[发明专利]一种MEMS全桥差分三轴加速度传感器及其加工方法有效
申请号: | 202310868490.6 | 申请日: | 2023-07-17 |
公开(公告)号: | CN116593737B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 史晓晶;柳俊文;胡引引 | 申请(专利权)人: | 南京元感微电子有限公司 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125;G01P15/18;B81B7/02 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 陈俊由 |
地址: | 211106 江苏省南京市江宁开发区将*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及加速度传感器技术领域,公开一种MEMS全桥差分三轴加速度传感器及其加工方法,传感器包括:上部固定组件,包括上部电极板;中部电极组件,包括中心电极块和四个敏感组件,两个敏感组件沿X轴方向分布,且可动质量块与中心电极块和中部电极块之间组成检测沿X轴方向的加速度的X轴全桥差分电容;另外两个敏感组件沿Y轴方向分布,且可动质量块与中心电极块和中部电极块之间组成检测沿Y轴方向的加速度的Y轴全桥差分电容;下部固定组件,包括下部电极板,可动质量块与上部电极板和下部电极板形成检测沿Z轴方向的加速度的Z轴差分电容。本发明的传感器具有灵敏度高、线性度好、集成度好、电容值大及抗温漂的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 全桥差分三轴 加速度 传感器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】:
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