[发明专利]一种多弯管磁过滤真空阴极电弧离子镀装置在审
| 申请号： | 202310601588.5 | 申请日： | 2023-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN116815132A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 马震宇;周潜;李润涵;娄陈旭坤;舒磊;施仙庆;葛旺;徐锋 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 张菊萍 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多弯管磁过滤真空阴极电弧离子镀装置，包括：第一阴极套装、第二阴极套装、第三阴极套装、三合一阳极筒、磁过滤弯管和真空腔。所述第一阴极套装、第二阴极套装、第三阴极套装分别包含第一阴极电弧源与第一靶材、第二阴极电弧源与第二靶材和第三阴极电弧源与第三靶材；所述三合一阳极筒上依次设置有第一稳弧和聚焦线圈、第二稳弧和聚焦线圈和第三稳弧和聚焦线圈；所述磁过滤弯管上依次设置有聚焦线圈、引导线圈、引出线圈，入口端与三合一阳极筒连接，出口端与真空腔的内腔连接。该装置结构简单，可通过调控阴极套装实现单靶材或多靶材沉积，并通过磁过滤弯管和控制线圈电流有效过滤杂质和大颗粒，实现高效高质量镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弯管 过滤 真空 阴极 电弧 离子镀 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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