[发明专利]一种激光透反两用分划板的制作方法有效
申请号: | 202210975901.7 | 申请日: | 2022-08-15 |
公开(公告)号: | CN115369356B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 张金豹;史成浡;耿浩;刘广康;种丽平;杨资阳;田军;南勇;任玉河;张勇 | 申请(专利权)人: | 河南平原光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/10;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/58;C23F1/02;C23F1/14;G02B5/00;G03F7/00 |
代理公司: | 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 | 代理人: | 武晓丽 |
地址: | 454150*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: |
本发明属于光学技术领域,公开了一种激光透反两用分划板的制作方法,分划板包括分划板基板、及设置在分划板基板上端面的分划图案;分划图案由分划图案构图层、分划图案匹配层组成;所述分划图案由多层膜层叠加构成,所述膜层为Al膜、HfO |
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搜索关键词: | 一种 激光 两用 分划板 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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