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[发明专利]一种基于KNN和应力释放凹槽的TFT-PMUTs及其制备方法和应用-CN202310467430.3在审
发明人：赵立波;马琦;李支康;李梓璇;秦韶辉;石璇;袁佳炜;赵一鹤;袁铮;罗国希;杨萍;王永录;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于KNN和应力释放凹槽的TFT‑PMUTs及其制备方法和应用，该TFT‑PMUTs包括压电式微机械超声换能器和薄膜晶体管，压电式微机械超声换能器中每个单元的底电极的轴心设有单元中心支柱，每个压电式微机械超声换能器阵元的中心设置阵元中心支柱；KNN压电层在压电式微机械超声换能器阵元的中心位置空白区域设置阵元中心支柱；结构层上设有应力释放凹槽；阵元中心支柱和单元中心支柱与薄膜晶体管的电压开关一一正对连接，每个阵元中心支柱处的顶电极、以及每个单元中心支柱对应的底电极与薄膜晶体管上和他们位置相对的电压开关电连接；单元边界支柱与薄膜晶体管表面键合连接。本发明传感器能够进行触觉感知和轨迹检测，且灵敏度较高，可进行批量化制造。
一种基于 knn 应力释放凹槽 tft pmuts 及其制备方法应用

[发明专利]一种柔性可拉伸的电磁屏蔽纤维薄膜及其制备方法-CN202111064456.0有效
发明人： 罗国希;谢嘉琦;刘桀仑;张乾坤;周文科;陈科;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： D06M10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性可拉伸的电磁屏蔽纤维薄膜及其制备方法，所述方法包括以下步骤：首先，通过静电纺丝技术制备PU纤维薄膜；其次，以PU纤维薄膜为基底，通过超声空化负载工艺在PU纤维薄膜表面嵌入、交联碳纳米管，得到PU/CNTs纤维薄膜；最后，对PU/CNTs纤维薄膜进行溶液法还原银纳米颗粒的后处理工艺制备得到PU/CNTs/AgNPs复合纤维薄膜，以提升其电磁屏蔽效能。本发明制备的柔性可拉伸的电磁屏蔽纤维薄膜利用碳纳米管和纳米银对静电纺丝PU纤维薄膜进行修饰改性，可有效屏蔽电磁干扰，并且具有拉伸率高、导电性好、质量轻等突出优点。在柔性电子、可穿戴器件等领域的电磁屏蔽方面具有广阔的应用前景。
一种柔性拉伸电磁屏蔽纤维薄膜及其制备方法

[发明专利]一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法-CN202110462429.2有效
发明人：王鸿雁;李学琛;关卫军;吴永顺;魏于昆;山涛;王爱华;付磊;赵立波;韩香广;皇咪咪;徐廷中;杨萍;王李;陈翠兰;罗国希;王永录;蒋庄德 -专利权人：陕西省计量科学研究院;西安交通大学
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法，感器芯片包括承压薄膜、硅基底、压敏电阻条、金属引线和防过载玻璃基底等。具体结构为在硅基底背面刻蚀形成承压薄膜以及半岛与岛屿结构，在硅基底正面刻蚀四块钻石形区域形成十字梁。芯片背腔相邻的岛屿与岛屿之间、岛屿与半岛之间的间隙所对应的芯片正面形成应力集中区域，四个压敏电阻条布置在该应力集中区域上，利用重掺杂欧姆接触区、金属引线以及金属焊盘将压敏电阻条连接形成惠斯通电桥，十字梁的存在可以进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果。
一种十字应力集中传感器芯片及其制备方法

