[发明专利]一种模块化真空计在审
| 申请号： | 202211436110.3 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN115752885A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;李风雷;赵育强;李柯巍;杜淑华;李朝;侯运安;马丽娜 | 申请（专利权）人： | 中国航发动力股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种模块化真空计，包括显示控制单元和换芯真空规管，显示控制单元包括继电器控制模块、低真空规管信号及处理模块、高真空信号及处理模块、电源模块、显示模块，每个模块的前端模块插头插入显示单元母座内部的模块插槽通过插座供电识别，显示单元母座内部设置有单片机。显示控制单元包括特殊信号及处理部分模块，特殊信号及处理部分模块带有公式输入键盘及显示屏，特殊信号及处理部分模块用内置单片机采集电压信号，按输入的计算公式将输出电压信号转换成真空测量信号，同时自动调整真空计内部的气体类型参数(例如空气、氨气、氮气、氦气)换算显示不同气体时的真空度，然后通过转接显示到显示单元的显示屏幕上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模块化 真空计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航发动力股份有限公司，未经中国航发动力股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211436110.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种真空测量系统及晶体炉-202320986448.X
- 刘景峰 - 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
- 2023-04-27 - 2023-10-20 - G01L21/30
- 本实用新型涉及晶体生产设备技术领域，公开了一种真空测量系统及晶体炉，所述真空测量系统包括电阻规管、电离规管以及抽真空管路，所述抽真空管路与炉体连通，还包括检测管路和第三阀门，所述电阻规管和电离规管均设置于检测管路上，所述检测管路与炉体之间设置有第三阀门，解决了现有的真空测量系统中更换电阻规管或电离规管的步骤复杂，会导致设备停机处理，不但耽误正常的晶体生长周期，同时造成经济损失的问题。本实用新型将真空测量系统与炉体隔离开来，从而使得更换电阻规管或电离规管时不需要降温停机处理，大大缩短了更换操作的时间，保证设备的稳定运行。
- 一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统-202211088672.3
- 吴淑群;徐志豪 - 南京航空航天大学
- 2022-09-07 - 2023-07-11 - G01L21/30
- 本申请公开了一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统，涉及真空玻璃检测领域，该真空玻璃真空度检测系统中的真空度检测装置包括直流电源、匹配电路和螺旋型结构的电感线圈，电感线圈贴近待检测真空玻璃，直流电源通过匹配电路给电感线圈通入交流电流，使得电感线圈产生交变的感应电场，基于交变电磁场在低气压环境下容易产生电感耦合等离子体的特性，利用待检测真空玻璃的内部隔层中形成的发光区域的面积来指示待检测真空玻璃的真空度，为真空玻璃的真空度检测提供了一种全新的思路，相比于现有各种真空度检测装置和方法，本申请结构简单，检测效率和检测准确度较高。
- 真空电子器件内部真空度检测方法-202011386393.6
