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[发明专利]磷酸蚀刻液回收方法及蚀刻方法-CN202311107559.X在审
发明人： 刘苏涛;杨少华;林士闵 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种磷酸蚀刻液回收方法及蚀刻方法，所述磷酸蚀刻液回收方法包括：提供一蚀刻槽，所述蚀刻槽中装有多次蚀刻后的磷酸蚀刻液，所述磷酸蚀刻液中溶解有第一浓度的含硅化合物，所述磷酸蚀刻液具有第一温度；将载板放置于所述磷酸蚀刻液中；将所述磷酸蚀刻液降温至第二温度，以使得所述磷酸蚀刻液中溶解的所述含硅化合物析出附着在所述载板表面；将所述载板从所述磷酸蚀刻液中移出；将所述磷酸蚀刻液重新加热至所述第一温度，且所述磷酸蚀刻液中溶解的所述含硅化合物的浓度降低至第二浓度。本发明的技术方案能够提高磷酸蚀刻液的使用寿命，进而降低工艺成本及废酸排放。
磷酸蚀刻回收方法

[发明专利]一种数字化三轴TMR磁传感系统-CN202011459206.2有效
发明人：黄玉;刘苏涛;武立华;吴迪;朱传龙;陈东亮 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字化三轴TMR磁传感系统，包括三路结构相同的单轴传感结构，三路电单轴传感结构分别处理x轴、y轴和z轴的磁信号；所述单轴传感结构包括：单通道磁电阻平衡桥电路、差分放大模块、抗混叠低通滤波模块、A/D转换模块和微处理器；单通道磁电阻平衡桥电路将被测的低频磁场信号转换为电压信号，然后经过差分放大模块后输入至抗混叠低通滤波模块滤除信号频率高于A/D转换模块半采样率的信号；输出信号输入至A/D转换模块得到被测数字信号，数字信号输入至微处理器，微处理器执行正交锁相解调算法输出传感结果。本发明实现了一种数字化、结构简单、高信噪比以及易于信号调理算法设计的数字化三轴TMR磁传感系统。
一种数字化 tmr 传感系统

[发明专利]半导体器件的刻蚀方法及制备方法-CN202310780992.3有效
发明人：林士闵;刘苏涛 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体器件的刻蚀方法及半导体器件的制备方法，其中，半导体器件包括衬底、第一缓冲层、非晶硅层、侧壁叠层和氧化层，该氧化层位于非晶硅层上，且氧化层为非晶硅层在自然状态下于表面氧化形成的膜层，则半导体器件的刻蚀方法包括：通过混合APM溶液和四甲基氢氧化胺溶液配制刻蚀液，然后利用该刻蚀液对半导体器件进行刻蚀，以去除半导体器件的氧化层和非晶硅层，由于APM溶液对氧化层具有刻蚀性，但对侧壁叠层不具有刻蚀性，因此，利用刻蚀液对半导体器件进行刻蚀，能够有效地去除氧化层以及非晶硅层，而不会破坏半导体器件中的侧壁叠层，如此保证了半导体器件图形的完整性，还提高了半导体器件的制备效率。
半导体器件刻蚀方法制备

[发明专利]金属硅化物的制备方法-CN202310781810.4有效
发明人： 刘苏涛;渠兴宇;林士闵 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本申请涉及一种金属硅化物的制备方法。该方法包括：提供衬底，衬底具有待处理的硅区域；于衬底具有硅区域一侧形成图形化掩膜层，图形化掩膜层具有显露硅区域的开口图形；形成分别覆盖硅区域以及图形化掩膜层的金属材料层；形成覆盖金属材料层表面的硅基材料层；金属材料层在硅基材料层和硅区域的硅化作用下形成初始金属硅化物层；去除残留的硅基材料层；去除图形化掩膜层以及位于图形化掩膜层上方的初始金属硅化物层，并保留剩余的初始金属硅化物层为目标金属硅化物层。本申请提供的金属硅化物的制备方法通过对工艺的优化，有效提高了所获得的金属硅化物的形貌质量，同时降低了制备难度及制备成本。
金属硅制备方法

[实用新型]一种用于烧结料面的蒸汽喷吹装置-CN202321351875.7有效
发明人：史新刚;李晓海;葛志彬;刘苏涛;苏振江;王业平;王计龙 -专利权人：德龙钢铁有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F27B21/08 文献下载
摘要：一种用于烧结料面的蒸汽喷吹装置，包括升降机构、平板、蒸汽总管和喷吹部分；所述升降机构设置在烧结台车的两侧，且升降机构位于烧结点火器的后方；所述平板设置在升降机构上，且其位于台车的正上方；所述蒸汽总管设置在平板的上端面，且其与高温蒸汽供应管道连通；所述喷吹部分的数量为多个，且其沿着台车的前进方向均匀设置在平板上，各个喷吹部分均与蒸汽总管连通。本实用新型确保了高温蒸汽可靠地对烧结料面进行喷吹作业。
一种用于烧结蒸汽装置

