[发明专利]半导体处理液用的冷却加热装置无效
| 申请号： | 99107035.6 | 申请日： | 1999-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1236889A | 公开（公告）日： | 1999-12-01 |
| 发明（设计）人： | 三木弘之 | 申请（专利权）人： | 速睦喜股份有限公司 |
| 主分类号： | F28F19/04 | 分类号： | F28F19/04;H01L21/306;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供对腐蚀性溶液抗蚀性高、不担心有害杂质溶出的半导体处理液用的冷却加热装置。通过对热交换基板3在石墨基板3A与处理液接触的侧面直接热粘接氟树脂片3B形成。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 处理 冷却 加热 装置 | ||
【主权项】：
1．一种半导体处理液用的冷却加热装置，其特征在于：在半导体处理液与热交换基板接触以进行冷却或加热的半导体处理液用的冷却加热装置中，通过在石墨基板与处理液接触的侧面上热粘接氟树脂片形成上述热交换基板。
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- 本实用新型公开一种防结霜换热器及空调器，该换热器翅片的表面涂覆有用于降低换热器翅片表面与外部霜层的粘附力的防结霜涂层，涂层中包含有若干具有温度敏感性、可根据外界温度释放与回收包裹在其中空腔体内的小分子物质的微球颗粒。本实用新型可防止或减少霜层在翅片表面的粘附和生长，以此来达到提高换热器防结霜性能的目的；此外涂层中微球结构根据温度变化而发生的改变与恢复可以重复进行，因此该涂层具有长期防结霜的能力，从而达到长效节能的目的。
- 一种翅片式蒸发器-201320384277.X
- 郑磊;杨胜群;袁波;倪云雷;秦斌 - 常州市常蒸制冷科技有限公司
- 2013-06-28 - 2014-05-07 - F28F19/04
- 本实用新型涉及一种翅片式蒸发器，包括第一盘管、第二盘管，第一盘管和第二盘管上均胀紧有翅片，第一盘管、第二盘管和翅片的表面均设有丙烯酸漆保护层。本实用新型的翅片式蒸发器具有耐候性好的优点。
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