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[发明专利]晶圆刻蚀系统及晶圆刻蚀方法-CN201811580776.X有效
发明人：梁梦诗;聂钰节 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆刻蚀系统，包括：所述测量装置测量刻蚀前前层膜层厚度将测量结果实时发送至于APC系统，所述刻蚀机依据所述刻蚀前前层膜层厚度完成主刻蚀，所述测量装置测量测量刻蚀后膜层厚度并将刻蚀后膜层厚度反馈至本发明基于膜层厚度变化调节晶圆关键尺寸，在APC系统管控下进行定量调节刻蚀机刻蚀程式参数，以达到刻蚀关键尺寸的稳定性，改善刻蚀晶圆的面内均匀性，避免因刻蚀关键尺寸的漂移造成最终电性参数和良率的损失。
刻蚀系统方法

[实用新型]一种带测量功能用于三维弯曲型材的检具-CN202220520853.8有效
发明人：廖斌;卢有庆;左庆华;戴小杰 -专利权人：南南铝业股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01B5/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种带测量功能用于三维弯曲型材的检具，包括检测平台，还包括滑动测量座和仿形置物夹，所述的滑动测量座安放在检测平台上，滑动测量座上设置有刻度尺，滑动测量座的顶部固定有竖直放置的中空固定杆，中空固定杆内通过紧定螺钉可调安装有一根向上伸的标尺杆，所述的仿形置物夹是根据标准的三维弯曲型材的关键尺寸位置设置且用于检测待检测工件的关键尺寸位置的仿形置物座，仿形置物夹的底部固定有螺杆，通过螺杆螺纹连接安装在标尺杆的顶部。本检具能检测工件是否合格的同时，还能实现弯曲型材关键尺寸测量，为弯曲工艺改进提供参考信息，适用于现场检测操作。
一种测量功能用于三维弯曲

[实用新型]一种PCB板快速测量装置-CN202221872918.1有效
发明人：朱拾东;刘忠;朱培源 -专利权人：深圳至汉装备科技有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种PCB板快速测量装置，属于测量技术领域。它解决了现有技术中较大PCB板面阵相机测量慢的问题。本PCB板快速测量装置，包括用于放置PCB板的测量平台及测量单元，所述测量单元包括线阵相机及面阵相机，所述测量单元设置在X向移动机构上，所述测量平台设置在Y向移动机构上，所述X向移动机构的移动方向与Y向移动机构的移动方向垂直本实用新型对PCB板的关键尺寸利用线阵相机进行快速扫描式测量，通过运动模组带动PCB板高速运动，配合高分辨率线扫相机扫描，以实现PCB板关键尺寸测量，适用于大尺寸PCB板的快速测量。
一种 pcb 快速测量装置

[发明专利]一种基于图像识别的手部关键尺寸测量系统-CN201910768285.6在审
发明人：王利君;马希明;范丹镱;梁晓颖;闫翔晖 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于图像识别的手部关键尺寸测量系统，包括图像采集装置及图像识别分析装置，图像采集装置为手部图像采集箱体，手部图像采集箱体的上端设有盖板，盖板上端面可安装拍摄手机，盖板设有图像采集孔，拍摄手机的摄像头对准图像采集孔本发明可以实现手部关键尺寸的在线测量或离线测量，基于分水岭算法，根据手部轮廓的粗提取数据对手部进行前景标记和背景标记，可以实现手部指节纹和掌纹的准确识别，根据识别的纹路位置重新标记手部关键位置点，进而对手部尺寸计算本发明在保持低成本的前提条件下，高效精确的实现了手部尺寸的自动化，一体化测量。
手部手部图像盖板图像识别分析装置图像采集装置图像采集孔手机拍摄采集纹路关键尺寸测量分水岭算法摄像头对准一体化测量掌纹背景标记尺寸计算关键位置离线测量前景标记前提条件手机获取图像识别在线测量粗提取低成本可安装上端面指节纹上端数据库自动化

[发明专利]栅极形成后的离子注入方法-CN202011094788.9有效
发明人：陈宇峰;李中华 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明公开了一种栅极形成后的离子注入方法，包括如下步骤：步骤一、提供形成了有源区、栅介质层和栅极的半导体衬底；步骤二、测量半导体衬底上的所有栅极的关键尺寸并得到栅极的关键尺寸的分布图；步骤三、进行离子注入，离子注入的注入剂量根据栅极的关键尺寸的分布图进行设置，使离子注入的注入剂量补偿栅极的关键尺寸的偏移对器件的性能的影响。
栅极形成离子注入方法

