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[发明专利]一种基于双层铌酸锂薄膜的光子线脊波导倍频芯片及其制备方法-CN202110775577.X有效
发明人：王磊;张秀全;陈峰;胡卉 -专利权人：山东大学
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02F1/377 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于双层铌酸锂薄膜的光子线脊波导倍频芯片及其制备方法。所述基于双层铌酸锂薄膜的光子线脊波导倍频芯片包括由顶层铌酸锂薄膜，中层二氧化硅、下层硅基衬底组成的复合结构，其特征在于，所述铌酸锂薄膜为双层铌酸锂薄膜结构，双层铌酸锂薄膜中的上层铌酸锂薄膜与下层铌酸锂薄膜的自发极化方向相反，铌酸锂薄膜呈脊波导结构。本发明提供的基于双层铌酸锂薄膜的光子线脊波导倍频芯片具有双层铌酸锂薄膜结构，上下两层铌酸锂薄膜的自发极化方向相反，消除了倍频光的高阶模上下两个旁瓣在模式重叠积分中相互抵消的效应，从而大大提高了模式相位匹配过程的转换效率。
一种基于双层铌酸锂薄膜光子波导倍频芯片及其制备方法

[发明专利]微米级单晶薄膜-CN201810890775.9有效
发明人：张秀全;朱厚彬;胡文;罗具廷;胡卉;李洋洋 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C30B33/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种微米级单晶薄膜。所述微米级单晶薄膜包括：衬底层；以及微米单晶薄膜层，位于衬底层上，其中，在衬底层与微米单晶薄膜层之间可以包括过渡层，所述过渡层可以包括与衬底层相邻设置的第一过渡层以及与微米单晶薄膜层相邻设置的第二过渡层，其中，过渡层可以包括H以及在对衬底层和微米单晶薄膜层进行等离子体键合时使用的至少一种等离子体气体的元素。
微米级单晶薄膜

[发明专利]一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法-CN202310759385.9在审
发明人：贾斌;李真宇;张秀全;卢桂杰;薛海蛟;胡卉 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开一种X切铌酸锂晶圆正反面判定方法，将X切铌酸锂晶圆的Y轴沿着X切铌酸锂晶圆的Z轴轴心旋转α角度后夹在X切铌酸锂晶圆正反面判定装置的上测试探头和下测试探头之间；利用X切铌酸锂晶圆正反面判定装置中的电磁驱动器在X切铌酸锂晶圆上施加低频交变力，X切铌酸锂晶圆产生交变电荷，测量获得X切铌酸锂晶圆的被测输出电压；利用X切铌酸锂晶圆的被测输出电压，计算获得X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数；基于X切铌酸锂晶圆的纵向压电应变常数，判定X切铌酸锂晶圆的正反面状态，正反面状态为X切铌酸锂晶圆的+X面朝上或X切铌酸锂晶圆的‑X面朝上，本方法可以成功识别X切铌酸锂晶圆的正反面。
一种切铌酸锂晶圆正反面判定方法

[实用新型]一种风电机组齿轮箱散热装置-CN202321386166.2有效
发明人：孙峰;周雪园;代勇;周迎港;于海洋;谭亚洲;胡卉 -专利权人：国能重庆风电开发有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： F16H57/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种风电机组齿轮箱散热装置，包括齿轮箱，所述齿轮箱顶端对称固定连接有支腿，两个所述支腿共同固定连接有散热箱，所述散热箱顶端固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有转轴，所述转轴贯穿散热箱顶壁后固定连接有第一齿轮，所述转轴远离电机的一端侧壁固定连接有散热风扇，所述散热箱底部内壁转动连接有往复丝杠，所述往复丝杠侧壁固定连接有第二齿轮，所述往复丝杠侧壁螺纹连接有滑块。本实用新型利用齿轮间啮合作用，使往复丝杠转动，带动挤压板在输液盒内密封滑动，利用产生的压强差，使冷却腔中的冷却液进入冷却管对导管中的油液进行冷却，对齿轮箱内壁散热进行散热，提高了齿轮箱的降温散热工作效率。
一种机组齿轮箱散热装置

[实用新型]带电离子束的偏移控制装置及离子注入设备-CN202320691013.2有效
发明人：韩智勇;刘亚明;胡卉;胡文;张秀全;刘桂银;李真宇 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种带电离子束的偏移控制装置及离子注入设备，包括偏转单元。偏转单元包括第一偏转组件和第二偏转组件；其中，第一偏转组件中设置有极性相反的第一电极和第二电极，第一电极与第二电极位置相对且分列带电离子束的两侧。第二偏转组件中设置有极性相反的第三电极和第四电极，第三电极与第四电极位置相对且分列带电离子束的两侧。带电离子束依次经过第一偏转组件和第二偏转组件，在保证带电离子束的射出方向与射入方向相同的前提下，第一偏转组件和第二偏转组件对带电离子束的射出位置进行了调整，从而可在确保所有带电离子束在与晶圆夹角均相同的情况下，对晶圆表面的不同位置完成离子注入工作。
带电离子束偏移控制装置离子注入设备

