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[发明专利]一种磁流体轴-CN202210417198.8在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F16C35/12 文献下载
摘要：本发明公开一种磁流体轴，包括内轴和外轴，所述外轴外套安装于所述内轴，且所述外轴和所述内轴之间设置有若干沿轴向间隔设置的轴承，至少两个相邻的所述轴承之间填充有磁流体，所述外轴和所述内轴中的至少一者设置有冷却通道，用于通入冷却介质。采用这种方案，在需要进行冷却时，可以向该冷却通道内通入冷却介质，以降低磁流体轴的温度，从而可以保证磁流体轴在高温环境中的使用性能和寿命，使得该磁流体轴可以在离子束蚀刻和离子束沉积这两种不同的工艺中使用，能够大幅提高该磁流体轴的适用性。
一种流体

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417216.2在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：与大气环境相连通的壳体组件，所述壳体组件包括支撑板；旋转台组件，用于支撑晶圆；磁流体轴，包括内轴和外轴，所述内轴和外轴之间设置有磁流体，所述外轴密封装配于所述支撑板，所述内轴具有伸入所述壳体组件内的第一端部和伸出所述壳体组件外的第二端部，所述第二端部与所述旋转台组件相连；驱动组件，位于所述壳体组件内，所述驱动组件具有驱动轴，所述驱动轴与所述内轴平行设置，且所述驱动轴与所述第一端部传动连接。上述晶圆载台装置可以方便装配和维护，且具备较高的集成度，体积可以较小，占用空间可以较少。
一种晶圆载台装置

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210415919.1在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：与大气环境相连通的壳体组件，包括支撑板；旋转台组件，包括支撑台和压接部，压接部用于将晶圆压紧于支撑台；第一磁流体轴，包括转动密封的第一内轴和第一外轴，第一外轴密封装配于支撑板，第一内轴具有伸入壳体组件内的第一端部和伸出壳体组件外的第二端部，第二端部与旋转台组件相连；升降组件，升降组件包括主体部分和升降体，主体部分位于壳体组件内，升降体与支撑板或者第一外轴滑动密封，且升降体能够与压接部相作用；遮挡组件，包括挡板，挡板被配置为可转动地装配于支撑板，以在转动至与旋转台组件相对的第一工位和与旋转台组件相错开的第二工位之间进行切换。
一种晶圆载台装置

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417221.3在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：旋转台组件，包括支撑台和压接部，所述支撑台用于支撑晶圆，所述压接部用于压紧所述晶圆；磁流体轴，包括内轴和外轴，所述内轴和外轴之间设置有磁流体，所述内轴包括端部件和筒状件，二者围合形成容纳空间；升降组件，包括主体部分和升降体，所述主体部分位于所述容纳空间，所述升降体可滑动地密封装配于所述端部件，所述升降体与所述压接部相作用。上述晶圆载台装置可以更为充分地对内轴的内部空间进行利用，以提高设备的结构紧凑性和集成度，能够有效地缩减晶圆载台装置的占用空间，以便于安装。
一种晶圆载台装置

[实用新型]一种传感器限位调节装置、观察窗装置-CN202220538620.0有效
发明人：郭强;刘海洋;郭颂;李百顺;张霄;王铖熠;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01D11/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种传感器限位调节装置、观察窗装置，所述传感器限位调节装置包括传感器安装板、横向调节板、横向调节机构、垂向调节板、垂向调节机构、调节弯板、法向角度调节机构、切向角度调节机构和调节板；调节板沿横向设置，其一端通过传感器安装板与传感器连接，另一端通过切向角度调节机构连接在调节弯板其中一个端部的上表面；调节弯板远离调节板的端部沿垂向设置，通过法向角度调节机构连接在垂向调节板的上表面；垂向调节板通过垂向调节机构安装在横向调节板的上表面上，沿横向调节板垂向移动；横向调节板通过横向调节机构安装在观察窗的上表面上，沿观察窗横向移动。本实用新型能够实现横向、垂向调节和角度调节，结构简洁，调节精度高，幅度范围广。
一种传感器限位调节装置观察窗

[实用新型]一种腔盖开合辅助结构-CN202222162393.9有效
发明人：郭颂;刘磊;陈龙保;刘海洋;王铖熠;王海东;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种腔盖开合辅助结构，包括：腔室和腔盖；腔盖位于腔室上方，两者通过铰链固定连接，且腔盖可以该铰链为固定点旋转实现腔盖在腔室上的开合。腔室与腔盖之间两侧和固定端均设有开盖气弹簧，开盖气弹簧包括缸体和活塞杆，活塞杆可在缸体中伸缩，向腔盖提供作用力。本实用新型在将腔盖打开的全程所有位置，操作者只需要施加较小的作用力即可实施，开盖或者合盖用力符合安全要求，克服了现有技术中半导体设备的腔盖的难以开合的问题。
一种腔盖开合辅助结构