[发明专利]一种基于网状TiO2-CN202110615740.6有效
发明人： 刘苏涛;潘有春;张利利;王光应 -专利权人：安徽元琛环保科技股份有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B01J21/06 文献下载
摘要：本发明公开一种基于网状TiO2载体的MnO2纳米线低温脱硝催化剂，该低温脱硝催化剂包括载体和活性物质，载体为形貌为网状的纳米TiO2，活性物质为具备微观线状结构的MnO2纳米线；网状的纳米TiO2负载于MnO2纳米线上；MnO2纳米线与网状的纳米TiO2的摩尔比为0.01‑0.1。本发明还提供上述低温脱硝催化剂的制备方法。本发明以网状纳米TiO2为载体，以具备微观线状结构的MnO2纳米线为活性物质，网状的纳米TiO2负载于MnO2纳米线上得到低温脱硝催化剂，避免了稀土元素的使用，降低了生产成本，且由于网状纳米TiO2具有比表面积大、孔道多等优点，有利于催化剂对气态NH3的吸附，MnO2纳米线具有大长径比、比表面积的优点，有利于活性物质与NH3发生反应，从而促进催化剂的脱硝性能。
一种基于网状 tio base sub

[实用新型]一种灯光自动控制系统和光刻机-CN202222234805.5有效
发明人：林士闵;刘苏涛;苏财宝 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H05B47/165 文献下载
摘要：本实用新型提供一种灯光自动控制系统和光刻机，所述灯光自动控制系统包括：控制装置和控制电路；其中，所述控制电路设有第一开关和灯泡；所述控制装置被配置为接收到所述光刻机内晶圆的加工信号，所述控制装置控制所述第一开关断开，且所述灯泡关闭。本实用新型提供的灯光自动控制系统用于所述光刻机，通过所述控制装置及时关闭所述灯泡，从而避免在铜以及黄光制程中，晶圆因所述灯泡发出的灯光而发生光交联的现象，以及降低晶圆出现铜腐蚀和氧化缺陷的风险。
一种灯光自动控制系统光刻

[发明专利]脱硝协同CO2吸附材料的制备方法及制备的吸附材料-CN202110832508.8有效
发明人：潘有春;王光应;赵羽;梁燕;刘苏涛 -专利权人：安徽元琛环保科技股份有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B01J20/22 文献下载
摘要：一种脱硝协同CO2吸附材料的制备方法及制备的材料，包括：将氧化石墨烯在搅拌中分散于去离子水中，加入HCl调节pH得溶液A；将硅酸四已脂加入无水乙醇溶液中得到溶液B；搅拌条件下将A缓慢的滴入B中，得到混合液C；将C水浴，滴加氨水乙醇溶液，调节pH至7，然后水浴至凝胶；往凝胶中加入乙醇老化，加入正己烷置换；将置换好的样品取出，冷冻干燥获得干SiO2‑石墨烯气凝胶；将催化剂活性组分前驱体、催化剂助剂、助溶剂草酸溶于去离子水中，得到溶液D；将D加入SiO2‑石墨烯气凝胶中，浸渍烘干煅烧得复合物E；将E加入γ－氨基丙基三乙氧基硅烷的甲苯溶液中浸渍烘干。本发明合成的材料具有脱硝协同CO2吸附性能，可在实现烟气NOx治理的同时实现CO2的捕集。
协同 co2 吸附材料制备方法

[实用新型]一种湿法刻蚀机-CN202222291466.4有效
发明人： 刘苏涛;苏财宝;林士闵 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种湿法刻蚀机，包括腔室和传输单元，以及设置在所述腔室和/或所述传输单元内的离子分离装置；其中，所述离子分离装置用于向放置在所述腔室和/或所述传输单元内的晶圆发射预设波长的光波，并利用所述光波将空气离子分离为正离子和负离子，且所述正离子将与所述晶圆表面负电荷中和，和/或所述负离子将与所述晶圆表面正电荷中和。本实用新型提供的所述湿法刻蚀机，通过电荷的中和反应消除了所述晶圆表面的正电荷和/或负电荷，避免了所述晶圆表面因静电电荷的累积而发生静电放电反应并损害晶圆表面的问题，从而提高了晶圆的产品良率。
一种湿法刻蚀

[发明专利]选择性蚀刻方法及装置-CN202211322315.9在审
发明人： 刘苏涛;苏财宝;林士闵;渠兴宇 -专利权人：合肥新晶集成电路有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本申请涉及一种选择性蚀刻方法及装置，用于对反应槽密封腔体内的待刻蚀物进行刻蚀。方法包括控制密封腔体的内部涌入预设体积的目标蚀刻剂，目标蚀刻剂包括第一含量的蒸馏水及第二含量的酸性物质，第一含量大于第二含量；根据获取的温度压力控制指令控制设置于密闭腔体的侧壁的加热装置加热，利用目标蚀刻剂选择性刻蚀并去除待刻蚀物上的待刻蚀层。上述选择性蚀刻方法的目标蚀刻剂第一含量水大于第二含量酸性物质且刻蚀全过程是在同一个反应槽体内，降低了成本，避免了化学污染与浪费，提高了效率，节约了机台占地空间。
选择性蚀刻方法装置

