[发明专利]一种能够降低应力的压电薄膜生产工艺在审
| 申请号： | 202211003676.7 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115347112A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 管建国;张成鹏 | 申请（专利权）人： | 三三智能科技（日照）有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/253 | 分类号： | H01L41/253;H01L41/257;H01L41/333;H01L41/45 |
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| 地址： | 276800 山东省日照*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够降低应力的压电薄膜生产工艺，具体涉及压电薄膜技术领域，本发明在生产压电薄膜的过程中对基膜进行预热，分子活化性增加，拉伸过程倍率为5倍，拉伸倍率较大，使压电薄膜表面组织分布更加均匀，分布均匀的组织，使整体的应力分布较为均衡，且采用双向拉伸，纵向拉伸过程随着拉伸进行，压电薄膜内部晶粒尺寸不断增大，排列更加有序，随着拉伸进行结晶度增加，晶粒尺寸无明显变化，使压电薄膜内部结晶情况更为充分均匀，降低应力产生，不易由于应力不均衡导致压电薄膜出现裂痕或不平整状态，且在拉伸过程中在拉伸结束后，对基膜保持拉力定型，后续升温退火过程中可进一步消除残余应力，使压电薄膜的性能更为理想。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 降低 应力 压电 薄膜 生产工艺 | ||
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