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[发明专利]预真空锁量计-CN202280011034.3在审
发明人： G·A·巴克 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种预真空锁压力计，包括壳体，该壳体被配置成联接到预真空锁真空腔室。壳体支撑绝对真空压力传感器和差动隔膜压力传感器，该绝对真空压力传感器在高真空压力范围内提供瞬时高真空压力信号，该差动隔膜压力传感器提供预真空锁压力与环境压力之间的瞬时差压信号。壳体进一步支撑绝对环境压力传感器。低真空绝对压力系根据瞬时差压信号和瞬时环境压力信号来计算的。位于壳体中的控制器能够基于传感器的测量电压和在压力计的正常操作期间在预真空锁中的压力的常规循环的情况下测量的环境压力来重新校准差动隔膜压力传感器。
真空量计

[发明专利]使用质谱测定法监测自由基粒子浓度-CN202180084665.3在审
发明人：杨成隆;刘建敏;J·E·布莱辛 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：监测系统检测及测量气体中的自由基粒子的量。测试室耦接至传输气体的流动通道。测试室界定出连接测试室与流动通道的孔径，且孔径允许气体的子集从流动通道进入测试室。电离器位于测试室内并从气体子集的自由基粒子产生自由基离子。质谱测定仪测量自由基离子的量，从而提供气体中自由基粒子的测量值。
使用测定法监测自由基粒子浓度

[发明专利]导热仪-CN202180076545.9在审
发明人： G·A·布鲁克;T·C·斯文尼 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01L11/00 文献下载
摘要：制程临界导热仪(PCTCG)仪器依靠测量腔室壁高于环境温度控制(AATC)以提供改善的精度和热稳定性，同时降低和线性化温度系数。传感器电阻暴露在量具室中的气压下。AATC是通过对加热腔室壁的加热器的控制来提供，以控制传感器电阻和腔室壁之间的温差。该技术的一个示例应用是冷冻干燥中的终点检测，其中TCG用于追踪二元气体混合物中水的分压。
导热

[发明专利]热传导测量仪和测量气压的方法-CN202210214855.9在审
发明人： G·A·布鲁克;T·C·斯文尼 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01L21/12 文献下载
摘要：本发明涉及热传导测量仪和测量气压的方法。热传导测量仪对腔室内的气压进行测量。传感器线和电阻器形成联接在功率输入端与地之间的电路，其中，传感器线延伸进入腔室中并且经由端子连接至电阻器。控制器根据端子处的电压和功率输入端处的电压来调节功率输入，以使传感器线达到目标温度。基于调节后的功率输入，控制器可以确定腔室内的气压的度量值。
热传导测量仪测量气压方法

[发明专利]热传导测量仪-CN201980026369.0有效
发明人： G·A·布鲁克;T·C·斯文尼 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01L21/12 文献下载
摘要：热传导测量仪对腔室内的气压进行测量。传感器线和电阻器形成联接在功率输入端与地之间的电路，其中，传感器线延伸进入腔室中并且经由端子连接至电阻器。控制器根据端子处的电压和功率输入端处的电压来调节功率输入，以使传感器线达到目标温度。基于调节后的功率输入，控制器可以确定腔室内的气压的度量值。
热传导测量仪

[发明专利]离子源、质谱仪系统以及产生离子的方法-CN201880038994.2有效
发明人： J·E·布莱辛;J·莱斯利;J·H·贝蒂 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01J49/14 文献下载
摘要：设备(例如，离子源)、系统(例如，残留气体分析仪)和方法在存在污染气体的情况下提供了质谱仪的延长寿命和提高的分析稳定性，同时实现了采样气体优于内部背景气体的显著优先的电离。一个实施方式是包括气体源、喷嘴、电子源和电极的离子源。气体源经由喷嘴将气体输送到被抽真空的电离容积，并且气体源处于高于被抽真空的电离容积的压力的压力。通过喷嘴的气体在电离容积的电离区域中自由膨胀。电子源发射电子通过电离区域中的膨胀的气体，以使膨胀的气体中的至少一部分电离。电极产生用于从所述电离区域到滤质器的离子流的电场，并且与所述喷嘴间隔开且被定向以限制其暴露于所述气体。
离子源质谱仪系统以及产生离子方法

[发明专利]用于大范围质量流量检验的方法和设备-CN201780077963.3有效
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊;W·科勒 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：节省空间并且可以在大流速范围内检验未知流体的流速的质量流量检验器(MFV)包括：腔室，该腔室被配置为接纳流体；临界流喷嘴，该临界流喷嘴与所述腔室连接；以及第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器分别检测所述腔室中的流体压力和所述临界流喷嘴的上游的流体压力。所述MFV的控制器被配置为通过以下步骤检验所述流体的流速：(i)在第一流量范围中，基于由所述第一压力传感器检测到的所述流体的压力上升速率来测量第一流速，并且基于由所述第一压力传感器和所述第二压力传感器检测到的压力来确定所述流体的气体性质函数；以及(ii)在第二流量范围中，基于由所述第二压力传感器检测到的压力和所确定的所述气体性质函数来测量第二流速。
用于范围质量流量检验方法设备

[发明专利]聚合物复合真空部件-CN202010025978.9有效
发明人： B·J·凯利;C·L·珀西;S·C·海因布赫;G·A·布鲁克;T·C·斯文尼;T·R·皮万卡-科尔 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本发明涉及聚合物复合真空部件。一种测量计具有由聚合物材料形成的壳体以及布置在壳体中的一个或者多个电馈通引脚。电馈通引脚可以大体相互垂直地取向并且具有复杂的形状。
聚合物复合真空部件

