专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种半导体尾气处理设备管道气缸导流装置-CN202320610138.8有效
  • 崔汉博;崔汉宽 - 上海高笙集成电路设备有限公司
  • 2023-03-26 - 2023-09-19 - F16L55/24
  • 本实用新型公开了一种半导体尾气处理设备管道气缸导流装置,包括装置本体,所述装置本体包括气缸装置、连接装置和出气管,所述连接装置固定在气缸装置底部,所述出气管通过螺纹固定在出气管底部;所述气缸装置包括气缸体、上进气仓和下进气仓,所述上进气仓通过螺纹固定在气缸体顶部,所述下进气仓通过螺纹固定在气缸体底部,所述上进气仓和下进气仓底部均设有下连接块,所述下进气仓顶部设有上连接块,所述上进气仓和下进气仓侧面均设有进气头。该种装置可以通过气体在出气口呈柱状喷出,进一步使高速向下的气流在进气口处会形成向下的吸力,从而防止了进气口的堵塞问题。
  • 一种半导体尾气处理设备管道气缸导流装置
  • [实用新型]一种半导体废气处理设备气缸式刮刀-CN202320368601.2有效
  • 崔汉博;崔汉宽 - 上海高笙集成电路设备有限公司
  • 2023-03-02 - 2023-09-12 - B01D53/00
  • 本实用新型公开了一种半导体废气处理设备气缸式刮刀,包括装置本体,所述装置本体包括标准气缸、上进气仓、下出气仓和气缸驱动装置,所述上进气仓安装在标准气缸顶部,所述下出气仓安装在标准气缸底部,所述气缸驱动装置安装在下出气仓底部;所述气缸驱动装置包括固定螺母、安装垫片、轴杆和防腐蚀弹簧,所述安装垫片安装在固定螺母底部,所述轴杆固定在安装垫片底部,所述防腐蚀弹簧固定在轴杆表面。该种半导体废气处理设备气缸式刮刀可以高效的对废气进气口进行清理,从防止废气进气口出现堵塞的情况发生。
  • 一种半导体废气处理设备气缸刮刀
  • [实用新型]一种半导体尾气管道防堵导流虹吸管道-CN202320816194.7有效
  • 崔汉博;崔汉宽 - 上海高笙集成电路设备有限公司
  • 2023-04-13 - 2023-09-01 - F16L55/24
  • 本实用新型公开了一种半导体尾气管道防堵导流虹吸管道,包括装置本体,装置本体包括废气防堵装置、顶盖、上流通管道和下流通管道,顶盖安装在废气防堵装置顶部,上流通管道安装在顶盖顶部,下流通管道安装在废气防堵装置底部;废气防堵装置包括热氮气腔和向下流通管道,向下流通管道安装在热氮气腔底部热氮气腔呈圆柱状结构且内部为中空式结构,下流通管道呈圆柱状结构且内部为贯通式结构,热氮气腔右侧分别设有热氮进气腔和检测气体安装腔,热氮进气腔和检测气体安装腔均为贯通式结构。该种装置可以避免了进气口的堵塞问题,从而提高气体流动的均匀性,该种装置可以精确控制流出的孔径大小,达到出气均匀、虹吸防堵的目的。
  • 一种半导体尾气管道导流虹吸
  • [实用新型]一种半导体尾气管道不锈钢止回阀-CN202320815979.2有效
  • 崔汉博;崔汉宽 - 上海高笙集成电路设备有限公司
  • 2023-04-13 - 2023-08-29 - F16K15/06
  • 本实用新型公开了一种半导体尾气管道不锈钢止回阀,包括装置本体,所述装置本体,所述装置本体包括中间腔、上盖、下盖和管路止回装置,所述上盖安装在中间腔顶部,所述下盖安装在中间腔底部,所述管路止回装置安装在中间腔内部;所述管路止回装置包括安装块、止回块和密封板,所述止回块安装在安装块顶部,所述安装块和止回块均呈圆环状结构,所述密封板呈圆形结构,所述密封板安装在安装块内侧。该种半导体尾气管道不锈钢止回阀可以有效的避免气体逆流引起管路高温危险,通过导流管导向,将气体直接施压到密封板上,使密封更迅速,效果更佳。
  • 一种半导体尾气管道不锈钢止回阀
  • [实用新型]一种半导体尾气管道快速止回阀装置-CN202320816322.8有效
  • 崔汉博;崔汉宽 - 上海高笙集成电路设备有限公司
  • 2023-04-13 - 2023-07-28 - F16K15/18
  • 本实用新型公开了一种半导体尾气管道快速止回阀装置,包括装置本体,所述装置本体包括上进气管、下进气管和快速打开、闭合装置,所述上进气管安装在快速打开、闭合装置顶部,所述下进气管安装在快速打开、闭合装置底部;所述快速打开、闭合装置包括安装箱、气缸驱动器、连接杆和阀板,所述安装箱呈矩形状结构且内部为中空式结构,所述气缸驱动器、连接杆和阀板均安装在安装箱内,所述气缸驱动器驱动端与连接杆后端相连接,所述连接杆前端通过螺丝与阀板后端相连接。该种半导体尾气管道快速止回阀装置通过阀板的设计,使动作更迅速,密封更可靠,可控。
  • 一种半导体尾气管道快速止回阀装置
  • [实用新型]一种废气处理用热流炮-CN202222569606.X有效
  • 崔汉博;崔汉宽 - 上海高笙集成电路设备有限公司
  • 2022-09-28 - 2023-04-07 - B01D45/08
  • 本实用新型属于废气处理技术领域,具体为一种废气处理用热流炮,包括:上真空管、下真空管和横向真空管,所述横向真空管呈横向水平设置,所述上真空管设置在横向真空管的上表面右侧,所述下真空管设置在横向真空管的下表面左侧,所述上真空管、下真空管和横向真空管之间连通,形成一个废气流通通道,废气从上真空管进入横向真空管内,并从下真空管流出;加热器,所述横向真空管的左端设置为开口状。在真空管道内部通过加热阻挡片加热,同时对流动的废气进行阻挡,废气中的灰尘沉降,通过控制器控制加热阻挡片加热,对进入的制程废气进行加热、过滤,从而缓解真空管路拥堵,延长管路PM周期,降低了真空干燥泵卡死的风险。
  • 一种废气处理热流

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