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- [发明专利]离子束稳流装置及电弧离子镀设备-CN202310919927.4在审
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廖斌;欧阳潇;陈琳;罗军;英敏菊;庞盼
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北京师范大学
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2023-07-25
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2023-10-27
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C23C14/32
- 本发明公开一种离子束稳流装置,包括弧电源、阴极组件以及触发组件,其中,弧电源的正极接地;阴极组件包括阴极靶材和靶材座,靶材座处还设置永磁体;触发组件包括触发电极、触发针和辅助阳极板。弧电源在靶材座和触发电极施加电压,使触发针与阴极靶材接触形成短路,瞬间形成电弧,在电弧中形成等离子体,电弧斑在阴极靶材表面移动;辅助阳极板接地,当电弧斑运动至阴极靶材边缘时,由于辅助阳极板的电位较阴极靶材的电位高,电弧斑返回阴极靶材中心,从而避免电弧斑落在阴极靶材的侧面而导致灭弧。本发明还提供一种电弧离子镀设备,包含上述的离子束稳流装置,提高离子束稳定性,进而提升电弧离子镀质量。
- 离子束装置电弧离子镀设备
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