- 宋芳芳;王铁羊;牛付林;赵鹏 - 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- 2020-12-01 - 2023-07-04 - G01L21/30
- 本发明公开了一种真空电子器件内部真空度检测方法，包括：确定真空电子器件的加电方式和加电参数；将真空电子器件的标准样管与离子流测量系统连接；将标准样管进行抽真空，使标准样管内达到需要对标的真空度；测量标准样管在所对标的真空度下的阳极离子流；测试不同的对标真空度下的离子流，完成离子流与真空度对应关系的标定工作，得到离子流‑真空度标定表或离子流‑真空度量化模型；将真空电子器件的待测样管与离子流测量系统连接；测量待测样管的阳极离子流；对照离子流‑真空度标定表或将所测量的阳极离子流代入离子流‑真空度量化模型，获得待测样管的真空度。本发明能够对真空电子器件内部真空度进行高真空、高测量精度的无损检测。
- 一种适用于易电离气体的高真空测量系统-202210180089.9
- 武海斌;潘瑾;杨成;张乾坤;邓宁宁;盛继腾 - 华东师范大学
- 2022-02-25 - 2023-06-09 - G01L21/30
- 本发明公开了一种适用于易电离气体的高真空测量系统，是通过薄膜热噪声信号探测、光学共振信号放大实现适用于易电离气体的高真空测量系统。基于薄膜在不同气压的具有不同的运动特性，高真空情况下自身热运动明显，通过探测薄膜热噪声信号；基于光学谐振腔，实现光信号的共振放大，提供探测灵敏度；基于放大后的热噪声信号，分析薄膜在待测环境下的薄膜特征频率与品质因子，可实现10‑10
- 一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法-202011468250.X
- 董猛;成永军;习振华;贾文杰;孙雯君;张虎忠;马亚芳;刘珈彤;杨利 - 兰州空间技术物理研究所
- 2020-12-14 - 2023-04-07 - G01L21/30
- 本发明公开了一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法。利用第一性原理等物质的本征物理特性及定义出发，利用基于量子理论的中性气体－超冷原子碰撞理论能够实现超高或极高真空的绝对测量，使其成为具有自校准特性的超高或极高真空测量量子基准，不需要和其它标准进行比对校准，而且测量下限不受限制，可以实现10
- 一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计-202211670229.7
- 张虎忠;李得天;成永军;李刚;马卓娅;葛金国;姚鹏 - 兰州空间技术物理研究所
- 2022-12-25 - 2023-03-24 - G01L21/30
- 一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计，包括依次连接的阴极、引出极、聚集系统、电离室、电子收集极以及偏转极，其中：阴极作为场发射电子源，选用生长在不锈钢衬底上的碳纳米管阵列；引出极是中心为栅网的孔板结构；聚集系统包括依次连接的第一透镜、聚集极以及第二透镜；电离室的内部设置有离子收集极；阴极、引出极以及聚集系统设置在电离室的前端，电子收集极以及偏转极设置在电离室的后端。本申请通过控制电子的运动轨迹，实现了电离真空计灵敏度的稳定可靠，通过结构设计实现了电子和离子的空间分离，抑制了电子撞击电子收集极产生的二次电子和X射线对测量的影响。
- 一种精密测量冷原子真空系统压强的传感装置及方法-202210007999.7
- 武海斌;李睿;张雪姣;张静怡;成永军;董猛;孙雯君 - 华东师范大学
- 2022-01-05 - 2023-03-24 - G01L21/30
- 本发明公开了一种精密测量冷原子真空系统压强的传感装置及方法。其装置采用在二维磁光阱腔室上及三维磁光阱腔室上分别配置离子泵、钛泵及激光器，并在二维磁光阱腔室上还配置了原子炉，在三维磁光阱腔室上还配置了高纯度气瓶、球面透镜、光电倍增管及数据采集卡；其方法采用所述装置实现，第一步，提取出原子损失率Γ；第二步，获得当前阱深修正的损失率系数K
