[发明专利]一种金属板的镀膜方法与设备在审
| 申请号： | 201710791343.8 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN107723677A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 汪会平 | 申请（专利权）人： | 汪会平 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/32 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 金属板的镀膜方法，在设有的包括料库、离子镀室、第三真空室内进行，料库内设有2‑20片的金属基板作为料库，料库及连通的离子镀室、料库和第三真空室设有可变轨道的金属基板循环运输系统；金属基板循环运输系统通过第二真空镀膜室即离子镀室进行镀膜，离子镀室中靶材采用钛，碳化物合金或硼化物合金作为镀硬质膜层的材料；金属基板在可变轨道上在料库及连通的离子镀室、第三真空室多次循环，在经过离子镀室的第一和第二横向轨道上进行连续多次的循环镀膜，金属基板循环由多只V型轮和上轨的多组夹持轮支持和驱动。V型轮的V型槽上直接支撑基板；V型轮设有主动轮和被动轮，V型轮转动而不滚动的方式驱动基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属板 镀膜 方法 设备 | ||
【主权项】：
金属板的镀膜方法，其特征是在设有的包括料库、离子镀室、第三真空室内进行，料库内设有2‑20片的金属基板作为料库，料库及连通的离子镀室、料库和第三真空室设有可变轨道的金属基板循环运输系统；金属基板循环运输系统通过第二真空镀膜室即离子镀室进行镀膜，离子镀室中靶材采用钛，碳化物合金或硼化物合金作为镀硬质膜层的材料；金属基板在可变轨道上在料库及连通的离子镀室、第三真空室多次循环，在经过离子镀室的第一和第二横向轨道上进行连续多次的循环镀膜，逐次镀膜即使金属基板渐进地、吸收堆积靶材离子成膜而成为成品模压板，每次镀膜后的半成品模压板有冷却时间和空间；第一真空室与真空镀膜室之间出入口设有密封门；金属基板循环由多只V型轮和上轨的多组夹持轮支持和驱动。V型轮的V型槽上直接支撑基板；V型轮设有主动轮和被动轮，V型轮转动而不滚动的方式驱动基板。
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