[实用新型]晶圆载台挡板结构-CN202223494984.2有效
发明人：桑康;陈龙保;程实然;耿斌;高强;王铖熠;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆载台挡板结构，包括晶圆载台基板、晶圆载台、电极挡板机构，电极挡板机构包括驱动机构以及挡板；驱动机构的动力输出端通过连杆滑槽机构与挡板连接块连接，且挡板通过挡板连接块与升降导向机构的上端连接，挡板连接块相对于升降导向机构的上端可旋转设置；挡板连接块在驱动机构的动力驱动下，通过升降导向机构、连杆滑槽机构的协同作用，带动挡板相对于升降导向机构张开并下沉直至挡板处于预设位置或者上升并合拢直至覆盖在晶圆载台上。由此可见，本实用新型相比于其它挡板结构，减小了整个晶圆载台整体结构的占地空间，从而降低了整个腔室的制造成本，使用升降气缸结构成本低，结构简单稳定可靠。
晶圆载台挡板结构

[发明专利]一种电感耦合线圈、射频提供装置、射频控制方法、设备-CN202111556207.3在审
发明人：刘海洋;刘小波;陈帅;郭颂;王铖熠;张霄;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01J37/305 文献下载
摘要：本发明提供一种电感耦合线圈、射频提供装置、射频控制方法、等离子体处理设备，电感耦合线圈包括内线圈、中线圈、外线圈和第一可调电容，中线圈包围内线圈设置，外线圈包围中线圈设置，内线圈和中线圈串联在第一通路中，第一通路的第一端用于连接射频功率源，第二端用于连接接地端，外线圈位于第二通路中，第二通路的第一端用于连接射频功率源，第二端用于连接接地端，即内线圈和中线圈串联后与外线圈并联，中线圈和第一可调电容并联，这样中线圈的功率得到降低，降低内线圈和外线圈之间的区域的刻蚀速率，提高晶圆刻蚀的均匀性。
一种电感耦合线圈射频提供装置控制方法设备

[发明专利]一种等离子刻蚀机的介质窗控速匀温装置及其方法-CN202111006085.0在审
发明人：刘海洋;郭颂;刘小波;张瑶瑶;王铖熠;张霄;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明属于半导体芯片生产技术领域，具体涉及一种等离子刻蚀机的介质窗控速匀温装置及其方法，该装置包括正装散热风扇、斜装散热风扇以及斜装散热风扇屏蔽罩，正装散热风扇与斜装散热风扇围绕介质窗中垂线在屏蔽罩内顶壁上均匀间隔开交叉布置；正装散热风扇的出风面均竖直向下朝向加热器；正装散热风扇出风面所在平面始终与介质窗所在平面平行；每个斜装散热风扇的出风面均朝向加热器中心区域；斜装散热风扇底面所在平面始终与介质窗所在平面相交；斜装散热风扇屏蔽罩底面与介质窗中垂线之间夹角小于90°；正装散热风扇和斜装散热风扇的风速分别独立进行控制。该方法对正装散热风扇和斜装散热风扇转速进行调节，实现介质窗温度的均一性。
一种等离子刻蚀介质窗控速匀温装置及其方法

[发明专利]一种磁流体密封轴-CN202110939002.7在审
发明人：高强;王铖熠;张怀东;胡冬冬;程实然;刘海洋;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： F16J15/43 文献下载
摘要：本发明公开一种磁流体密封轴，包括轴套和轴体，所述轴体安装于所述轴套，且所述轴体能够相对所述轴套进行转动，所述轴体与所述轴套之间设置有磁流体进行密封；还包括伸缩部件，所述伸缩部件包括伸缩轴，所述伸缩轴内置于所述轴体，并能够相对所述轴体进行伸出或者缩回。伸缩轴和轴体相互独立，轴体用于和轴套相配合以实现旋转密封，而伸缩轴则用于输出直线位移，使得轴体可以不参与直线位移的输出，这样，轴体与轴套之间的旋转密封不至于受到影响，而伸缩轴的引入则可以补充完善常规磁流体密封轴无法输出直线位移的缺陷；同时，伸缩轴采用内置于轴体的设计，可以避免对磁流体密封轴外部空间的占用，能够缩减设备的体积，并可提高设备的集成度。
一种流体密封

[发明专利]一种快捷方便的断裂顶针回收装置-CN201911299497.0有效
发明人：李娜;张军;程实然;侯永刚;刘海洋;王铖熠;吴志浩;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及一种快捷方便的断裂顶针回收装置，包括进行化学气相沉积的腔室，腔室中部设有加热台，机械手从腔室侧壁上的宽槽孔进入将晶圆送达加热台正上方，通过顶针机构中的顶针将晶圆放置在加热台上，腔室底部设有抽气腔，抽气腔通过抽气管道连接有真空泵，还包括阻挡片、疏通装置以及储存装置，其中：阻挡片呈环形，套设在加热台上，疏通装置设于加热台上，储存装置设置于腔室底部，阻挡片环形结构上落有碎顶针，疏通装置将碎顶针疏通至储存装置中；本发明通过真空泵工作后，碎顶针掉落在阻挡片上，疏通装置底部连接通入纯净的气体，将碎顶针吹落入储蓄装置中，只需将储存装置底部拆卸即可取出碎顶针，该方法无需拆卸抽气泵和加热台，操作极其便利。
一种快捷方便断裂顶针回收装置