- 一种电离真空计的防护装置及电离真空计-202222966163.8
- 沈健超 - 芯恩（青岛）集成电路有限公司
- 2022-11-08 - 2023-03-24 - G01L21/30
- 本申请提供一种电离真空计的防护装置及电离真空计，包括插入部、防护部及阻挡片。插入部的出口用于插入电离真空计的连接管内。防护部设于插入部的入口侧，包括网格面，网格面具有预定目数。阻挡片设于插入部的出口与入口之间的内壁上，且阻挡片与防护部之间间隔预定间距；阻挡片的顶部向防护部一侧倾斜设置，阻挡片用于阻挡并二次收集碎屑。通过防护部阻挡大于预定目数的碎屑经插入部进入电离真空计的连接管内。通过阻挡片的设置，将小于预定目数的碎屑落至阻挡片的前端，防止碎屑进入电离真空计内部。本申请通过防护部和阻挡片双重保护措施提升电离真空计内部洁净度，降低突发性灯丝断开的概率。
- 一种模块化真空计-202211436110.3
- 王鹏;李风雷;赵育强;李柯巍;杜淑华;李朝;侯运安;马丽娜 - 中国航发动力股份有限公司
- 2022-11-16 - 2023-03-07 - G01L21/30
- 本发明公开了一种模块化真空计，包括显示控制单元和换芯真空规管，显示控制单元包括继电器控制模块、低真空规管信号及处理模块、高真空信号及处理模块、电源模块、显示模块，每个模块的前端模块插头插入显示单元母座内部的模块插槽通过插座供电识别，显示单元母座内部设置有单片机。显示控制单元包括特殊信号及处理部分模块，特殊信号及处理部分模块带有公式输入键盘及显示屏，特殊信号及处理部分模块用内置单片机采集电压信号，按输入的计算公式将输出电压信号转换成真空测量信号，同时自动调整真空计内部的气体类型参数(例如空气、氨气、氮气、氦气)换算显示不同气体时的真空度，然后通过转接显示到显示单元的显示屏幕上。
- 电子生成装置和电离真空计-202211359810.7
- 齐藤典行;饭塚求磨;千田英里子 - 佳能安内华股份有限公司
- 2020-09-17 - 2023-01-20 - G01L21/30
- 本发明公开了电子生成装置和电离真空计。电子生成装置包括：灯丝；电源，被配置成向灯丝供应电力以便使灯丝发射电子；以及控制器，被配置成重复地检测与从电源供应到灯丝的电力具有相关性的值、通过使用检测到的多个值来确定灯丝的状态是否满足通知条件，并且在该状态满足通知条件时执行通知。
- 一种片上微型电离真空传感器及其制造方法-201911132811.6
- 魏贤龙;杨威 - 北京大学
- 2019-11-19 - 2022-11-22 - G01L21/30
- 本发明提供了一种片上微型电离真空传感器及其制造方法，包括片上微型电子源、第一绝缘层、第一收集极、第二绝缘层和第二收集极；片上微型电子源朝向第一绝缘层的一侧具有电子发射结构；第一绝缘层具有第一通孔，第一通孔贯穿第一绝缘层；第一收集极具有第一网孔，第一网孔贯穿第一收集极；第二绝缘层具有第二通孔，第二通孔贯穿第二绝缘层；第二收集极具有第二网孔，第二网孔贯穿第二收集极；第一通孔、第一网孔、第二通孔以及第二网孔相互贯通。本发明采用片上微型电子源代替了常规的灯丝，由于该片上微型电离真空传感器通过微纳加工工艺和键合工艺制备而成，尺寸小，因此，可以扩大电离真空传感器测量真空度的上限，即可以应用在中低真空领域。
- 单光纤激光诱导击穿光谱的真空度在线检测系统及方法-202210108994.3
- 荣命哲;刘佳琪;张飞龙;柯伟;陈敏源;袁欢;杨爱军;刘定新;王小华 - 西安交通大学
- 2022-01-28 - 2022-08-26 - G01L21/30
