[发明专利]一种快速抽真空系统、及其控制方法和装置

摘要

本发明公开一种快速抽真空系统、及其控制方法和装置，其中，所述快速抽真空系统包括真空抽气系统和水循环系统，所述真空抽气系统包括被抽容器、高真空气路、低真空气路以及中真空气路，且高真空气路的高真空泵、低真空气路的第一低真空泵、以及中真空气路的第二低真空泵和中真空泵共同组成快速抽真空系统；本发明提供的技术方案中，通过高真空气路、低真空气路以及中真空气路实现对真空容器快速抽真空，且对不同等级真空要求的真空容器快速抽真空，实现低、中、高真空度要求的快速、灵活抽真空；且控制操作稳定，有效地满足真空容器的真空度需求，保障真空容器的绝热效果，降低真空容器内的物质损耗。