[发明专利]一种等离子刻蚀机的激励射频系统-CN202110697971.6在审
发明人：刘海洋;刘小波;孙宏博;郭颂;王铖熠;张霄;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明属于半导体芯片生产设备技术领域，尤其是一种等离子刻蚀机的激励射频系统，等离子刻蚀机包括等离子反应腔，激励射频系统包括：介质窗，所述介质窗被构造成所述等离子反应腔的顶壁；射频线圈，所述射频线圈设在所述介质窗的上方；加热元件，所述加热元件贴合在所述介质窗的上表面且与所述介质窗直接接触，加热元件位于所述射频线圈和所述介质窗之间；匀温层，所述匀温层铺设在所述加热元件的上方且与所述加热元件直接接触。本发明可对介质窗及进气嘴底面进行彻底清洗，轰击副产物经底部抽气泵组抽走，本发明加热速率高、占用空间小，而且匀温效果好，可以避免加热板与介质窗之间因气泡的产生而损坏的情况。
一种等离子刻蚀激励射频系统

[发明专利]一种配置清洗设备的离子源刻蚀腔室及离子束清洗方法-CN201910875495.5有效
发明人：胡冬冬;李娜;程实然;侯永刚;王铖熠;刘海洋;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种配置清洗设备的离子源刻蚀腔室及离子束清洗方法，属于半导体器件及芯片等的制造设备领域。该刻蚀腔室由反应腔及离子源固定腔组成；反应腔与离子源固定腔相互连通；反应腔内的中心处设有摇摆电极，离子源固定腔内设有离子源；反应腔与离子源固定腔的连通处之间设有挡板；挡板通过外部驱动旋转从而移动至离子源的发射束端；反应腔的底部与分子真空泵相互连通；所述的反应腔上设有若干个离子束发生器；离子束发生器外部充气装置及控制相连；通过离子束对刻蚀腔室内进行污染物清洗。本发明提供的配置清洗设备的离子源刻蚀腔室及离子束清洗方法，可清洗刻蚀腔室内所残留的污染物，保证了蚀刻腔室的清洁。
一种配置清洗设备离子源刻蚀离子束方法

[发明专利]采用远程等离子体源自清洗离子束刻蚀装置及清洗方法-CN201910875813.8有效
发明人：李娜;胡冬冬;程实然;侯永刚;王铖熠;刘海洋;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及其采用远程等离子体源自清洗离子束刻蚀装置及清洗方法，属于半导体设备领域。采用远程等离子体源自清洗离子束刻蚀装置，该刻蚀腔室的反应腔与离子源固定腔相互连通；离子源固定腔内设有离子源；反应腔的底部与分子真空泵相互连通；远程等离子体源布置于所离子源固定腔上，其远程等离子体源的输出端伸入离子源内；远程等离子体源或布置于反应腔外侧，远程等离子体源的输出端伸入反应腔内；或远程等离子体源同时布置于离子源固定腔上与反应腔上。本发明提供通过绝缘筒内部形成稳定的电磁场，清洗气体在电磁场作用下被电离，形成活性气体原子，活性气体原子沿着路径进入反应腔室内部并且迅速蔓延，带走所有暴露的碳基颗粒及其他污染物，从而实现清洗效果。
采用远程等离子体源自清洗离子束刻蚀装置方法

[实用新型]用于传输晶圆的机械手传动装置和传输装置-CN202220117233.X有效
发明人：桑康;王铖熠;郭颂;高强;刘海洋;张怀东;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于传输晶圆的机械手传动装置，所述传动装置包括：固定轨道；滑动件，所述滑动件连接在所述固定轨道上且可沿所述固定轨道的延伸方向来回滑动；机械手臂，所述机械手臂的一端通过连接固定座和所述滑动件固定相连，所述机械手臂的另一端形成为“匚”字形，且所述另一端的开口端远离所述连接固定座设置，用于支撑放置所述晶圆；齿条和第一齿轮，所述第一齿轮位于所述连接固定座的一侧，在所述连接固定座的朝向所述第一齿轮的一侧设有所述齿条，所述第一齿轮和所述齿条啮合传动以带动所述齿条移动。根据本实用新型的用于传输晶圆的机械手传动装置，通过传送晶圆的机械手和齿轮传动相结合，可以简化结构，运动传输更加稳定可靠。
用于传输机械手传动装置

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