[发明专利]一种基于磁梯度张量缩并量之比的测距定位方法-CN202010837023.3有效
发明人：黄玉;武立华;刘苏涛;张涛;王洋;张剑;秦洋 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于磁梯度张量缩并量之比的测距定位方法，属于磁探测与定位技术领域。所述定位方法包括以下步骤：将十个同类型三轴磁强计构成三轴磁强计平面阵列并将它们的各个敏感轴相互对齐；采集平面阵列的十个三轴磁强计输出；计算阵列四个面心处的磁性体磁梯度张量的独立分量值；由每两面心与磁性体之间的距离值的平方比为固定数值构成关于磁性体位置坐标的线性方程组，计算方程组得出磁性体位置坐标值。本发明相比于三轴磁强计阵列的空间立体结构，平面结构易于多个三轴磁强计组阵，特别是对于芯片化的微型三轴磁强计更具优势，也减少了阵列的安放空间。
一种基于梯度张量测距定位方法

[发明专利]一种基于日字型三轴磁强计对称配置平面阵列的磁梯度张量定位方法-CN202010840386.2有效
发明人：黄玉;武立华;刘苏涛;张涛;王洋;张剑;秦洋 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于日字型三轴磁强计对称配置平面阵列的磁梯度张量定位方法，属于磁性目标反演技术领域。按特定构型配置六只三轴磁强计，使相关的三轴磁强计敏感轴关于点O、O1和O2对称，构成对称配置平面阵列；使用多通道数采系统同步采集六只三轴磁强计的测量输出将变换到解算坐标系，得到计算对称点O，O1和O2处磁梯度张量独立分量值，构造对应的磁梯度张量矩阵由计算出磁偶极子与对称点O，O1和O2之间的距离均值；计算磁偶极子的位置坐标值x；由坐标利用二分法计算一元二次方程；舍弃复根，求取剩余实根对应的差值集，依据差值最小原则挑选方程正确解，得到磁偶极子的位置坐标y和z。本方法计算量较小，能实现快速定位。
一种基于字型磁强计对称配置平面阵列梯度张量定位方法

[发明专利]一种磁偶极子目标测距测向方法-CN202011461502.6有效
发明人：黄玉;武立华;刘苏涛;张涛;王洋;秦洋 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01B7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁偶极子目标测距测向方法，使用测量轴对称配置的三轴磁强计十字阵列测量阵列中心处的磁偶极子磁梯度张量，依据磁矩大小与磁性目标姿态无关的特点可以得到被探测目标的磁矩大小范围，由该点磁梯度张量的比值以及目标磁矩大小范围反演出被探测目标与十字阵列中心的距离和十字阵列测量坐标系下的磁偶极子目标的方位角。本发明所提的方法无需磁梯度张量测量系统对磁性目标的磁场矢量的测量，也无需磁梯度张量测量系统移动以测量空间多个点的磁梯度张量值；本发明所提的方法能使用三轴磁强计十字阵列作为磁梯度张量测量系统，所使用的三轴磁强计相对较少，降低了测量系统的复杂性和重量，便于轻型平台搭载使用。
一种偶极子目标测距测向方法

[发明专利]一种烧结制粒小球强度的检测评价方法-CN202210144306.9在审
发明人：王建芳;郄亚娜;孟延军;张猛;吕万峰;王相龙;李晓海;刘苏涛;李宇壮;刘然;孟增亮 -专利权人：德龙钢铁有限公司;华北理工大学
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01N3/32 文献下载
摘要：一种烧结制粒小球强度的检测评价方法，包括对烧结制粒小球强度检测部分和检测结果计算部分，所述烧结制粒小球强度检测部分按照下述步骤进行：a、确定被检测制粒小球：选取Nkg制粒小球作为被检测制粒小球；b、被检测制粒小球分类检测处理；所述检测结果计算部分如下进行：将检测得到的检测数据代入计算式计算制粒小球强度参数B、B1、B2，其中B2为制粒小球抵抗表层粘附粉脱落强度，B为制粒小球运输过程抵抗粘附粉脱落强度，B为制粒小球干燥过程抵抗粘附粉脱离强度。采用本发明方法可以指导烧结技术人员选择合适的工艺参数，有利于改善烧结料层透气性，为分析制粒小球强度提供一种行之有效的检测评价方法。
一种烧结小球强度检测评价方法

[发明专利]基于地磁梯度张量矩阵正交对角化的水下全姿态确定方法-CN202011284160.5有效
发明人：黄玉;武立华;秦洋;刘苏涛;张涛;王洋 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01C21/08 文献下载
摘要：本发明属于水下地磁辅助导航技术领域，具体涉及一种基于地磁梯度张量矩阵正交对角化的水下全姿态确定方法。本发明通过地磁梯度张量矩阵的对角化和特征向量的正交归一化处理，得到姿态矩阵，从而确定水下载体的姿态。本发明无积累误差且具有很好的隐蔽性，能较为准确地反演出载体的姿态角信息，且稳定性好，对姿态角初始解的要求不高，姿态确定完全自主，计算量也较小，更适用于大初始姿态误差下水下载体的全姿态确定。
基于地磁梯度张量矩阵正交角化水下姿态确定方法

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