[发明专利]一种智能玻窗清洗机器人及其工作方法-CN202211669313.7在审
发明人： 罗国希;薛冲;陈科;周文科;孙林;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-12-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： A47L1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能玻窗清洗机器人及其工作方法，机器人包括壳体结构以及安装在壳体结构上的喷水机构、红外测距传感器、行走机构、电源、单片机控制模组、清洁布和负压风机，负压风机设置于壳体结构的中心，壳体结构上在负压风机的进气端和出气端均设有通风孔，喷水机构设置于所述智能玻窗清洗机器人行走方向上的前端；红外测距传感器位于壳体结构的四周，清洁布设置于壳体结构的底部；喷水机构、红外测距传感器、行走机构、电源和负压风机均与单片机控制模组连接，喷水机构、红外测距传感器、行走机构和负压风机均与电源连接。本发明通过机器人能够对建筑物玻璃外墙进行清洗，降低人工作业的危险系数，同时还能清洗效率和质量。
一种智能清洗机器人及其工作方法

[发明专利]基于MEMS的耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法-CN202211714828.4在审
发明人：李敏;张丹瑜;赵立波;姜凌奇;罗国希;王路;李支康;杨萍;王永录;王小章;方续东;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于MEMS的耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法，所述流速传感器芯片包括柔性衬底和布置在柔性衬底上的温度补偿电阻对、测温电阻对和加热电阻，所述柔性衬底背面开设有空腔。本发明在热电阻周围对称布置测温电阻对，通过公用中央的加热电阻的方式，实现热损失和热温差两种测温原理的结合，有效提高了传感器的测速范围，该MEMS热式流速传感器具有测量范围广，具备更广泛的应用领域。本发明所述的传感器芯片的制备方法，制作方法简单、可靠性高、易于批量化生产、成本低。
基于 mems 耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法

[发明专利]一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法-CN202211527622.0在审
发明人：李支康;李梓璇;赵立波;马琦;石璇;秦韶辉;罗国希;袁佳炜;杨萍;王小章;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法，PMUT自上而下包括圆形多层复合薄膜、绝缘层、上基底、键合层和下基底。多层复合薄膜包括上压电层、下压电层、上电极层、中电极层和下电极层多层复合薄膜上具有同心的环形凹槽，并覆盖整个空腔的区域。本发明在有效降低PMUT单元间串扰、减小薄膜应力的同时实现薄膜内压电驱动弯矩的大幅增加，进而实现超声发射和接收性能提升，以满足小管径流量检测应用对低功耗、高性能超声换能器的迫切需求。
一种具有隔离凹槽应力压电结构 pmut 及其工作制备方法

[发明专利]一种压阻梁应力集中微压传感器芯片及其制备方法-CN202110462455.5有效
发明人：赵立波;李学琛;韩香广;李伟;乔智霞;皇咪咪;徐廷中;杨萍;王李;陈翠兰;王鸿雁;关卫军;吴永顺;罗国希;王永录;魏于昆;山涛;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学;陕西省计量科学研究院;西安航天动力研究所
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种压阻梁应力集中微压传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括硅基底和玻璃基底，所述硅基底背面刻蚀有背腔，背腔的底面为承压薄膜，所述承压薄膜正面设置有第一压阻梁、第二压阻梁、第三压阻梁和第四压阻梁；所述第一压阻梁、第二压阻梁、第三压阻梁和第四压阻梁上分别布置有一个压敏电阻条，所述压敏电阻条的长度方向和其所在的压阻梁的长度方向相同，所述压敏电阻条通过金属引线以及金属焊盘连接形成惠斯通电桥。解决了传统梁结构上的压敏电阻条垂直梁结构所在直线布置，因此梁结构的宽度必须大于压敏电阻条的宽度导致梁结构不能做到较窄的问题。
一种压阻梁应力集中传感器芯片及其制备方法

[发明专利]一种盾构机主轴承游隙监测传感器制备方法-CN202211148725.6在审
发明人：秦银平;曾垂刚;赵旭;夏站辉;李治国;李凤远;罗国希;周建军;张合沛;王凯;陈瑞祥;高会中 -专利权人：中铁隧道局集团有限公司;盾构及掘进技术国家重点实验室
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种盾构机主轴承游隙监测传感器制备方法，涉及盾构机主轴承游隙监测传感器技术领域，有益效果在于：本发明采用了非接触式的制备工艺并突破的复杂的传感器制备工艺；本发明提高了检测的数据精确性以及参数获取的可靠性，能够实现测距检测。
一种盾构机主轴承游隙监测传感器制备方法