- 本发明公开了一种基于单光纤激光诱导击穿光谱的真空度在线检测系统及方法，系统中，激光器生成激发激光通过光纤诱导击穿光谱的激光，光纤耦合器耦合注入激光，单光纤连接光纤耦合器以传输激光，LIBS探头一端连接单光纤，另一端探入真空灭弧室，激光经由LIBS探头诱导生成等离子体且等离子体自发射成像经由LIBS探头进入光纤耦合器，二色镜设于光纤耦合器以分离激光和等离子体，处理器连接相机和光谱仪，基于等离子体图像和光谱信号生成等离子体温度和等离子体密度以得到真空度。
- 一种高效LNG储罐真空度检测维护方法-202210407635.8
- 邹广宁 - 广州美东能源有限公司
- 2022-04-19 - 2022-08-16 - G01L21/30
- 本发明公开一种高效LNG储罐真空度检测维护方法，其包括以下步骤：步骤一：检测储罐的真空度；步骤二：打开储罐抽真口盖，在储罐抽真口上安装好抽真空工装，并将抽真空工装与抽真空机相连通，检查阀门与相序显示器的状态；步骤三：打开真空计电源和分子泵电源，利用机械泵先抽管路的真空，再对储罐进行抽真空；步骤四：判断储罐抽真空是否合格，若合格则结束抽真空作业，并关闭储罐工装阀门，最后关闭分子泵；本发明能够应对LNG储罐在日常状态下的检测维护，监控其工作性能，确保其使用寿命在常规范畴内；本方法较为简便，能够被普通技术人员熟悉掌握，效果较佳；检测维护过程误差小、效率高、成本低，能够及时了解LNG储罐和维修人员的状态。
- 一种真空开关真空度测试仪-202220801518.5
- 汪细彬 - 武汉市合众电气设备制造有限公司
- 2022-04-08 - 2022-08-02 - G01L21/30
- 本实用新型公开了真空开关测试技术领域的一种真空开关真空度测试仪，包括：检测箱，所述检测箱包括箱体、变压机构和微型计算机，所述变压机构安装在所述箱体的内腔，所述微型计算机安装在所述箱体的内腔，所述变压机构在所述微型计算机的侧面但并不接触；面板组件，所述面板组件安装在所述降温顶盖的顶部，所述面板组件包括面板、电压输出端子、离子电流输入端子和励磁线圈，所述面板安装在所述降温顶盖上远离所述箱体的一侧，所述电压输出端子安装在所述面板上远离所述降温顶盖的一侧，所述电压输出端子通过导线与所述变压机构电性连接，本实用新型不必拆卸灭弧室，测试过程简单方便，极大的提高了测试效率。
- 一种真空开关真空度测试仪-202022996131.3
- 祝忠;熊先敏;宋应刚 - 贵州维多源电力科技有限公司
- 2020-12-14 - 2021-12-03 - G01L21/30
- 本实用新型公开了一种真空开关真空度测试仪,属于真空开关真空度检测技术领域，通过光电探测器模块采集灭弧室内原子密度光谱信号并转换为相应的电信号输出给处理器模块，处理器模块处理电信号并进行的原子光谱信号强度的判断，通过原子光谱信号的强度进而推断出真空开关的真空度，并通过通讯模块、显示操作模块和打印机模块实现与远程终端的通讯和实时数据的检测打印，解决了现有在线式真空度检测仪检测精度不高的的问题。
- 聚合物复合真空部件-202010025978.9
- B·J·凯利;C·L·珀西;S·C·海因布赫;G·A·布鲁克;T·C·斯文尼;T·R·皮万卡-科尔 - 万机仪器公司
- 2016-01-13 - 2021-11-23 - G01L21/30
- 本发明涉及聚合物复合真空部件。一种测量计具有由聚合物材料形成的壳体以及布置在壳体中的一个或者多个电馈通引脚。电馈通引脚可以大体相互垂直地取向并且具有复杂的形状。
- 一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置-202110569878.7
- 荣命哲;柯伟;袁欢;王小华;杨爱军;刘定新 - 西安交通大学
- 2021-05-25 - 2021-09-03 - G01L21/30
- 本公开揭示了一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置，包括：等离子体产生模块，用于产生脉冲激光，所述脉冲激光沿第一光路传输并诱导真空开关产生等离子体；成像模块，用于捕捉沿第一光路返回且继续沿第二光路传输的等离子体，以获得等离子体图像；真空度检测模块，用于对等离子体图像进行检测，以获得真空开关的真空度信息。
