎 -专利权人：青岛海发环保产业控股有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型废气处理设备，包括壳体、进气管和舱门，壳体的一侧安装有水箱，壳体的另一侧均安装有舱门，壳体的内部均设置有填料，壳体的顶端设置有除水结构，除水结构包括外壳、导热铜管、导热片、半导体制冷片、散热片和散热扇，外壳固定在壳体的顶端，外壳的两侧均安装有半导体制冷片。本实用新型通过半导体制冷片经过导热铜管降低外壳内部的温度，导致外壳内部雾化的净化液冷凝为液滴，并向下滴落，通过散热扇产生气流吹向散热片，除去半导体制冷片的热量，由此实现了此装置的雾气处理功能，便于对排出的空气进行处理
一种新型废气处理设备

[实用新型]量子环保节能加速器-CN98228091.2无效
发明人：周军德;马志敏 -专利权人：周军德;马志敏
申请日： 1998-01-22 - 公布日： 1999-05-19 - 主分类号： F01N5/04 文献下载
摘要：加速器中有外壳,置于外壳内的含能长期发射光量子的精密半导体材料的油活化容器,紧套在油活化容器周边上的精密半导体材料保护层,紧套在保护层上的PVC热塑膜层,两通油管接头的一端分别穿过外壳而与油活化容器连通节约燃料,节油率高,可大大降低废气排放,保护环境。
量子环保节能加速器

[实用新型]废气处理装置-CN200820114164.7有效
发明人：杨与胜;李沅民 -专利权人：福建钧石能源有限公司
申请日： 2008-05-26 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废气处理装置，所述装置包括炉体，在所述炉体内部包括由燃料托盘和隔热层所定义的燃烧室，所述炉体上包括空气进气口、废气进气口和出气口，所述废气从废气进气口进入燃烧室，经处理后由所述出气口排出炉体本实用新型的废气处理装置能够同时处理多种半导体生产过程中产生的废气，而且具有较低的运行成本和较高的处理效率。
废气处理装置

[发明专利]一种用于半导体工业废水一体化处理系统-CN201910480304.5在审
发明人：林超 -专利权人：伟泰科技（无锡）有限公司
申请日： 2019-06-04 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体工业废水一体化处理系统，包括废水收集池，MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元，所述废水收集池通过管道依次与MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元连接，储水池，各部分通过管道连接，构成了一体化处理系统，处理的半导体废水主要是有机废水，其净化后的水主要用于厂区内冷却塔、废气洗涤塔和绿化用水，此一体化处理系统不仅能够节约大量水资源，而且降低环境污染，解决半导体工业废水循环再利用问题
一种用于半导体工业废水一体化处理系统

[实用新型]一种用于清除半导体设备废气的接头装置-CN201920136728.5有效
发明人：林茂春;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： F04B53/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于清除半导体设备废气的接头装置，包括接头本体和排气管，接头本体的一侧设置为弧面，弧面设置有多个吸气孔，且多个吸气孔位于接头本体的内部相互导通设置，排气管设置在接头本体的另一侧面上，且排气管贯穿接头本体的侧面与吸气孔相导通设置将半导体设备的顶盖打开时，使用接头本体贴合着半导体设备的开口位置，并将外溢的有害气体从吸气孔中吸入，并经由排气管进行存储或中和处理，避免环境的污染或对人体造成伤害，提高接头装置的安全性。
接头本体半导体设备排气管吸气孔接头装置导通废气本实用新型顶盖打开弧面设置开口位置中和处理弧面贴合吸入存储侧面贯穿伤害污染

[发明专利]一种用于深冷处理过程中的应急电源-CN201410192052.3在审
发明人：王建新;王韫华 -专利权人：南通天工深冷新材料强化有限公司
申请日： 2014-05-08 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H02N11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于深冷处理过程中的应急电源，包括深冷箱体，深冷箱体上设有进气管道和控制阀，深冷箱体与温差发电器相连，排气管道上设有压力阀，温差发电器包括冷温室，冷温室中插有排气管，冷温室中设有多级半导体温差热电堆，多级半导体温差热电堆的一端置于冷温室中为冷端，多级半导体温差热电堆的另一端暴露于室温中为热端，多级半导体温差热电堆与储电器的正负极相连，储电器与中心控制器相连，中心控制器与控制阀相连。本发明为利用深冷处理过程中产生的气化液氮作为冷源的半导体温差发电装置，可以在深冷处理的同时利用废气进行发电、储电，并在发生断电时连续性地提供基本电源，从而保证深冷处理不受影响。
一种用于冷处理过程中的应急电源

[实用新型]远红外线省油器-CN200520053759.2无效
发明人：张峻志 -专利权人：张峻志
申请日： 2005-01-11 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： F02M27/06 文献下载
摘要：本实用新型是一种可使燃料流体微细化的远红外线省油器，尤指一种可提升穿透力与放射率的远红外线省油器，该省油器主要是于一半导体电热膜上设有两导电极片，该两导电极片间并保有适当的间隙，且两导电极片并以导线分别连接至一电源供应器的正、负极，并将半导体电热膜对应设于燃料流体的管线外，透过上述的设计，当电流透过导电极片流通至半导体电热膜后，该半导体电热膜的温度会迅速提升，让半导体电热膜原本放射的远红外线波长会逐渐缩短，进而提升其放射率与穿透力，以有效的贯穿燃料流体管线，达到让燃料微细化的目的，让燃料的燃烧更为完全，除可节省燃料、减少积炭外，进一步并可提升输出能量与净化排放废气的功效。
红外线省油器

[发明专利]半导体制程废气处理设备-CN202110099426.7有效
发明人：宁腾飞;杨春水;章文军;张坤;陈彦岗;杨春涛;王继飞;席涛涛;何磊;闫潇 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明涉及泛半导体技术领域，提供一种半导体制程废气处理设备，包括：处理容器、第一进气管和第二进气管，处理容器限制出处理腔；第一进气管与处理腔连通并用于向处理腔内通入待处理气体；第二进气管套设于第一进气管的外侧并连接于处理容器本发明提出的半导体制程废气处理设备，解决第一进气管的出口端粉尘堆积而易造成堵塞的问题，延长清理保养周期，减小清理的劳动强度，降低设备清洁及维护保养成本，有助于提升生产效率和降低生产成本。
半导体废气处理设备