[发明专利]一种盾构机主轴承油脂温压监测传感器制备方法-CN202211148785.8在审
发明人：秦银平;余鲸;王玉祥;曾垂刚;李治国;李凤远;罗国希;郑联伟;康祖玮;张合沛;王凯;陈瑞祥;高会中;罗文;杨红永;魏军涛;张亚林;徐克洋;颜金泽;梅晓海;丁海玲 -专利权人：中铁隧道局集团有限公司;盾构及掘进技术国家重点实验室
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01K7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种盾构机主轴承油脂温压监测传感器制备方法，涉及盾构机主轴承油脂温压监测传感器技术领域，包括热氧氧化、刻蚀轻掺、重掺引线、刻蚀引线孔、TSV‑刻蚀通孔、TSV铸铜、刻蚀真空腔室、键合介质层、基片键合、背腔深硅刻蚀、铂热敏电阻、重新布线(RDL)、阻焊层、助焊层、植球；有益效果在于：本发明采用了温度与压力集成式传感器制备方法可以实现温度与压力的实时在线检测与监测，并突破的复杂的传感器制备工艺；本发明选取了制作通孔内壁较为光滑、高深宽比且对损伤较小的DRIE，提高了检测的数据精确性以及参数获取的可靠性，能够实现测距检测。
一种盾构机主轴承油脂监测传感器制备方法

[发明专利]一种可在线监测主轴承轴向游隙的掘进机及其工作方法-CN202210550265.3在审
发明人： 罗国希;周文科;何康;陈科;张乾坤;孙林;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可在线监测主轴承轴向游隙的掘进机及其工作方法，掘进机，包括主驱动轴、主轴承、前轴承座、后轴承座和超声波位移传感器，主轴承套设于主驱动轴上，前轴承座和后轴承座安装在主轴承两侧以支撑并固定主轴承，在后轴承座上开设安装通孔，超声波位移传感器设置在所述安装通孔内，超声波位移传感器的声波发射端与主轴承的内圈端面正对。本发明能够实现主轴承游隙的非接触式在线连续测量，避免了接触式测量可能造成的碰撞、冲击等不利影响。
一种在线监测主轴轴向游隙掘进机及其工作方法

[发明专利]一种掘进机及其能实现温度实时监测的主驱动轴端密封-CN202110554109.X有效
发明人： 罗国希;陈科;周文科;张乾坤;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： F16J15/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种掘进机及其能实现温度实时监测的主驱动轴端密封，主驱动轴端密封包括主驱动轴、动密封橡胶圈和温度传感器，动密封橡胶圈套设在主驱动轴上，主驱动轴在其与动密封橡胶圈的接触界面设有安装孔，温度传感器设置于安装孔内，温度传感器表面与动密封橡胶圈直接接触，安装孔内还设有用于支撑温度传感器并使得温度传感器与动密封橡胶圈保持接触的弹性结构，能够实现动密封橡胶圈与主驱动轴接触界面处温度的在线原位监测，提高测量精度。弹性结构能够对温度传感器进行弹性支承，能够降低温度传感器与动密封橡胶圈接触表面间的应力，能够降低对温度传感器的磨损和冲击，提高了温度传感器使用的使用寿命和可靠性。
一种掘进机及其实现温度实时监测驱动密封