[发明专利]用于脉冲气体输送的方法和设备-CN202080021088.9在审
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：在脉冲气体输送系统中，通过上游阀门将腔室预填充至规定压力。此后，打开下游控制阀门以在气体脉冲期间控制气体的流。专用控制器可以基于在脉冲期间检测到的压力和温度在脉冲期间在反馈回路中控制下游控制阀门。
用于脉冲气体输送方法设备

[发明专利]倒磁控管冷阴极电离真空计、电离源、测量压力的方法-CN201980036571.1有效
发明人： G·A·布鲁克;T·C·斯文尼;C·L·珀西 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01J41/06 文献下载
摘要：倒磁控管冷阴极电离真空计、电离源、测量压力的方法。公开了一种总压力冷阴极电离计。倒磁控管电极设计能够同时检测和测量高真空系统中的总气体压力以及诸如氢气、氦气以及水的这样的一种或更多种气体的部分压力。另外，公开了一种泄漏检测器，诸如氦泄漏检测器，其具有到离子检测通道的进气通道的紧凑的逆流结构。
倒磁控管冷阴极电离真空计测量压力方法

[发明专利]用于倒置磁控管冷阴极电离计的阳极电极屏蔽件-CN201780083316.3有效
发明人： G·A·布鲁克;T·C·斯文尼 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01J41/06 文献下载
摘要：一种冷阴极电离计(CCIG)包括延伸的阳极、沿着所述阳极的一段围绕所述阳极的阴极以及支承所述阳极的馈通绝缘体。所述阴极在所述阳极周围形成放电空间，使得能够在所述阳极与所述阴极之间形成等离子体以及所产生的流入所述阴极的离子电流。所述CCIG还包括磁体，所述磁体施加贯穿所述放电空间的磁场，以延长自由电子路径来维持所述等离子体。屏蔽件与所述绝缘体电隔离并且将所述绝缘体屏蔽以免受所述等离子体的电子的影响。所述屏蔽件可以安装至所述阴极并且围绕所述阳极并与所述阳极隔开。电控制器在所述阳极与所述阴极之间施加电压以在所述阳极与所述阴极之间利用等离子体放电产生电离，所述控制器基于测得的流向所述阴极的离子电流来确定压力。
用于倒置磁控管冷阴极电离阳极电极屏蔽

[发明专利]用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法-CN201980011115.1有效
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊;G·希尔 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：用于流体的脉冲输送的流体控制系统和输送流体脉冲的方法。提供了一种对流体进行脉冲输送的流体控制系统，该系统包括：流道、发起和终止来自流道的流体脉冲的隔离阀以及脉冲质量流量控制器(MFC)。该MFC包括：对流道中的流体流量进行控制的控制阀、对流道中的流量进行测量的流量传感器以及控制器，该控制器对通过控制阀的流体流量和隔离阀的开关进行控制，以对流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。可以基于在由隔离阀发起和终止的脉冲期间来自流量传感器的反馈，对通过控制阀的流体流量进行控制。
用于流体脉冲输送控制系统方法

[发明专利]输送精确RF电压的谐振传输线路-CN201980075140.6在审
发明人： W·R·弗莱彻 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01J49/02 文献下载
摘要：一种从第一子系统向第二子系统传送时变电压信号并对时变电压信号进行监测和控制的系统，该系统包括具有第一端和第二端的传输线路，传输线路从第一子系统处的所述第一端延伸至第二子系统处的所述第二端。传输线路被配置为无端接的，并且具有大致等于时变电压信号的一半波长的多倍的电气长度。该系统还可以包括：自适应控制部，该自适应控制部被配置成将时变电压信号联接至所述第一端，并且基于对第一端处的时变电压信号的采样来调节时变电压信号的发生器；以及处于第二子系统处的至少一个变压器，所述至少一个变压器被电联接至所述第二端并且被配置成增加时变电压信号的幅度。
输送精确 rf 电压谐振传输线路

[发明专利]利用外部压力触发进行脉冲气体输送的方法和设备-CN201980058333.0在审
发明人： M·勒巴塞伊;M·J·夸拉提洛;丁军华 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种用于流体的脉冲输送的流体控制系统以及关联方法，包括截止阀以及位于该截止阀上游的质量流量控制器(MFC)。该MFC包括：流道、对流道中的流体流量进行控制的控制阀、对流道中的流率进行测量的流量传感器，以及控制器，该控制器具有来自截止阀的指示该截止阀的打开的阀输入。该控制器被配置成，响应于阀输入来对通过控制阀的流体流量进行控制，以发起和终止从流道到截止阀的流体脉冲，从而对流体脉冲期间输送的流体质量进行控制。该阀输入可以是压力信号，并且该MFC可以包括对压力信号进行感测的压力传感器。
利用外部压力触发进行脉冲气体输送方法设备

[发明专利]用于多通道质量流量和比率控制系统的方法和装置-CN201980030414.X在审
发明人：丁军华;M·勒巴塞伊;W·科勒 -专利权人： 万机仪器公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G05D11/13 文献下载
摘要：提供了流体控制系统以及用于流体控制的对应方法，该流体控制系统包括质量流量控制系统、质量流量比率控制系统以及质量流量和比率控制系统。这些系统允许一个共享的压力传感器被用于多个流道，以及控制器，该控制器可以基于由该共享的压力传感器检测到的流体压力来准确地确定质量流量。
用于通道质量流量比率控制系统方法装置

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