[发明专利]锌基金属有机纳米颗粒及其制备方法以及光刻胶在审
申请号: | 202111573387.6 | 申请日: | 2021-12-21 |
公开(公告)号: | CN114675488A | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 徐宏;何向明;崔昊 | 申请(专利权)人: | 清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/20;G03F7/00;G03F1/76 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 王赛 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本申请公开了一种锌基金属有机纳米颗粒,具有核壳结构,通式为Zn |
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搜索关键词: | 基金 有机 纳米 颗粒 及其 制备 方法 以及 光刻 | ||
【主权项】:
暂无信息
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