- 平移式密闭容器真空度检测系统-201810681743.8
- 张国基;张希兰 - 浙江蓝天知识产权运营管理有限公司
- 2018-06-27 - 2021-04-16 - G01L21/30
- 本发明公开了一种平移式密闭容器真空度检测系统，包括：工作台，所述工作台中部设有可平移的载物台，所述载物台两侧设有至少一对平行的电极；所述电极具有施加在表面的高频电场，以诱导待测密闭容器内产生辉光放电；所述工作台上还设有信号检测分析器，所述信号检测器能捕获待测密闭容器移动在电极中间产生的辉光放电信号。将各密闭容器在平移的载物台上移动，当移动到电极中间时，产生辉光放电，而信号检测分析器分析出该容器的真空度，并记录到系统中，能够实现流水线的密闭容器真空度的检测。
- 一种真空开关真空度测试仪-202021425242.2
- 杨永福 - 珠海蓝网电气设备有限公司
- 2020-07-19 - 2021-03-30 - G01L21/30
- 本实用新型公开了一种真空开关真空度测试仪，涉及真空度测试仪技术领域。本实用新型的结构包括箱体、显示屏、磁力线圈、导流钳、隔板、制冷片、散热片、散热扇，所述箱体的凹槽顶部固定有顶板，所述箱体的凹槽内安装有变压器、电压源、电流源、主机，所述显示屏设置在顶板的垂直通孔中，所述磁力线圈通过连接导线与电压源连接，所述导流钳连接真空开关的电极和箱体内电路，所述隔板固定在设置在箱体凹槽的右前角处，围成空间为散热腔，所述散热腔的前侧壁上设置一号散热孔，所述制冷片设置在隔板的通孔中，所述散热片的背面紧贴制冷片的热面，所述散热扇固定安装在散热腔中。本实用新型具有良好的散热性能。
- 电子生成装置和电离真空计-202010980112.3
- 齐藤典行;饭塚求磨;千田英里子 - 佳能安内华股份有限公司
- 2020-09-17 - 2021-03-19 - G01L21/30
- 本发明公开了电子生成装置和电离真空计。电子生成装置包括：灯丝；电源，被配置成向灯丝供应电力以便使灯丝发射电子；以及控制器，被配置成重复地检测与从电源供应到灯丝的电力具有相关性的值、通过使用检测到的多个值来确定灯丝的状态是否满足通知条件，并且在该状态满足通知条件时执行通知。
- 电推进试验用羽流粒子沉降防护装置及其真空测试系统-201910053516.5
- 王军伟;张磊;李高;宁娟;白冰;付春雨;刘然;邵静怡;刘洋洋 - 北京卫星环境工程研究所
- 2019-01-21 - 2021-03-02 - G01L21/30
- 本发明公开了一种电推进试验用羽流粒子沉降防护装置，包括设置在真空测试容器内的防护壳本体，所述防护壳本体为内凹盘型结构，防护壳本体的内凹轴心位置设置有一体结构的外凸部，防护壳本体的内凹表面从其外圈至外凸部轴心位置呈圆形阵列形式固定焊接多组冷却支管，冷却支管表面均固定焊接有粒子沉降防护障板，防护壳本体两端均固定焊接有进出液管。本发明装置结构简单，易于安装维护，能够实现羽流粒子沉降防护装置的冷却，避免了其发生老化和损坏的情况，延长了使用寿命。
- 电离规和用于对高速中性气团的瞬态压强进行测量的系统-201910187669.9
- 郭大伟;程谋森;张颖;吴建军;王墨戈;李小康;杨雄;车碧轩;段兴跃 - 中国人民解放军国防科技大学
- 2019-03-13 - 2021-01-05 - G01L21/30
- 本发明公开了一种电离规以及采用该电离规的用于对高速中性气团的瞬态压强进行测量的系统。本发明的电离规及测量系统，采用阴极、控制极、加速极和收集极同轴设置，且由内向外分别为阴极、控制极、加速极和收集极，并通过外部控制电路来控制每个电极的工作电势，使阴极工作在空间电荷限制的运用条件下，阴极的发射能力受阴极所处电场的影响显著，对温度变化不敏感，电场调节不存在惯性，响应快，可以快速、准确地稳定阴极的发射电流，确保了电离规对高速中性气团的瞬态压强具有良好的检测精准度。另外，还可以通过外部控制电路来调节每个电极的工作电势，可实现电离规高低真空测量模式的切换，实现宽范围的压强测量，实现一规多用。
