“传递室”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1326961个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]晶圆传递腔室-CN201310332799.X有效
发明人：邱勇;吴佳兴 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种晶圆传递腔室，包括一晶圆箱，设置于传递腔室内部，包括分层隔离的多个分箱部；一常闭主阀门，设置于传递腔室侧壁，主阀门打开以供机械手伸入传递腔室内；一驱动机构，其带动晶圆箱在传递腔室内做垂直方向运动，以供机械手抓取临近于主阀门的分箱部内晶圆；至少一密封环，固设于传递腔室的内侧壁上；至少一密封件，固接于晶圆箱上任两个相邻分箱部之间的箱体外侧壁；其中，晶圆箱运动至一密封件与一密封环密合的位置时，该密封件与该密封环将传递腔室分割为一主腔室和一分腔室
传递

[实用新型]实验室传递系统-CN201220504913.3有效
发明人：蒙少鹏 -专利权人：魏正金;蒙少鹏
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： E06B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种实验室传递系统，在送物区和取物区的共同墙体上设置双门结构的通风传递窗，双门结构的通风传递窗的一个门朝向送物区，另一个门朝向取物区，在所述通风传递窗内有消毒装置。对于必须携带进出主实验室的材料、物品和器材等可以通过送物区和取物区的共同墙体上双门结构的通风传递窗传递，传递物可在该双门结构的通风传递窗传递内消毒，防止传递物在传递过程中受到污染，也不会使其释放到环境中
实验室传递系统

[实用新型]手术室传递托盘-CN201620283160.6有效
发明人：刘珂汐 -专利权人：刘珂汐
申请日： 2016-04-07 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： A61B50/33 文献下载
摘要：本实用新型涉及手术室用手术器具，具体为一种手术室传递托盘，其中，包括盘体与侧挡机构，所述侧挡机构配合盘体形成容纳手术器具的凹槽，所述盘体的下端面固定有可套于手指的指环。本实用新型为了解决现有手术室传递手术器具时接收的一方容易被扎伤的问题，意在提供一种便于传递手术器具的托盘。
手术室传递托盘

[发明专利]测试半导体器件的系统和方法-CN202010630858.1在审
发明人：金庚珍 -专利权人：爱思开海力士有限公司
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：一种用于测试半导体的系统可以包括：传递室、至少一个装载锁定室和至少一个测试室。传递室可以包括多个侧壁。装载锁定室可以布置在传递室的多个侧壁的第一侧壁上。装载锁定室可以包括被配置为接收多个晶片的载具。测试室可以布置在传递室的多个侧壁的第二侧壁上。当传递室连接到装载锁定室时，传递室的压力可以改变为装载锁定室的压力。当传递室连接到测试室时，传递室的压力可以改变为测试室的压力。
测试半导体器件系统方法

[实用新型]三向洁净传递装置-CN202021692475.9有效
发明人：徐群;祁庆保;张赞 -专利权人：无锡壹鼎智造科技有限公司
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： B65D43/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种三向洁净传递装置，包括机体；机体的上层安装过滤箱体；机体的下层安装传递装置箱体；传递装置箱体包括第一传递室、第二传递室和第三传递室；第一传递室和第三传递室相邻；第一传递室和第二传递室相对；第二传递室和第三传递室相邻；第二传递室的两侧和第三传递室的两侧均紧靠隔墙；第一传递室安装第一门板；第一门板处设置第一闭锁组件以开关第一门板；第二传递室安装第二门板；第二门板处设置第二闭锁组件以开关第二门板；第三传递室安装第三门板；第三门板处设置第三闭锁组件以开关第三门板；过滤箱体的底部和传递装置箱体的顶部连通。本实用新型可满足三个方向的物品洁净传递。
洁净传递装置

[发明专利]用于制造平板显示器的设备-CN201210448244.7无效
发明人：李亨培;赵晃新;安祐正;宋基哲 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2012-11-09 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制造平板显示器的设备，该设备包括多个处理室、传递室、加载室和卸载室。所述多个处理室均形成有内部空间，在该内部空间中处理至少两个基板。所述传递室沿第一方向布置在多个处理室之间，并且所述传递室包括传递机器人，该传递机器人在沿垂直于第一方向的第二方向直线往复运动时将未处理的基板供给处理室或者从处理室运出已处理的基板。所述加载室连接到传递室的一侧并且容纳将要供给传递室的基板。所述卸载室连接到传递室的另一侧并且容纳从传递室运出的基板。所述传递机器人在沿第二方向直线往复运动时控制基板顺序地供给处理室或者从处理室运出。
用于制造平板显示器设备

