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[发明专利]一种异质结构薄膜衬底的制备方法-CN202011334127.9有效
发明人：黄凯;欧欣;赵晓蒙 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H10N30/072 文献下载
摘要：本发明涉及半导体材料制备领域，本发明公开了一种异质结构薄膜衬底的制备方法。该制备方法的具体步骤如下：提供临时键合连接的第一压电衬底和第二压电衬底，该第一压电衬底设于该第二压电衬底上；向该第一压电衬底进行离子注入，经过离子注入后的第一压电衬底与支撑衬底键合，得到异质结构衬底；对该异质结构衬底进行解键合、退火、剥离转移和后处理，得到异质结构薄膜衬底。本发明提供的异质结构薄膜衬底的制备方法具有降低离子注入后的压电衬底的形变和异质键合结构退火热应力的特点。
一种结构薄膜衬底制备方法

[外观设计]摇椅玩具-CN202230753105.X有效
发明人： 赵晓蒙 -专利权人： 赵晓蒙
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： 21-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：摇椅玩具。2.本外观设计产品的用途：用于儿童摇椅上的玩具。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
摇椅玩具

[发明专利]一种带底电极的硅基钽酸锂单晶薄膜衬底及其制备方法和应用-CN201911081884.7有效
发明人：欧欣;鄢有泉;黄凯;赵晓蒙;李忠旭;陈阳;游天桂 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H01L21/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种带底电极的硅基钽酸锂单晶薄膜衬底及其制备方法和应用。本发明通过采用一不带底电极的硅基钽酸锂单晶薄膜衬底，包含硅支撑层和钽酸锂单晶薄膜层，其中硅支撑层预先经离子注入处理；先在该衬底薄膜层表面生长一金属层，然后将该金属层与表面沉积金属的氧化硅衬底的金属层键合，其中氧化硅衬底的金属层在氧化硅层表面；最后经过硅的离子剥离及后续抛光，间接地将钽酸锂单晶薄膜和金属层转移至氧化硅衬底上，从而形成带底电极的硅基钽酸锂单晶薄膜衬底。本发明避免了直接剥离钽酸锂并转移其薄膜和金属层至沉积了金属的氧化硅衬底表面的热失配风险，该方法可为高响应度的钽酸锂热释电红外探测器的制备提供厚度定制化的薄膜衬底。
一种电极硅基钽酸锂单晶薄膜衬底及其制备方法应用

[发明专利]一种电力运维检修工具检测架-CN201911168776.3有效
发明人：王文强;殷炳双;王洪礼;商振;刘玉倩;赵晓蒙;李任洁;刘云飞;冯志朋;戚振飞 -专利权人：国网山东省电力公司滨州市沾化区供电公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明涉及电力检修技术领域，尤其是一种电力运维检修工具检测架，包括基架，所述基架上间隔设有两个安装框，两个安装框之间通过调距机构连接，所述安装框的底部固定有导电板，所述安装框的顶部间隔设有多个检测机构，所述检测机构包括底板，所述底板的底部垂直连接有压杆，所述压杆穿过安装框顶部开设的插孔且端部连接有导电片，所述压杆与插孔的内壁滑动配合，所述导电片位于导电板的上方，所述导电片与安装框顶部之间的压杆上固定有限位板，所述底板与安装框之间的压杆上套装有第一弹簧，所述底板的上部设有夹持机构。本发明能够方便对检修工具进行快速检测，且安全性能好。
一种电力检修工具检测

[发明专利]一种提高离子束剥离薄膜厚度均匀性的方法-CN202010553378.X有效
发明人：黄凯;欧欣;赵晓蒙;李忠旭;陈阳 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L41/332 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高离子束剥离薄膜厚度均匀性的方法，包括：采用离子溅射的方法进行薄膜减薄，离子减薄后采用化学机械抛光工艺降低薄膜粗糙度。本发明的方法成功改善了薄膜厚度均匀性，且没有在薄膜表面额外引入缺陷层，在提高晶圆内不同区域间的器件性能一致性的同时不引起器件性能恶化，具有良好的应用前景。
一种提高离子束剥离薄膜厚度均匀方法

[发明专利]一种基于离子束增强腐蚀的压电晶圆表面处理方法-CN202010553381.1有效
发明人：黄凯;欧欣;赵晓蒙;李忠旭;陈阳 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L41/332 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于离子束增强腐蚀的压电晶圆表面处理方法，包括：首先在压电薄膜内注入He离子，在压电薄膜近表面形成缺陷层；然后利用Ar离子轰击晶圆表面，形成光滑表面；再利用Kr离子轰击晶圆表面，使得缺陷层转变为非晶层；最后利用酸性腐蚀液腐蚀，去除形成的非晶层，得到具有低表面粗糙度的薄膜表面。本发明有效降低了压电薄膜表面粗糙度，降低了表面粗糙度引起的声波损耗和光学损耗，方法简单、成本低，具有良好的应用前景。
一种基于离子束增强腐蚀压电表面处理方法