- X射线管的真空度测量装置、方法以及系统-202010841645.3
- 周原;农尚斌;聂西鹏 - 西门子爱克斯射线真空技术（无锡）有限公司
- 2020-08-20 - 2020-11-24 - G01L21/30
- 本公开涉及了一种X射线管的真空测量装置、方法以及系统。该X射线管的真空度测量装置，其特征在于，包括：脉冲电源单元，被设置为对一待测X射线管的阳极施加正脉冲电压，产生因所述X射线管内残余气体中存在的自由带电粒子与残余的气体分子之间的碰撞而发生电离的电流；测量电路单元，包括一采样模块，所述采样模块被设置为连接于所述阴极处，并被配置为测量所述电流的大小；以及处理单元，被配置为将测量到的所述电流的大小与一先验的离子电流‑真空参考曲线对比从而得到所述X射线管的真空度。因此，可以对X射线管实现无损的测量其真空度，且具有较高的准确度、灵敏度。
- 一种真空瓶真空检测用检测仪-201920839808.7
- 竺林海 - 绍兴海景塑业有限公司
- 2019-06-05 - 2020-05-01 - G01L21/30
- 本实用新型公开了一种真空瓶真空检测用检测仪，包括把手和框架，所述把手安装在框架的上端外壁上，本实用新型真空瓶真空检测用检测仪在框架的一侧增加了收集装置，该收集装置上设置有固定座和弹性套，通过固定座的一端与变压箱的框架固定连接，固定座的另外一端与弹性套通过粘胶固定连接，在真空检测用检测仪停止工作时，将高频发射器壳套接在弹性套中，避免了高频发射器头前端的发射管因为安放不小心而造成损坏，收集装置使得整个高频发射器有个固定安放的位置，不会晃动接触地面或者其他硬性物体，保护了其安全性，同时，利用收集装置可以使得移动变压器的时候更加的方便携带高频发射器装置。
- 基于场电离发射的电离真空计-201811093729.2
- 符小平 - 四川中坚环境监测服务有限公司
- 2018-09-19 - 2020-03-27 - G01L21/30
- 本发明公开了一种基于场电离发射的电离真空计，包括真空管、磁场发生装置、高压发生器、控制电路和直流电源，所述真空管内设有阴极和阳极，在真空管的上端部设有真空检测口，在真空管的外围设有磁场发生装置；所述高压发生器的正极输出端通过正极输出电缆与阳极电连接，高压发生器的负极输出端通过负极输出电缆与阴极电连接；所述控制电路的输出端通过控制电路电源输出导线与高压发生器的负极输入端电连接，控制电路的电源正极输入端通过电缆与直流电源的正极输出端电连接；所述直流电源的负极输出端通过电源负极电缆与控制电路电源的负极输入端电连接。本发明的电离真空计结构简单、制作成本较低。
- 复合真空计-201910590993.5
- 赵杰;栗军;刘汉平 - 德州学院
- 2019-07-02 - 2019-08-30 - G01L21/30
- 本发明公开了一种复合真空计。它包含安装在机壳上的灯丝延时开关、灯丝恒通开关、低真空表、高真空表、热电偶真空规管选择开关、电离真空计档位开关。机壳内安装复合真空计内部电路。热电偶真空规管与复合真空计内部电路相连，电离真空规管的收集极、栅极、灯丝的左端与复合真空计内部电路相连。机壳内部还安装有延时断自动控制电路。灯丝的右端与延时断自动控制电路的延时断输出端串联后再与复合真空计内部电路相连。自动控制电路内部继电器的常通触点开关与灯丝恒通开关并联。它克服了现有技术中的复合真空计常因误操作而导致电离真空规管的灯丝氧化烧断的缺陷。它用于高校的真空镀膜电子衍射实验中真空度的测量。
- 一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置-201910470430.2