[发明专利]一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法-CN202210901455.5在审
发明人：李支康;袁佳炜;赵立波;李梓璇;秦韶辉;石璇;马琦;罗国希;杨萍;王小章;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L41/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法，包括柔性基底和设置于柔性基底上的若干换能单元，各换能单元之间是相互独立的，具体是指各单元的结构层、柔性下电极、下压电层、柔性中间电极、上压电层和柔性上电极是相互独立的，各换能单元之间仅靠柔性材料连接，在器件弯曲、拉伸及扭转时，柔性材料被拉伸或压缩，产生较大形变，而各单元的压电层和结构层几乎不产生形变，不会导致上压电层、下压电层和结构层破断裂，从而在实现器件整体的高柔性和可拉伸性的同时保证各PMUTs单元性能不受影响。本发明的柔性PMUTs可采用全MEMS工艺进行制作，可在实现制作具有弯曲和扭转功能PMUTs的同时，保证器件的高灵敏度和单元密度。
一种具有弯曲扭转变形功能柔性 pmuts 及其制备方法

[发明专利]一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法-CN202011035525.0有效
发明人：赵立波;罗运运;夏勇;罗国希;李字平;李支康;张乾坤;林启敬;杨萍;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法，包括第一电极结构层，第一电极结构层的下方设有压电力敏结构层，压电力敏结构层的下方设有第二电极结构层，第二电极结构层的下方设有柔性绝缘层，柔性绝缘层的下方设有第三电极结构层，第三电极结构层的下方设有压阻力敏结构层，压阻力敏结构层的下方设有第四电极结构层；压电力敏结构层和压阻力敏结构层分别实现对外部动态和静态触觉力学信号的感知；封装后的复合式触觉传感器在第一电极结构层的上面设有第二基底层，第四电极结构层的下方设有第一基底层；本发明制备的复合式触觉传感器同时具备压阻式和压电式感知机理，实现多模态力学参量的测量，可用于柔性穿戴设备、智能机器人等领域。
一种压电复合触觉传感器制备方法

[发明专利]一种柔性电极、电容器及制备方法-CN202010997863.6有效
发明人： 罗国希;张乾坤;陈科;周文科;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01G11/26 文献下载
摘要：本发明属于微纳制造与新能源领域，公开一种柔性电极、电容器及制备方法，柔性电极中，电化学功能材料分布在PU‑CNT导电薄膜基底上；PU‑CNT导电薄膜基底包括PU薄膜基底和CNT导电网络，PU薄膜基底为网状结构，PU薄膜基底的纤维表面分布碳纳米管，分布在PU薄膜基底上的碳纳米管构成所述CNT导电网络。电容器中，凝胶电解质隔层的两表面均粘结有柔性电极，柔性电极与凝胶电解质隔层组成三明治超级电容器结构，三明治超级电容器结构的两表面均贴附有柔性封装保护层，凝胶电解质隔层两侧的柔性电极均连接有电极引出线。本发明的柔性电极具有出色的延展性能，能够提高电容器的柔性，进而使得柔性可穿戴设备具有优良的柔性。
一种柔性电极电容器制备方法

[发明专利]基于倒装技术的压力传感器芯片、封装结构与制备方法-CN202111668359.2在审
发明人：韩香广;赵立波;王李;李支康;罗国希;皇咪咪;陈翠兰;樊姝;高漪;尚钰杰;陈科;王小章;杨萍;卢德江;王永录;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01L9/04 文献下载
摘要：本发明公开了基于倒装技术的压力传感器芯片、封装结构与制备方法，适用于爆炸冲击波压力场高动态测量。本发明压力传感器芯片包括压力敏感芯片与转接板，其中压力敏感芯片采用压阻式原理，设置有感受外界压力变化的岛膜结构，通过将应力敏感梁、敏感电阻与背腔布置在非承压面，保证压力敏感面为平面，同时传感器整体采用齐平式封装的结构，保证与压力介质接触面为平面，避免传统倒装压力芯片在风动压测量过程中，压力介质须绕射芯片背腔到达压力敏感面，从而造成传感器动态测量精度低、频率响应不足的问题。而转接板采用硅通孔或玻璃通孔的方式，实现电信号的无引线传输，避免了常规金丝引线引起的断裂与短路状况，提升传感器的工作可靠性。
基于倒装技术压力传感器芯片封装结构制备方法

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