[实用新型]一种离子镀枪靶材底座盘

摘要

本实用新型涉及表面防护涂层制备领域，具体地说是一种用于离子镀枪装置的靶材底座盘。靶材底柱绝缘套的外侧设置离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘的一侧设置离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘紧固板通过靶材底柱绝缘套上的绝缘套盘与离子镀枪底盘隔开，绝缘套盘下部与离子镀枪底盘紧固板接触，绝缘套盘上部与离子镀枪底盘接触，通过密封圈形成密封，离子镀枪底盘的另一侧设置离子镀枪底盘绝缘盘。本实用新型结构简易紧凑有效，操作简便、密封性好，便于整机设计及满足工业生产对真空室内等离子体分布的各种需求，用以改善传统电弧离子镀弧源结构复杂、密封性差、难以实现特殊镀膜需求的缺点。

主权项

一种离子镀枪靶材底座盘，其特征在于，包括：离子镀枪底盘紧固板、靶材底柱绝缘套、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘绝缘盘、密封圈、绝缘套盘，具体结构如下：靶材底柱绝缘套的外侧设置离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘的一侧设置离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘紧固板通过靶材底柱绝缘套上的绝缘套盘与离子镀枪底盘隔开，绝缘套盘下部与离子镀枪底盘紧固板接触，绝缘套盘上部与离子镀枪底盘接触，通过密封圈形成密封，离子镀枪底盘的另一侧设置离子镀枪底盘绝缘盘。