- 李娜;冯伟群;胡冬冬;程实然;陈兆超;侯永刚;王铖熠;许开东 - 江苏鲁汶仪器有限公司
- 2019-05-31 - 2019-08-16 - G01L21/30
- 本发明提出一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上。所述保护装置包括设置在反应腔体内的遮挡通气接口的阻隔板；所述阻隔板贴近通气接口处的反应腔体内壁，所述通气接口沿其中轴线投影至阻隔板上的投影面位于阻隔板的遮挡面范围内。所述保护装置还包括驱动阻隔板远离或靠近通气接口的推拉机构。本发明通过贴近遮挡通气接口的阻隔板，有效阻隔金属颗粒和离子束；通过推拉机构驱动阻隔板远离或靠近通气接口，防止杂质堵塞阻隔板与反应腔体内壁的间隙，在满足通气要求下保持合适间隙。
- 一种新型锅炉真空度测量装置-201821038781.3
- 郑文龙;董振飞;蒙建;徐表元;舒心彬 - 德兴市惠康节能环保有限公司
- 2018-07-03 - 2019-03-19 - G01L21/30
- 本实用新型公开了一种新型锅炉真空度测量装置，包括测量本体，测量本体的两侧均固定连接有安装板，安装板的一侧固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的另一端固定连接有防撞板，安装板的一侧且位于缓冲弹簧的顶部和底部均通过销钉活动连接有连接杆，所述连接杆的另一端通过销钉活动连接有长杆，所述长杆的另一端通过销钉与防撞板的一侧活动连接，所述测量本体的底部固定连接有伸缩块，所述伸缩块底部的两侧均固定连接有万向轮。本实用新型利用缓冲弹簧自身的弹性力，具有很好的很好防撞能力，大大的提高了真空度测量设备的使用寿命，具有很好的保护功能，并且具有很好携带功能，减轻了人们携带的疲劳度，大大的提高了设备的实用性。
- X射线管真空度的检测方法-201610676742.5
- 刘斌;张晓梅;曾春辉;冯家豪;杨晓风 - 成都凯赛尔电子有限公司
- 2016-08-17 - 2019-01-08 - G01L21/30
- 本发明公开一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：步骤1，将电流表与钛泵串联后与电源连接，该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通；步骤2，将所述电流表的档位调节为μA档，将所述电源的输出电压调节至2‑4kV，读取所述电流表的读数I0，得到所述X射线管的本底电流I0；以及步骤3，在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片，将所述电流表的档位调节为mA档，将所述电源的输出电压调节至3.8‑4.2kV，读取所述电流表的读数Ii，若Ii‑I0＝0时，则P≤3×10‑5Pa；P为X射线管的真空度，单位为Pa；Ii为离子电流，单位为μA。它通过测定其离子电流就能判断该X射线管的真空度是否符合要求，以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。
- 一种灵敏度高的真空度检测仪-201810930455.1
- 王康 - 苏州仁尔必思电子科技有限公司
- 2018-08-15 - 2019-01-04 - G01L21/30
- 本发明公开了一种灵敏度高的真空度检测仪，其包括：壳体以及壳体底端通过支柱连接的轮子，壳体上端设置了旋紧螺钮，壳体前端左侧设置了显示屏，壳体右侧设置了把手，壳体后端开凿了个端口接入孔，壳体内部左侧设置了控制器,所述的一种灵敏度高的真空度检测仪结构设计合理，其采用励磁线圈，运用磁控放电法测试灭弧室真空度，这种方法测试结果灵敏度较高，另外其还安装了轮子与把手，有助于所述发明的远距离移动，所述一种灵敏度高的真空度检测仪操作简单，测试效果好，值得在电子科技领域推广与使用。
- 专利分类
