[发明专利]一种提升良率的大型芯片封装设备及方法在审
申请号: | 202310904154.2 | 申请日: | 2023-07-24 |
公开(公告)号: | CN116884880A | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 潘宪峰;何东林 | 申请(专利权)人: | 锐杰微科技(郑州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/60;B08B5/04 |
代理公司: | 郑州大豫知识产权代理事务所(普通合伙) 41214 | 代理人: | 余颖华 |
地址: | 450000 河南省郑州市新郑市薛店镇*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及芯片封装技术领域,具体为一种提升良率的大型芯片封装设备及方法,包括焊接台、固定支架、储气盒、清洁单元和引脚定位组件,所述焊接台顶部设有凹型槽,所述凹型槽内底部开设有银浆槽,所述银浆槽两侧设有引脚槽;所述清洁单元包括吸气盒、支撑架、固定板、固定块、第一滑杆、第一滑块、第二滑块和第二滑杆,该装置操作简单,可以对焊接台顶部进行扫动清洁以及抽吸除杂,清洁效果好,清洁效率高,同时还能对引脚槽进行定点抽吸排气清堵,并配合多组引脚槽内部气压的变化提高清堵效率,适应性更强,稳定性更高;最后当需要对引脚槽内部的大型芯片引脚进行定点降温冷却时,还能自适应调节通孔的打开面积,从而实现准确降温冷却。 | ||
搜索关键词: | 一种 提升 大型 芯片 封装 设备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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