[发明专利]基板处理装置及其方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置。本发明的基板处理装置包括装载端口，供收纳有基板的卡匣放置；制程室，执行对基板的制程处理；框架，提供于上述装载端口与上述制程室之间，且在内部形成有空间；以及转运机器人，位于上述框架的内部，在上述卡匣与上述制程室之间转运基板。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，包括：装载端口，其供收纳有基板的卡匣放置；制程室，其执行对基板的制程处理；框架，其提供于上述装载端口与上述制程室之间，且在内部形成有空间；转运机器人，其位于上述框架的内部，在上述卡匣与上述制程室之间转运基板；调整室，其提供于上述框架的内部，供基板的位置整齐排列；冷却室，其提供于上述框架的内部，供制程完成后的基板冷却；支撑板，其位于上述调整室内；第1衬垫，其固定于上述支撑板的上表面，供基板放置，上述第1衬垫具有：第1主体，其供基板放置；以及第1上端部，其从上述第1主体朝向上部突出，且内侧面具有与基板的曲率半径相应的曲率半径；第2衬垫，其固定于上述支撑板的上表面，供基板放置，上述第2衬垫具有：第2主体，其供基板放置；以及第2上端部，其从上述第2主体朝向上部突出，且内侧面具有比基板的曲率半径大的曲率半径；以及第1调整推杆，其位于上述支撑板的上表面，朝向上述支撑板的中心方向移动而推动基板，上述第1调整推杆推动基板以使基板的侧部紧贴于上述第1上端部的内侧面。