[发明专利]一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法在审
| 申请号： | 202210901455.5 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN115148893A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 李支康;袁佳炜;赵立波;李梓璇;秦韶辉;石璇;马琦;罗国希;杨萍;王小章;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/047;B06B1/06;H01L41/22;H01L27/20;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法，包括柔性基底和设置于柔性基底上的若干换能单元，各换能单元之间是相互独立的，具体是指各单元的结构层、柔性下电极、下压电层、柔性中间电极、上压电层和柔性上电极是相互独立的，各换能单元之间仅靠柔性材料连接，在器件弯曲、拉伸及扭转时，柔性材料被拉伸或压缩，产生较大形变，而各单元的压电层和结构层几乎不产生形变，不会导致上压电层、下压电层和结构层破断裂，从而在实现器件整体的高柔性和可拉伸性的同时保证各PMUTs单元性能不受影响。本发明的柔性PMUTs可采用全MEMS工艺进行制作，可在实现制作具有弯曲和扭转功能PMUTs的同时，保证器件的高灵敏度和单元密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 弯曲 扭转 变形 功能 柔性 pmuts 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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- 桂珞 - 中芯集成电路（宁波）有限公司
- 2019-12-31 - 2021-07-16 - H01L41/09
- 本发明公开了一种压电驱动结构和成像模组，其中压电驱动结构包括：支撑层；压电元件，粘合于支撑层的上表面，压电元件在长度方向上由电隔离结构隔离成多个子压电元件，每个子压电元件设有独立的电极引出端，对每个子压电元件单独通电，子压电元件产生伸缩，拉动支撑层产生形变；对多个子压电元件分别通电，压电元件能够带动支撑层产生多种翘曲变化。所述成像模组包括：压电驱动结构，包括可动端和固定端；支撑块，用于支撑固定固定端；被移动元件，与可动端连接，被移动元件包括透镜组、成像传感元件、光圈、反射镜或透镜片；外部信号连接端，与压电驱动结构电连接；在通电的状态下，可动端相对于固定端向上或向下移动，以移动被移动元件。
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