[发明专利]一种控制单晶叶片荧光显示的工艺方法在审

专利信息
申请号: 202110980412.6 申请日: 2021-08-25
公开(公告)号: CN113622032A 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 乐献刚;张鸿;白景晨;黄秋;高力秋 申请(专利权)人: 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C23F1/02;C23F1/16;G01N1/28;G01N21/64
代理公司: 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 代理人: 梁焱
地址: 110043 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种控制单晶叶片荧光显示的工艺方法,步骤为:腐蚀前,对已完成热处理的单晶叶片表面进行干粉吹砂处理,去除凝固过程和热处理过程中形成的表面附着物;对单晶叶片的缘板部位进行局部封蜡保护;对单晶叶片进行晶粒度腐蚀,需要对腐蚀过程的时间进行控制;去除单晶叶片缘板部位的局部封蜡;对单晶叶片进行荧光检验,荧光检验前利用磨头对单晶叶片缘板部位表面进行打磨处理,用以提高一次荧光检验通过率。本发明的控制单晶叶片荧光显示的工艺方法,成功解决了困扰单晶叶片多年的荧光显示问题,一次荧光检验的通过率可达80%以上,二次荧光检验的通过率可达99%,大幅度提高了单晶叶片的生产效率,同时降低了劳动强度。
搜索关键词: 一种 控制 叶片 荧光 显示 工艺 方法
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  • 褚俊杰 - 常州景佑微电子科技有限公司
  • 2022-12-27 - 2023-05-26 - C30B33/10
  • 本实用新型公开了一种单晶硅片制绒装置,属于单晶硅片制绒技术领域,包括反应箱,所述反应箱顶部的两端分别固定连接有升降架,两个所述升降架的内腔分别转动连接有丝杆,两个所述丝杆的外侧均螺纹套接有升降块,两个所述升降块的一端延伸至升降架的外部且固定连接有悬吊块,两个所述悬吊块之间放置有放置架,所述放置架的内壁开设有多个插槽,两个所述升降架的顶面均固定连接有第一电机。本实用新型中,利用放置架上开设的多个插槽对多块单晶硅片进行放置夹持,另外通过转动座、封板以及第二电机之间的配合对反应箱内腔的顶部进行封堵,避免制绒时腐蚀液出现飞溅,提高了该单晶硅片制绒装置的实用性。
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