[发明专利]一种基于心脏超声视频测量特征尺寸的处理方法和装置-CN202211476218.5在审
发明人：逄坤静;李喆;张碧莹;马迪;鲁瑞广 -专利权人：乐普（北京）医疗器械股份有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明实施例涉及一种基于心脏超声视频测量特征尺寸的处理方法和装置，所述方法包括：接收第一视频；进行视频帧图像提取；基于关键点检测模型对各帧图像进行关键点检测；进行舒张期与收缩期帧图像筛选；进行心室收缩中期帧图像筛选；在舒张期帧图像上对右心室内径、室间隔厚度、左心室期内径和左心室后壁厚度进行关键点和特称尺寸标注；在收缩期帧图像上对左心室内径进行关键点和特称尺寸标注；在心室收缩中期帧图像上对左房前后径、主动脉瓣环直径、主动脉窦部直径和升主动脉内径进行关键点和特称尺寸标注；将完成标注的舒张期、收缩期、心室收缩中期帧图像作为处理结果输出。通过本发明可以解决常规方式中的人工介入问题，还可以提高测量效率。
一种基于心脏超声视频测量特征尺寸处理方法装置

[发明专利]一种用于低温型面原位测量的机器人测量装置及方法-CN202111326585.2在审
发明人：张萌;唐斌运;李大海;霍涛;付琳琳;张荔哲;曾宪林 -专利权人：西安航天动力试验技术研究所
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G06T7/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于低温型面原位测量的机器人测量装置及方法，以解决目前机器人测量装置多次测量得到的数据进行曲面拼接时误差大，导致测量不准确的技术问题。该方法包括：标定机器人测量系统；基于标定后的系统进行常温测量；常温测量点云数据坐标转换；常温测量数据拼接包括关键点的搜索、关键点滤波、相邻次的关键点矩阵转换与数据拼接；常温尺寸计算；采用相同的方法进行低温测量、坐标系转换、数据拼接及低温尺寸计算；常温与低温数据对比。该系统中的机器人测量系统包括机械臂和设置在机械臂前端的三维形面测量仪，控制处理系统包括存储器及处理器，储存器中存储计算机程序，该程序在处理器中运行时执行上述方法。
一种用于低温原位测量机器人装置方法

[发明专利]一种建立光刻工艺条件的方法-CN202211522331.2在审
发明人：王雷 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种建立光刻工艺条件的方法，包括提供晶圆；提供测试掩膜板，测试掩膜板上形成有相同的设计图形，但设计图形的密度不同；对设计图形进行曝光显影，在晶圆上形成对准图形；测量对准图形的关键尺寸；判断关键尺寸是否满足设定的阈值，若不满足，调整光刻工艺，直到关键尺寸满足设定的阈值；最后确定光刻工艺条件。本发明解决了现有光刻工艺建立方法不考虑测试掩模版的设计图形密度不同造成关键尺寸有差异的问题，使得光刻工艺更加完善，减小了造成不同图形密度的设计图形和产品间存在的关键尺寸差异的可能，并且考虑到显影对关键尺寸的影响，对于关键尺寸变化要求高的工艺和设计，减小了影响。
一种建立光刻工艺条件方法

[发明专利]一种生成离线辅助程式方案的方法-CN201310025840.9有效
发明人：舒强;郝静安 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-01-22 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：该方法包括步骤S101建立作为基准的刻蚀后检测的关键尺寸分布图；步骤S102采集掩膜板的关键尺寸一致性数据；步骤S103根据所述的作为基准的刻蚀后检测的关键尺寸分布图和掩膜板的关键尺寸一致性数据，生成离线辅助程式方案该方法通过在建立作为基准的刻蚀后检测的关键尺寸分布图以及采集掩膜板关键尺寸一致性数据的基础上，生成离线辅助程式方案，减少了测量工具的使用时间以及工程师的作业时间，实现了快速地生成离线辅助程式方案，可以及时改善集成电路的关键尺寸一致性
一种生成离线辅助程式方案方法

[发明专利]凹槽填充结构的化学机械研磨负载监控方法-CN202011305500.8在审
发明人：徐文胜;叶炅翰;苏炳熏 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种凹槽填充结构的化学机械研磨负载监控方法，包括：步骤一、在晶圆上刻蚀形成凹槽，测量凹槽的不同深度处的关键尺寸并得到凹槽的深度和关键尺寸的关系；步骤二、在凹槽中填充第一膜层；步骤三、进行化学机械研磨将凹槽外的第一膜层去除并形成由填充于各凹槽中的第一膜层组成凹槽填充结构；步骤四、测量凹槽填充结构的关键尺寸并结合凹槽的深度和关键尺寸的关系得到凹槽填充结构的高度并得到对应的化学机械研磨负载。
凹槽填充结构化学机械研磨负载监控方法

