|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 13756864个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]半导体器件-CN202111281567.7在审
-
王彦哲
-
瑞萨电子株式会社
-
2021-11-01
-
2022-05-17
-
H01L27/1157
- 存储器栅极经由作为存储器元件的栅极绝缘体的绝缘膜形成在半导体衬底上。绝缘膜包括第一绝缘膜、在第一绝缘膜上的第二绝缘膜、在第二绝缘膜上的第三绝缘膜和在第三绝缘膜上的第四绝缘膜。第二绝缘膜是具有电荷累积功能的绝缘膜。第一绝缘膜和第三绝缘膜中的每个的带隙大于第二绝缘膜的带隙。第三绝缘膜由包含金属元素和氧的高介电常数材料形成。第四绝缘膜是氧化硅膜或氮氧化硅膜并且与存储器栅极电极相邻。
- 半导体器件
- [发明专利]制造半导体器件的方法-CN99102968.2无效
-
岸本光司
-
日本电气株式会社
-
1999-03-11
-
1999-09-22
-
H01L21/768
- 一种制造半导体器件的方法,包括下列步骤在半导体衬底上形成绝缘膜,并在绝缘膜上形成多个下布线;形成具有倒悬形式的第一绝缘膜,覆盖下布线和绝缘膜表面;在第一绝缘膜上形成包含有机物的涂敷绝缘膜;烘焙包含有机物的涂敷绝缘膜;对包含有机物的涂敷绝缘膜的一部分深腐蚀;在第一绝缘膜和包含有机物的涂敷绝缘膜上形成第二绝缘膜;抛光第二绝缘膜,使其表面平面化;腐蚀第一绝缘膜和第二绝缘膜的预定部分,形成达到下布线的孔;将金属材料掩埋进孔中
- 制造半导体器件方法
- [发明专利]有源矩阵基板和显示装置-CN201480017538.1在审
-
横井安弘;原田光徳
-
夏普株式会社
-
2014-02-25
-
2015-12-02
-
G09F9/30
- 在有源矩阵基板(5)中，具备：第1无机绝缘膜(第1绝缘层)(22)，其设置在栅极绝缘膜(绝缘膜)(21)上；有机绝缘膜(第2绝缘层)(23)，其设置在第1无机绝缘膜(22)上，并且热膨胀系数与该第1无机绝缘膜(22)相互不同；以及第2无机绝缘膜(第3绝缘层)(24)，其以覆盖有机绝缘膜(23)的方式设置，并且其一部分与第1无机绝缘膜(22)接触。在栅极绝缘膜(21)上不存在有机绝缘膜(23)的第2无机绝缘膜(24)的部分设置有切口部(K1)。
- 有源矩阵显示装置
- [发明专利]半导体元件微细图形的形成方法-CN02140016.4无效
-
朴哲秀
-
东部电子株式会社
-
2002-12-20
-
2003-08-27
-
H01L21/027
- 半导体衬底上形成第一和第二绝缘膜；第二绝缘膜上形成具有预定形状和尺寸为(α+β)两倍节距的感光膜；感光膜为掩模干式蚀刻第二绝缘膜；除去感光膜；在包含残留第二绝缘膜衬底的前面形成第三绝缘膜；所获得的结果物上对应残留的第二绝缘膜与第二绝缘膜之间的部位，形成第四绝缘膜；按第三与第四绝缘膜的干式蚀刻比为1∶1配方，实施第一平坦化工艺的中途，当第二绝缘膜露出时中断蚀刻；残留的第四和第二绝缘膜为掩膜，蚀刻第三绝缘膜，形成第三绝缘膜图形；在填充导体膜覆盖第二绝缘膜与所述第三绝缘膜之间的空间后，在导体膜上实施第二平坦化工艺，形成具有尺寸为(α+β)节距的导体布线。
- 半导体元件微细图形形成方法
- [发明专利]半导体装置的制造方法-CN200310123140.X无效
-
宫河义弘
-
株式会社瑞萨科技
-
2003-12-19
-
2004-07-07
-
H01L21/762
- 通过使在栅极电极彼此间形成的绝缘膜的状态处于良好，来得到可靠性高的半导体装置。首先，分别沿着多个栅极电极(30)和栅极绝缘膜(20)以及半导体基板(10)的表面形成绝缘膜(1)。接着，在绝缘膜(1)上形成与绝缘膜(1)不同的绝缘膜(2)。反复交替地进行形成前述绝缘膜(1)的工序和形成绝缘膜(2)的工序，直到由在绝缘膜(1)和绝缘膜(2)中最后形成的绝缘膜(N)的表面构成的凹部位于栅极电极(30)的上表面位置的上侧为止。最后，在绝缘膜(N)上形成绝缘膜(N+1)。
- 半导体装置制造方法
- [发明专利]上料装置及汇流条热压一体机-CN202010411216.2在审
-
不公告发明人
-
无锡先导智能装备股份有限公司
-
2020-05-15
-
2020-08-07
-
H01L31/18
- 本申请公开了一种上料装置，包括供应绝缘膜的绝缘膜上料装置、供应汇流条的汇流条上料装置及接料装置；其中，绝缘膜上料装置能够通过绝缘膜分切机构、将绝缘膜放卷机构放出的、宽度较宽的绝缘膜料带分切为多根窄料带，再通过绝缘膜牵引机构和绝缘膜裁断机构制备所需长度的绝缘膜；可知，绝缘膜上料装置一次能够制备多根绝缘膜，进而提高工作效率。本申请还公开了一种汇流条热压一体机，包括上述上料装置，以及热压装置；热压装置能够靠近接料装置进行热压，使得汇流条和绝缘膜粘结在一起；通过直接制备粘合的汇流条和绝缘膜，能够加快光伏电池的组装、提高工作效率
- 装置汇流热压一体机
- [实用新型]上料装置及汇流条热压一体机-CN202020807577.4有效
-
不公告发明人
-
无锡先导智能装备股份有限公司
-
2020-05-15
-
2020-11-20
-
H01L31/18
- 本申请公开了一种上料装置，包括供应绝缘膜的绝缘膜上料装置、供应汇流条的汇流条上料装置及接料装置；其中，绝缘膜上料装置能够通过绝缘膜分切机构、将绝缘膜放卷机构放出的、宽度较宽的绝缘膜料带分切为多根窄料带，再通过绝缘膜牵引机构和绝缘膜裁断机构制备所需长度的绝缘膜；可知，绝缘膜上料装置一次能够制备多根绝缘膜，进而提高工作效率。本申请还公开了一种汇流条热压一体机，包括上述上料装置，以及热压装置；热压装置能够靠近接料装置进行热压，使得汇流条和绝缘膜粘结在一起；通过直接制备粘合的汇流条和绝缘膜，能够加快光伏电池的组装、提高工作效率
- 装置汇流热压一体机
|
