[发明专利]一种激光透反两用分划板的制作方法有效

专利信息
申请号: 202210975901.7 申请日: 2022-08-15
公开(公告)号: CN115369356B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 张金豹;史成浡;耿浩;刘广康;种丽平;杨资阳;田军;南勇;任玉河;张勇 申请(专利权)人: 河南平原光电有限公司
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;C23C14/10;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/58;C23F1/02;C23F1/14;G02B5/00;G03F7/00
代理公司: 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 代理人: 武晓丽
地址: 454150*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明属于光学技术领域,公开了一种激光透反两用分划板的制作方法,分划板包括分划板基板、及设置在分划板基板上端面的分划图案;分划图案由分划图案构图层、分划图案匹配层组成;所述分划图案由多层膜层叠加构成,所述膜层为Al膜、HfO2膜、SiO2膜中的至少一种;所述分划板基板为ZF7光学玻璃;制作方法包括离子束溅射镀制分划图案构图层、涂正型光刻胶感光层、曝光、显影、腐蚀、去除感光层、离子束溅射镀制分划图案匹配层。本发明所制作的分划图案层既可以激光透射下使用形成亮、暗信息场,又可以激光反射下使用形成亮、暗信息场,达到分划板透射、反射两用的目的。
搜索关键词: 一种 激光 两用 分划板 制作方法
【主权项】:
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