[实用新型]一种晶圆清洗辅助装置-CN202320075294.9有效
发明人：闫青芝;连坤;王金翠;胡卉;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆清洗辅助装置，包括：承载组件包括载物台，所述载物台上具有用于放置晶圆片的置物空间；定位组件，设于所述载物台上，包括分散于所述置物空间周围的限位件，所述限位件与晶圆片抵接，将晶圆片与所述载物台保持相对静止本实用新型提供的晶圆清洗辅助装置，载物台提供的置物空间，为晶圆的定位提供了固定位置，置物空间周围的限位件可以将晶圆片固定在置物空间内，使得晶圆片和载物台保持静止，让两者在清洗过程中成为一体，避免利用镊子固定晶圆片的位置，从而可以有效减少清洗过程中镊子划伤晶圆表面的情况发生，对晶圆片提供了有效保护。
一种清洗辅助装置

[实用新型]一种新型风电机组塔筒散热装置-CN202321386169.6有效
发明人：孙峰;周雪园;代勇;于海洋;周迎港;谭亚洲;胡卉 -专利权人：国能重庆风电开发有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F03D80/60 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型风电机组塔筒散热装置，包括塔筒，所述塔筒的内部设有隔板，所述隔板将塔筒的内侧分隔成上下设置的第二筒体、第一筒体，所述第一筒体的内底部设有变流器，所述隔板的上端贯穿设有与其固定连接的导风管，所述导风管远离隔板的一端贯穿第二筒体的侧壁并延伸至第二筒体的外侧，所述第一筒体的侧壁上贯穿设有与其固定连接的进风管，所述进风管的内部安装有进风扇，所述进风管远离第一筒体的一端连接有过滤机构。本实用新型通过导风管能够将第一筒体内部的热风导出，实现高效的散热效果，且能够避免灰尘、湿气进入塔筒内部。
一种新型机组散热装置

[实用新型]用于晶圆厚度测量的辅助装置-CN202320299202.5有效
发明人：杜科君;刘亚明;胡卉;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种用于晶圆厚度测量的辅助装置，包括托盘和定位件。其中，托盘用于上设置有容置空间，晶圆被放置在容置空间中。定位件用于在测量晶圆厚度时盖设在托盘上，并且定位件上设置有测量位。通过定位件上的测量位能够在多片相同的晶圆上定位到相同的测量位置，从而能够减小测量误差，保证晶圆厚度测量的准确性。
用于厚度测量辅助装置

[发明专利]数据处理方法、装置和电子设备-CN202010379520.3有效
发明人：胡卉;张思逸;李炯 -专利权人：成都新致云服信息技术有限公司
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G06Q30/0601 文献下载
摘要：本申请提供一种数据处理方法、装置和电子设备。其中，方法包括：接收第一终端发送的查询请求，查询请求中包括查询对象的识别码；根据识别码，判断查询对象是否属于即时更新品类；若查询对象属于即时更新品类，发送查询对象的更新请求至第二终端；接收来自第二终端的返回数据；根据返回数据和查询请求，发送查询对象的查询结果信息至第一终端。
数据处理方法装置电子设备

[发明专利]基于硅和铌酸锂复合薄膜的光交叉波分复用器及方法-CN202310446823.6在审
发明人：李青云;胡卉;朱厚彬;张洪湖 -专利权人：山东大学
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于硅和铌酸锂复合薄膜的光交叉波分复用器及方法，所述的光交叉波分复用器，包括：自上而下分层布置的非对称的马赫‑增德尔干涉仪结构及金属电极、单晶铌酸锂薄膜层、二氧化硅缓冲层和硅衬底；硅材质非对称的马赫‑增德尔干涉仪结构，包括：两个多模干涉耦合器以及分别与两个多模干涉耦合器连接的非对称臂；本发明在Si‑LNOI平台上实现了波导型光交叉波分复用器，可以利用硅光子成熟的加工工艺制备，利用铌酸锂的电光效应实现电光调谐功能，能够满足密集波分复用系统小信道间隔的要求，具有高的消光比，紧致的尺寸，高的电光调制效率，可以对波长进行快速和精确调谐。
基于铌酸锂复合薄膜交叉波分复用器方法

