[实用新型]基板制程设备有效
| 申请号： | 202120536079.5 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN214705852U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 黄一原;刘镒诚 | 申请（专利权）人： | 凌嘉科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 唐芳芳 |
| 地址： | 中国台湾台中市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板制程设备，其包含制程腔体及基板载台。所述制程腔体具有电浆入口壁及环绕壁。所述电浆入口壁经配置以接收来自一远程电浆源的输出。所述环绕壁形成腔体内表面，所述内表面定义内部空间以接收一基板。所述基板载台可升降地设置于所述制程腔体的所述内部空间，并具有面对所述电浆入口壁的基板支撑面。所述环绕壁，在所述制程腔体的截面中，具有第一区段及第二区段。所述第一区段对应于所述基板载台的制程区域，并具有第一宽度。所述第二区段相较于所述第一区段更远离所述电浆入口壁，并具有大于所述第一宽度的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 基板制程 设备 | ||
【主权项】：
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