[发明专利]用于选择性区域沉积的集成集群工具-CN201710364977.5有效
发明人：托宾·卡芙曼·奥斯本;斯里维斯·D·内曼尼;卢多维克·葛德特;奇伟·梁;阿迪布·可汗 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：在一个实施方式中，提供一种集群工具装置，所述集群工具装置具有传递腔室和围绕所述传递腔室设置的预清洁腔室、自组装单层(self‑assembled monolayer；SAM)沉积腔室、原子层沉积(atomic layer deposition；ALD)腔室和后处理腔室。基板可被集群工具处理并在预清洁腔室、SAM沉积腔室、ALD腔室和后处理腔室之间传递。基板在每个所述腔室之间的传递可通过容纳有传递机器人的传递腔室来促进。
用于选择性区域沉积集成集群工具

[发明专利]一种高温CVD工艺的压差改良方法-CN201410155323.8有效
发明人：孙鲁男;董杭;许嘉哲;严进嵘 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-04-17 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温CVD工艺的压差改良方法，包括以下步骤：提供一工艺室与一连通工艺室的传递室；提供至少一待加工的基片，并将基片通过传递室传递至工艺室；在工艺室内对基片实施沉积工艺，向工艺室中通入惰性气体，使得工艺室内的压力大于传递室内的压力，从而保证异物往传递室流动，减少工艺室的中成膜缺陷，改善良率，而且惰性气体流入到传递室中还可有效冷却工艺室内的设备，防止H/W变型；在工艺室内对所述基片实施蚀刻工艺，向传递室中通入惰性气体，使得传递室内的压力大于工艺室内的压力，从而防止蚀刻气体从工艺室泄漏到传递室，损害和腐蚀传递室内部，同时将蚀刻气体牢牢控制在工艺室内，提高气体使用率，提高蚀刻速率。
一种高温 cvd 工艺改良方法

[实用新型]一种内开门物品传递窗-CN202022693169.3有效
发明人：王洪军;王金涛;窦希顺;朱维金;张野;袁博;刘瑀;宋佳馨;杨凤霞;王庆竹 -专利权人：天津新松机器人自动化有限公司;中科产业控股（深圳）有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： E06B5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种传递窗，特别涉及一种内开门物品传递窗。包括墙体、饲养室侧门框、实验室侧门框、中部传递舱体驱动装置及中部传递舱体，其中墙体为双层墙结构，饲养室侧门框和实验室侧门框分别设置于墙体的两面墙内，饲养室侧门框上设有饲养室侧窗，实验室侧门框上设有实验室侧窗；中部传递舱体和中部传递舱体驱动装置均设置于饲养室侧门框和实验室侧门框之间，中部传递舱体驱动装置的输出端与中部传递舱体连接，中部传递舱体驱动装置可驱动中部传递舱体进行升降动作。
一种开门物品传递窗

[发明专利]一种镀膜系统及其控制方法-CN202110800884.9在审
发明人：牟培福;高军思;牟成阳 -专利权人：宁波天德创新智能科技有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种镀膜系统及其控制方法，包括腔室结构，所述腔室结构包括传递室和镀膜室；阀门装置，所述阀门装置设置在所述传递室与所述镀膜室之间；试料传递装置，所述试料传递装置设置在所述腔室结构内，所述试料传递装置适于将所述试料从所述传递室传递至所述镀膜室以及从所述镀膜室将所述试料取回；多功能基座，所述多功能基座设置在所述腔室结构内，所述多功能基座包括升降装置、旋转装置和抓取装置，所述旋转装置设置在所述升降装置上，所述抓取装置与所述旋转装置连接。相对于现有技术，通过试料传递装置与多功能基座的配合，提高了镀膜的效率以及镀膜质量。该镀膜系统的控制方法可以提高镀膜的效率和质量。
一种镀膜系统及其控制方法