[发明专利]钢制零件加工工序变形量的检测方法-CN201910307437.2有效
发明人：余子东;易苏军;王彩 -专利权人：株洲齿轮有限责任公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： G01B21/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种钢制零件加工工序变形量的检测方法，包括以下步骤：测量经前处理得到的钢制零件的关键尺寸a；将所述经前处理得到的钢制零件进行回火处理，所述回火温度为500℃～580℃，所述回火处理的保温时间为所述钢制零件的有效尺寸与加热系数的乘积，所述加热系数为1.5～2.5小时/英寸；测量经所述回火处理的所述钢制零件的关键尺寸b；根据关键尺寸b、关键尺寸a和所述回火处理的正常变形量c，得到所述钢制零件经所述前处理的变形量d，所述回火处理的正常变形量
钢制零件加工工序变形检测方法

[发明专利]服装测量方法、装置及电子设备-CN202010526179.X有效
发明人：艾国;凌明;董煦 -专利权人：创新奇智（成都）科技有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G06T7/60 文献下载
摘要：本申请提供了一种服装测量方法、装置及电子设备，其中，该服装测量方法，包括：通过目标检测模型对待测量服装图进行关键点检测，得到至少两个关键点；根据至少两个关键点确定出至少两条参考线；在至少两条参考线上确定出与至少两个关键点之间的距离为设定长度的至少一组基准点；根据至少一组基准点确定出待测量服装图中的至少一组测量点；根据至少一组测量点中的每一组测量点，确定待测量服装图中的待测量服装的测量区域尺寸。
服装测量方法装置电子设备

[发明专利]一种三销轴叉内球道尺寸检测专用检具-CN202010497479.X在审
发明人：吴海林;崔万里;夏雨 -专利权人：南京维革特自动化设备有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本发明公开一种三销轴叉内关键尺寸专用检测检具，它包括测量部和数据显示部分组成，其中下导轨座15与交叉滚子导轨28连接，交叉滚子导轨28与上导轨座14连接，定位杆12与上导轨座14连接；垫柱1与测量面板11连接，测量面板11与测量座5连接，测量座5与测量杠杆9通过压缩弹簧33连接。测量头8安装在定位杆12上，通过测量杠杆9将测量头8的位移数值传递到表测头24上从而使测量表37得出数值。本发明具有方便快捷、操作简单、能有效的解决三销轴叉内此关键尺寸传统三坐标测量法重复性、再现性不足的问题，提高了测量尺寸精度重复性和再现性以及尺寸测量的工作效率。
一种三销轴叉内球道尺寸检测专用

[发明专利]光学临近效应修正工艺模型的建模方法-CN201110214901.7无效
发明人：陈福成;袁春雨 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2011-07-29 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学临近效应修正工艺模型的建模方法，包括步骤：测量半导体工艺层的光刻原始数据以及其线宽粗糙度；根据各关键尺寸的测量值的线宽粗糙度、半导体工艺层的设计规则处的基准线宽粗糙度以及半导体工艺层的设计规则处的基准权重值确定各关键尺寸的权重值本发明通过引入线宽粗糙度来确定各关键尺寸的权重值，能减少测量数据量，还能过滤一些工艺、量测机台和量测过程中的不稳定因素和随机因素，能加快工艺模型建立的拟和和收敛时间，同时确保工艺模型的精确和可靠稳定。
光学临近效应修正工艺模型建模方法

[发明专利]一种三维人体测量单元-CN201810868869.6在审
发明人：胡於干;曹真龙;王海洁;曹龙飞;陈琳;魏云燕 -专利权人：力当高（上海）智能科技有限公司
申请日： 2018-08-02 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： A41H1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维人体测量单元，包括测量房间和衣物，所述测量房间前侧设有门和触摸显示屏，所述测量房间内侧壁上均设有扫描机构，所述扫描机构包括转轴，所述转轴外部套设有滑筒，所述滑筒内侧设有扫描板，所述扫描板后侧固定设有红外热成像传感器本发明通过点阵图描摹单元制成的点阵图经关键点提取单元提取关键点，经数据清除单元剔除关键点之外的数据，从而再通过尺寸计算单元进行计算关键点尺寸，降低运算时间，从而大大降低整个人体数据测量的时间，解决了现有的三维成像缓慢的问题
关键点测量房间三维人体测量红外热成像扫描机构运算系统扫描板滑筒转轴运算传感器输出端数据清除单元触摸显示屏尺寸计算人体数据三维成像提取单元连接端内侧壁通过点传感器描摹剔除衣物测量外部