[发明专利]复合薄膜及其制备方法-CN202310321651.X在审
发明人：杨超;刘亚明;胡文;胡卉;张秀全;刘桂银 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种复合薄膜及其制备方法，包括：依次层叠设置的衬底层、多孔层、隔离层和有源层。其中，多孔层中分布有用于捕获游离的载流子的捕获孔，即由于捕获孔能够富集载流子，从而抵抗隔离层的缺陷对载流子的吸引。另外，由于隔离层与衬底层被多孔层隔离开，所以隔离层的缺陷无法吸引衬底层中游离的载流子聚集在隔离层朝向衬底层的界面上，进而解决了现有技术中衬底层与隔离层的接触界面上产生表面寄生电导效应的问题，改善了接触界面附近的有效电阻率，提高复合薄膜的整体性能。
复合薄膜及其制备方法

[实用新型]晶圆清洗花篮-CN202320298204.2有效
发明人：闫青芝;杜科君;连坤;王金翠;胡卉;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆清洗花篮，包括花篮主体、压条安装件和压条，其中，花篮主体设置有放置晶圆的容置空间，晶圆依次排列在容置空间中。压条安装件设置在沿晶圆的排列方向延伸的花篮主体的侧部上，压条设置在压条安装件上并且沿晶圆的排布方向延伸，以阻挡位于容置空间中的晶圆上浮。由于压条安装件设置在沿晶圆排列方向延伸的侧部，放置在容置空间中的晶圆的工艺面与该压条安装件的方向垂直，所以工作人员自容置空间中取放晶圆的过程中，晶圆无需经过压条安装件的位置，从而确保压条安装件不会接触晶圆工艺面，避免了压条安装件划伤晶圆工艺面问题的发生。
清洗花篮

[实用新型]离子注入装置及系统-CN202320311068.6有效
发明人：张涛;胡卉;胡文;连坤;董玉爽;王金翠 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种离子注入装置及系统，包括旋转盘、壳体以及至少一个角法拉第杯。其中，旋转盘用于固定晶圆；壳体上则设置有束流口，离子发射源发射出的离子束穿过束流口照射在旋转盘的晶圆上，以对晶圆进行离子注入操作。旋转盘旋转设置在壳体中，旋转盘转动使位于旋转盘上的所有晶圆依次经过束流口接受离子注入。另外，在壳体的束流口侧面设置有角法拉第杯。离子束在穿过束流口对晶圆进行离子注入的同时，至少部分离子束射入角法拉第杯中，从而完成束流统计，检测离子束的强度。
离子注入装置系统

[发明专利]复合薄膜及其制备方法-CN202310175806.3在审
发明人：刘桂银;张秀全;胡卉;胡文 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H10N30/072 文献下载
摘要：本申请提供一种复合薄膜及其制备方法，该制备方法包括：提供衬底基板和功能注入片，功能注入片包括依次层叠的余质层、注入层和薄膜层；在薄膜层和衬底基板中的至少一者表面上进行第一图形切割，以在薄膜层和衬底基板的至少一者上形成切割通道，且与外界连通；使得键合过程中产生的气泡从切割通道中离开，并得到键合体；对键合体进行热处理，使余质层沿注入层从键合体中剥离，将薄膜层转移至衬底基板上，得到复合薄膜。本申请的复合薄膜通过在键合前，对衬底基板和/或薄膜层进行图形切割，使得气泡会从切割后的图形通道中被赶出键合界面，解决了键合界面存在气泡的缺陷，避免影响复合薄膜的性能需求。
复合薄膜及其制备方法

[发明专利]一种智慧环保工程用环境监测系统-CN202310484907.9有效
发明人：向小林;张敏;胡卉;冷顺多;周笑悦;周俊 -专利权人：四川交通职业技术学院
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种智慧环保工程用环境监测系统，涉及测量设备技术领域，其包括空气收集检测模块，空气收集检测模块包括：集气管；进气管；CO浓度传感器；驱动电机、其输出端连接有连接轴，连接轴通过单向传动机构连接有转轴，转轴上安装有吸气扇叶；蓄电池；发电机，其输入端与转轴通过传动轴、第一齿轮、活动轴和第二齿轮连接，传动轴与转轴传动连接，第一齿轮安装于传动轴，活动轴与发电机的输入端相插接并能够带动发电机的输入端旋转，第二齿轮安装于活动轴；及检测驱动机构；在大风天气下，转轴的转速能够高于连接轴的转速，此时，检测驱动机构能够驱动活动轴移动以使第二齿轮和第一齿轮相啮合，从而带动发电机的输入端旋转进行发电。
一种智慧环保工程环境监测系统

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