[发明专利]一种改善玻璃基金属铟膜结合力的方法在审
| 申请号： | 202210235685.2 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114635114A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 汤惠淋;宋世金;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 肖小龙 |
| 地址： | 511518 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于功能薄膜材料及器件领域，公开了一种改善玻璃基金属铟膜结合力的方法，包括如下步骤：安装In靶材；安装Al靶材或Si靶材；在清洗后的衬底上，射频磁控溅射生长Al |
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| 搜索关键词： | 一种 改善 玻璃 基金 属铟膜 结合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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