[发明专利]一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置在审
| 申请号： | 201910470430.2 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110132484A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李娜;冯伟群;胡冬冬;程实然;陈兆超;侯永刚;王铖熠;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上。所述保护装置包括设置在反应腔体内的遮挡通气接口的阻隔板；所述阻隔板贴近通气接口处的反应腔体内壁，所述通气接口沿其中轴线投影至阻隔板上的投影面位于阻隔板的遮挡面范围内。所述保护装置还包括驱动阻隔板远离或靠近通气接口的推拉机构。本发明通过贴近遮挡通气接口的阻隔板，有效阻隔金属颗粒和离子束；通过推拉机构驱动阻隔板远离或靠近通气接口，防止杂质堵塞阻隔板与反应腔体内壁的间隙，在满足通气要求下保持合适间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 通气接口 阻隔板 保护装置 真空测量 离子束刻蚀系统 反应腔 反应腔体 推拉机构 体内 遮挡 驱动 测量反应 合适间隙 金属颗粒 杂质堵塞 离子束 投影面 遮挡面 中轴线 腔体 投影 通气 阻隔 | ||
【主权项】：
1.一种离子束刻蚀系统的真空测量工具的保护装置，所述离子束刻蚀系统包括反应腔体和用于测量反应腔体的内部真空度真空测量工具，所述反应腔体壁上设置有通气接口，所述真空测量工具连接在通气接口上，其特征在于：所述保护装置包括设置在反应腔体内的遮挡通气接口的阻隔板；所述阻隔板贴近通气接口处的反应腔体内壁，所述通气接口沿其中轴线投影至阻隔板上的投影面位于阻隔板的遮挡面范围内。
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- 一种便携式高压真空开关真空度测试仪，其特征在于包括：励磁线圈，励磁线圈是一种排线式的空心圆柱线圈，各根导线之间串联连接，线圈两端通过并口相接，励磁线圈缠绕在真空灭弧室中部，通过电容对励磁线圈放电；测控系统，用于控制脉冲磁场和脉冲电场的产生，以及离子电流的测量、转换和显示；锂离子电源系统，用于提供220V/50Hz的正弦波交流电和24V的直流电。本实用新型提高了不拆卸真空灭弧室的真空度测量的灵敏度和产生高压电场和磁场的效率；提高了测试仪的测量精度；对数据存储器中的离子电流-真空度曲线采用分段线性化处理，从而保证在不同离子电流数量级下，对应的真空度值更加精确。
- 一种反磁控冷阴极脉冲放电真空开关真空度在线监测装置-200920088938.8
- 毛慧勇;王毅;张丹;张茂 - 河南省泓钻科技发展有限公司
- 2009-03-19 - 2010-09-01 - G01L21/30
- 一种反磁控冷阴极脉冲放电真空开关真空度在线监测装置，其包括放电规管、真空度传感单元、数据接收单元，其中，放电规管放电空间通过真空开关对应真空灭弧室静导电杆内的排气管连通相应真空灭弧室内腔；真空度传感单元包括微处理器、脉冲高压发生电路、信号处理电路和通讯接口电路，脉冲高压发生电路的高压脉冲输出端两端子分别用于连接真空开关中各真空灭弧室静导电杆相应放电规管的阳极、阴极，信号处理电路的信号输入端用于接收放电规管放电电流，信号处理电路的信号输出端连接所述微处理器的信号输入端，微处理器的信号输出端分别对应连接脉冲高压发生电路的信号输入端，通讯接口电路输入端，通讯接口电路输出端与数据接收单元相连。
- 一种高压击穿型真空度测量装置-200920252935.3
- 刘保龙;程斌;李福腾;王兵;刘东;李龙;莫才勇 - 刘保龙
- 2009-11-13 - 2010-08-11 - G01L21/30
- 本实用新型涉及一种高压击穿型真空度测量装置，它设有电压可变的高压电源，高压电压表接在电压可变的高压电源两端，同时电压可变的高压电源的一端接针形电极，另一端接圆盘形电极。当测量某一密闭空间内的真空度时，将两间距固定的电极放置其中，调节电压使针形电极尖端放电，测出放电电压，通过计算即可得所测空间真空度。
- 便携式高压真空开关真空度测试仪-201010109628.7
- 梁义明;王东珏;石一;邵涛;严萍;黄涛 - 吉林省电力有限公司电力科学研究院;中国科学院电工研究所;吉林省电力科学研究院有限公司
- 2010-02-06 - 2010-07-14 - G01L21/30
- 一种便携式高压真空开关真空度测试仪，其特征在于包括：励磁线圈，励磁线圈是一种排线式的空心圆柱线圈，各根导线之间串联连接，线圈两端通过并口相接，励磁线圈缠绕在真空灭弧室中部，通过电容对励磁线圈放电；测控系统，用于控制脉冲磁场和脉冲电场的产生，以及离子电流的测量、转换和显示；锂离子电源系统，用于提供220V/50Hz的正弦波交流电和24V的直流电。本发明提高了不拆卸真空灭弧室的真空度测量的灵敏度和产生高压电场和磁场的效率；提高了测试仪的测量精度；对数据存储器中的离子电流-真空度曲线采用分段线性化处理，从而保证在不同离子电流数量级下，对应的真空度值更加精确。
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