[发明专利]一种压电薄膜高温极化方法-CN202010553392.X有效
发明人：黄凯;欧欣;赵晓蒙;李忠旭;陈阳 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L41/257 文献下载
摘要：本发明涉及一种压电薄膜高温极化方法，包括：制备压电薄膜、热致相变材料与支撑衬底的复合结构；然后对复合结构进行高温退火，再以热致相变材料作为底电极，在压电薄膜上施加极化电场；最后对极化后的压电薄膜进行表面处理。本发明通过引入相变材料，一方面，相变材料在退火温度下金属化，作为底电极施加极化电压，可以提高压电薄膜的极化一致性；另一方面，相变材料在器件工作温度下绝缘化，可以作为高阻隔离层提升压电器件的射频性能。
一种压电薄膜高温极化方法

[发明专利]一种多个低压台区运行状态监控系统-CN202111241805.1在审
发明人：王文强;高波;陈冉;王猛;孙寅昕;党守正;彭国静;赵晓蒙;路雪鹏;魏吉筠 -专利权人：国网山东省电力公司滨州市沾化区供电公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H04L9/40 文献下载
摘要：本发明提供一种多个低压台区运行状态监控系统，包括：多个为用电户供电的低压供电台区、台区间中转服务器和台区总监控服务器；台区电力处理器用于获取台区内部电力设备的运行信息；台区间中转服务器将运行信息进行暂存，并确定运行信息完整之后，发送给台区总监控服务器；台区总监控服务器将接收的运行信息与预设阈值进行比对；台区总监控服务器还接收用户输入的设备控制指令，将设备控制指令发送给台区间中转服务器；通过台区间中转服务器对通信过程数据进行中转和储存，避免了数据通信过程的数据丢失，实现了通信数据的完整性。台区间中转服务器也降低了台区总监控服务器对数据通信过程的处理量，提高了系统的数据处理能力。
一种多个低压台运行状态监控系统

[发明专利]一种配电线路用漏电指示系统-CN202111256613.8在审
发明人：王文强;王建国;刘迪;陈冉;孙寅昕;党守正;彭国静;赵晓蒙;翟庆龙;张新宇 -专利权人：国网山东省电力公司滨州市沾化区供电公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01R31/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种配电线路用漏电指示系统，属于漏电检测技术领域，包括漏电检测模块、漏电隔离模块、信号调理模块、数据处理模块、控制模块、指示模块、报警模块和用于为整个系统供电的电源模块，漏电检测模块与漏电隔离模块、信号调理模块顺序连接，信号调理模块通过数据处理模块与控制模块连接，指示模块和报警模块均连接到控制模块。本发明通过设置漏电检测模块自动采集配电线路上的实时零序电流，当所检测到的零序电流值大于预存的零序电流参考值时，微处理器将会控制报警模块进行报警，以及控制指示模块显示出异常零序电流值所对应的数据采集单元的位置信息，并将该位置信息以及异常的零序电流值记录到存储单元中，以便后期查阅。
一种配电线路漏电指示系统

[发明专利]高频声波谐振器及其制备方法-CN201910876649.2有效
发明人：欧欣;周鸿燕;张师斌;李忠旭;黄凯;赵晓蒙 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H03H3/10 文献下载
摘要：本发明提供一种基于极低声阻部件的高频声波谐振器及其制备方法，高频声波谐振器的制备方法包括如下步骤：1)制备极低声阻部件；2)于所述极低声阻部件的上表面上形成压电膜；3)于所述压电膜的上表面形成图案化上电极。本发明的高频声波谐振器及其制备方法，通过在压电膜下设置极低声阻部件，增大压电膜与其下方的极低声阻部件的阻抗差，可有效激发高声速弹性波(如S0波)，在加强对其界面反射的同时并将其机械能有效约束在压电膜中，从而在提高声表面波谐振器频率的同时，使其保持较高的Q值；避免了高频声表面波谐振器所激发的高声速弹性波大量向衬底泄露而导致的器件性能严重退化的问题的发生。
高频声波谐振器及其制备方法

[实用新型]一种儿童保健护理专用恒温热奶瓶设备-CN202120405797.9有效
发明人： 赵晓蒙 -专利权人： 赵晓蒙
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： A61J9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种儿童保健护理专用恒温热奶瓶设备，包括底座、固定块和水箱，所述底座的顶端面焊接有支撑架，且支撑架的顶端面固定安装有面板，所述面板的顶端面焊接有固定块，且固定块的内壁开设有第一凹槽，所述第一凹槽的内壁底端面安装有压力传感器，且第一凹槽的两端贴合安装有第一电热丝，所述面板的顶端面嵌入固定有水箱，且水箱的内壁安装有第二电热丝，所述面板的顶端面安装有壳体，且壳体内开设有第二凹槽，所述底座的顶端面安装有外壳，所述外壳的后端面嵌入固定有固定管，水箱的侧端面嵌入固定有出水管，且出水管和固定管上均安装有阀门。本实用新型具备操作便捷，后期维护方便快捷和实用性更佳的优点。
一种儿童保健护理专用恒温奶瓶设备