[实用新型]一种镀膜系统-CN202121610026.X有效
发明人：牟培福;高军思;牟成阳 -专利权人：宁波天德创新智能科技有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种镀膜系统，包括腔室结构，所述腔室结构包括传递室和镀膜室；阀门装置，所述阀门装置设置在所述传递室与所述镀膜室之间；试料传递装置，所述试料传递装置设置在所述腔室结构内，所述试料传递装置适于将所述试料从所述传递室传递至所述镀膜室以及从所述镀膜室将所述试料取回；多功能基座，所述多功能基座设置在所述腔室结构内，所述多功能基座包括升降装置、旋转装置和抓取装置，所述旋转装置设置在所述升降装置上，所述抓取装置与所述旋转装置连接。相对于现有技术，通过试料传递装置与多功能基座的配合，提高了镀膜的效率以及镀膜质量。
一种镀膜系统

[发明专利]手术室物品传递系统-CN202011238883.1有效
发明人：彭东 -专利权人：武汉大学
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： A61B90/00 文献下载
摘要：一种手术室物品传递系统，涉及输送装置领域。该手术室物品传递系统包括：物品存储柜、传递机构及至少一个手术室接收系统，物品存储柜设有多个用于储存手术物品的储存腔及分别用于打开或封闭对应储存腔的开关门，物品存储柜的底部还设有与各个储存腔一一对应连通的手术物品下落口及分别用于打开或封闭各个手术物品下落口的第一电控阀门；传递机构用于接收各个手术物品下落口落下的手术物品，并输送至预设位置使接收的手术物品落下；手术室接收系统包括一端位于传递盒下方的竖直布置的输送通道，输送通道内设有可沿其移动以接收输送口落下手术物品的托盘本申请提供的手术室物品传递系统能够快速准确的将无菌库房内收缩物品传递至目标手术间。
手术室物品传递系统

[发明专利]具有滚动隔膜的传递室-CN200810146909.2无效
发明人：约翰·M·怀特 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-08-26 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于在真空下传递大面积基板的设备，包括：具有多个侧壁和一底部的真空室主体；提升机构；基本布置在所述室主体的内部体积中并连接到所述提升机构的机械手，所述提升机构选择性控制所述机械手在所述内部体积内的高度；以及在所述机械手和所述室主体的底部之间提供密封的一个或几个滚动隔膜。还提供了一种用于传递大面积基板的方法。一个或几个滚动隔膜的使用提供清洁真空环境并消除对于昂贵波纹管和精确机械加工构件的需求。而且，还消除了对于唇状密封的使用时需要的精确对准的需求。
具有滚动隔膜传递

[实用新型]一种洁净传递室-CN201521033675.2有效
发明人：曹永明;郑效友;朱建平;俞东权;陈建龙 -专利权人：上海东富龙德惠空调设备有限公司
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： F24F7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种洁净传递室，包括设置在传递室顶部的风道、风道内设有风机，所述风道在所述风机的下方具有送风口，所述送风口位置设置有高效过滤器装置，所述高效过滤器装置包括具有进风口和出风口的箱体，设于进风口位置的调节风阀本实用新型的洁净传递室具有结构简单、装配容易、送风口接结构密封性能好、不会泄露的优点。
一种洁净传递

[实用新型]带有传递室的称量罩-CN201820004085.4有效
发明人：张国华 -专利权人：江苏艾尔泰克净化科技有限公司
申请日： 2018-01-02 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01G21/28 文献下载
摘要：一种操作方便、占用场地较小的带有传递室的称量罩，其包括外壳体及设置在外壳体内的第一内壳体与第二内壳体，第一外壳体、第一内壳体及第二内壳体之间围成竖直风道和水平风道，第一内壳体内形成传递室，第二内壳体内形成称量室，传递室顶部设有固定设有一个第一高效过滤器，称量室顶部固定设有一个第二高效过滤器；第一高效过滤器与第二高效过滤器这两个高效过滤器的进口均朝上连通至水平风道，高效过滤器的下端还设有出口，称量室通过开设在第二内壳体下部的进风口与竖直风道的下部相连通，竖直风道下部设有第一过滤器，称量室设置在传递室左侧，并在竖直方向上与传递室相正对。
高效过滤器传递室内壳体称量室竖直风道水平风道体内称量内壳第一过滤器第一外壳体进风口外壳体朝上竖直下端正对连通占用进口出口

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条