[发明专利]一种提高单晶压电薄膜厚度均匀性的方法-CN202010603630.3有效
发明人：欧欣;李忠旭;黄凯;赵晓蒙;李文琴;鄢有泉;陈阳 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L41/257 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高单晶压电薄膜厚度均匀性的方法，属于半导体制造技术领域。本发明的提高单晶压电薄膜厚度均匀性的方法，根据支撑衬底上的单晶压电薄膜的厚度分布进行极化处理，在第一厚度区形成第一极化面，在厚度比该第一厚度区薄的第二厚度区形成第二极化面，第一极化面与第二极化面的极性相反，利用压电单晶材料的各向异性特性，在相同的腐蚀液下，对厚度较厚区域的极化得到的第一极化面实现较快的腐蚀速率，对厚度较薄区域极化得到的第二极化面实现较慢的腐蚀速率，从而实现单晶压电薄膜不同极化面的差异化腐蚀。相对于现有技术，本发明可以实现对单晶压电薄膜厚度均匀性的优化，大大提高了单晶压电薄膜厚度的均匀性。
一种提高压电薄膜厚度均匀方法

[发明专利]一种高频可调节磁场探测器的制备方法-CN202010661706.8有效
发明人：欧欣;伊艾伦;黄凯;赵晓蒙;张师斌 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01R33/00 文献下载
摘要：本发明涉及磁场探测技术领域，本发明公开了一种高频可调节磁场探测器的制备方法。该探测器的制备方法具体如下，通过对具有二氧化硅介质层的碳化硅薄膜衬底进行图形化，进而得到待键合碳化硅薄膜衬底，并将该待键合碳化硅薄膜衬底与压电薄膜衬底进行键合，对键合后的薄膜衬底进行退火剥离，得到碳化硅‑压电薄膜结构，再通过刻蚀掉该碳化硅‑压电薄膜内部的部分二氧化硅介质层，之后通过制备叉指电极、低温快退火等工序，得到该磁场探测器。本申请提供的磁场探测器具有频率高和灵敏度高的特点。
一种高频调节磁场探测器制备方法

[发明专利]一种POI衬底、高频声波谐振器及其制备方法-CN202010661703.4有效
发明人：欧欣;伊艾伦;黄凯;赵晓蒙;张师斌 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请提供一种POI衬底、高频声波谐振器及其制备方法，该POI衬底的制备方法包括以下步骤：获取重掺杂SiC衬底和压电衬底；对重掺杂SiC衬底进行多次H离子注入，在重掺杂SiC衬底中形成富H层，获得含富H层的重掺杂SiC衬底；其中，每次注入H离子的能量不同；对含富H层的重掺杂SiC衬底进行退火处理；对压电衬底进行离子注入，在压电衬底的设定深度位置形成缺陷层，获得含缺陷层的压电衬底；将含富H层的重掺杂SiC衬底的注入面和含缺陷层的压电衬底的注入面进行键合，获得键合结构；对键合结构进行退火剥离处理，使得含缺陷层的压电衬底部分被剥离，形成含压电薄膜的键合结构；对含压电薄膜的键合结构进行后退火处理及对压电薄膜进行表面处理。
一种 poi 衬底高频声波谐振器及其制备方法

[发明专利]一种热释电红外探测器的制备方法及热释电红外探测器-CN202010603835.1有效
发明人：欧欣;李忠旭;黄凯;赵晓蒙;李文琴;鄢有泉;陈阳 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： H01L37/02 文献下载
摘要：本申请提供一种热释电红外探测器的制备方法，包括：提供热释电衬底和支撑衬底；对热释电衬底进行第一预处理，在热释电衬底内构造损伤层，在热释电衬底表面形成第一电极；对支撑衬底进行第二预处理，在支撑衬底上形成锚点；将热释电衬底和支撑衬底进行键合，形成第一电极分别位于对应的锚点内的键合整体；将热释电衬底自损伤层处剥离，保留位于支撑衬底上的热释电薄膜；在热释电薄膜上沉积第二金属层并图形化处理形成第二电极；对形成有第二电极的键合整体进行封装处理，得到热释电红外探测器；本申请提供的制备方法简单，无需增加临时键合过渡层等材料；且热释电衬底与支撑衬底之间键合连接稳固；并且还能够提高热释电红外探测器的响应率。
一种热释电红外探测器制备方法

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