[发明专利]一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备在审
| 申请号： | 202110667488.3 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113337793A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 郑小平;张星;祁鹏堂;胡玫;毛生红;陈奎;张天云 | 申请（专利权）人： | 兰州工业学院 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/50;C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安合创非凡知识产权代理事务所(普通合伙) 61248 | 代理人： | 马英 |
| 地址： | 730050 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，包括安装于地面上的桶体和设置于桶体上端的盖板，所述盖板顶面的中心处安装有第一电机，第一电机的转轴延伸至盖板下端，并安装有电动滑台，电动滑台的移动平台上安装有第二电机，第二电机的转轴上安装有工件架，地面位于桶体的外侧设有环形槽，环形槽中滑动安装有一块以上的滑块，滑块上端均安装有底板，底板一端均垂直安装有挡板。本发明结构简单，增加了盖板移动时的稳定性，通过电动滑台能将工件架向一侧移动，且通过第二电机能带动工件架转动，使工件架内侧的产品能转至外侧，方便了取料和装料，且通过一块以上的挡板能将桶体除去取料处剩余区域全部挡住，增加了安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 复合 涂层 制备 pvd 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州工业学院，未经兰州工业学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110667488.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 用于显色以使激光蚀刻无背光颜色中断的物理气相沉积涂层组合-202211304188.X
- W-S·裴 - 通用汽车环球科技运作有限责任公司
- 2022-10-24 - 2023-10-27 - C23C14/00
- 一种用于显色以使激光蚀刻无背光颜色中断的物理气相沉积涂层组合。本公开涉及汽车部件和对该部件施加罩面层的方法，所述部件包括聚合物基材、设置在所述聚合物基材的第一表面上的着色底漆、设置在所述着色底漆上的半透明金属涂层。所述半透明金属涂层和着色底漆限定了至少一个不连续部分。所述汽车部件还包括设置在所述半透明金属涂层上并填充所述不连续部分的顶涂层。在一些方面，所述汽车部件是背光式的，并包括光学耦合到所述聚合物基材的第二表面的发光源。
- 一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法-202210403734.9
- 姜勇;王弦歌;陶珩 - 中微半导体设备（上海）股份有限公司
- 2022-04-18 - 2023-10-27 - C23C14/00
- 本发明公开一种气体混合器、气体喷淋装置及使用方法，所述气体混合器用于气体喷淋装置，包括：设置于气体扩散腔上方的混合器本体，混合器本体的内部设置有一容纳腔，容纳腔与第一气体源连接，用于容置从第一气体源供应的至少一种气体；混合器本体的侧壁上围绕容纳腔盘设有螺旋形通道；螺旋形通道的进口与第二气体源连通，螺旋形通道的出口与气体扩散腔连通；螺旋形通道的侧壁上间隔设有若干个第一通孔，用于连通容纳腔和螺旋形通道，以使供应至容纳腔的至少一种气体和供应至螺旋形通道的至少一种气体在螺旋形通道内进行混合。本发明中不同气体在螺旋形通道内进行混合，使得气体混合路径较长，从而保证不同气体的混合均匀性和混合质量。
- 成膜装置及零件剥离装置-202111090638.5
- 西垣寿;铃木端生;吉村浩司;神戸优 - 芝浦机械电子装置株式会社
- 2018-11-09 - 2023-10-24 - C23C14/00
- 本发明提供一种成膜装置及零件剥离装置，可防止在电子零件上残留残渣，并从片材上剥离电子零件。将电极露出面已被粘贴在保护片的粘着面上的电子零件投入成膜装置中。在此成膜装置中包括成膜处理部与剥离处理部。成膜处理部使成膜材料在所述电子零件上成膜。剥离处理部在利用成膜处理部的成膜后，将电子零件从保护片上剥下。此剥离处理部具有：载置台，支撑已被粘贴在所述保护片上的电子零件；夹头，握持保护片的端部，相对于所述载置台进行相对移动，并朝所述端部的相反端连续进行剥离；以及固定部，固定电子零件的位置。
- 发动机皮带轮及其表面处理方法、车辆-202310688723.4
- 刘磊 - 一汽解放汽车有限公司
- 2023-06-12 - 2023-10-20 - C23C14/00
- 本申请涉及一种发动机皮带轮及其表面处理方法、车辆。发动机皮带轮的表面处理方法应用于发动机皮带轮，发动机皮带轮的表面处理方法包括：在含氮气的气氛下，以Ti靶和Al靶进行电弧离子镀膜，于发动机皮带轮上沉积TiAlN涂层。上述发动机皮带轮的表面处理方法，通过在发动机皮带轮上沉积TiAlN涂层，提高了发动机皮带轮的表面的耐磨性能和防腐蚀性能，从而减缓发动机皮带轮锈蚀形成腐蚀坑的速度，避免因腐蚀坑的边缘频繁切割发动机皮带导致发动机皮带容易断裂。
- 除基底硬涂层之外的装饰性涂层-202280017126.2
- S·爱德华兹;S·D·菲尔德;B·斯托尔 - 玛泽森创新有限公司
- 2022-01-12 - 2023-10-20 - C23C14/00
- 本公开内容涉及用于制备涂覆的塑料制品的方法，该方法包括：a.提供具有至少第一和第二表面的塑料基材；b.使用物理气相沉积将包含金属或金属合金层的装饰性涂层沉积在该塑料基材上；和c.将保护性涂层施加至该塑料制品的至少第一表面，其中在该装饰性涂层的沉积前不存在该塑料基材的等离子体预处理。此外，本公开内容涉及涂覆的塑料制品，其包含：具有第一和第二表面的塑料基材，直接沉积在该塑料基材上的包含金属或金属合金层的装饰性涂层和施加至该塑料制品的第一表面的保护性涂层，其中该装饰性涂层的残余应力是拉伸的，并且该涂覆的塑料制品通过SAEJ2527加速UV测试。
- 一种翻板机构及镀膜设备-202321357558.6
- 请求不公布姓名 - 广东利元亨智能装备股份有限公司
- 2023-05-31 - 2023-10-20 - C23C14/00
- 本申请涉及板件翻转技术领域，特别涉及一种翻板机构及镀膜设备。包括机架、设置于所述机架相对两侧且同轴设置的转轴组件、以及连接于其中一所述转轴组件的驱动组件，所述转轴组件分别连接于盖板相对的两侧面，所述驱动组件用于驱动所述转轴组件旋转以令所述盖板翻转，在所述机架上对称设置有若干组支撑组件，所述支撑组件上可活动穿置有用于支撑盖板的定位块。进而通过驱动组件驱动转轴组件旋转，使得转轴组件带动盖板翻转，从而实现高效地对盖板进行翻转，翻转操作简单方便，提高对盖板的翻转效率。通过多个支撑组件和定位块对翻转后的盖板进行定位和支撑，实现对翻转后的盖板进行支撑和固定。
- 一种光学镀膜机的新型机舱结构-202320609532.X
- 裴杨 - 南阳示佳光电有限公司
- 2023-03-25 - 2023-10-13 - C23C14/00
- 本实用新型公开了一种光学镀膜机的新型机舱结构，涉及镀膜机技术领域。本实用新型包括：机舱本体；安装板，所述安装板可拆卸安装于所述机舱本体的底部，所述安装板的底部固定安装有支撑框；底板，所述底板滑动安装于所述支撑框的内周侧，所述底板底部的四个对角处均固定安装有四个万向移动轮；升降组件，所述升降组件安装于所述安装板的底部，其用于带动所述底板进行升降，所述升降组件包括两个呈对称分布固定安装于所述安装板底部的支撑板。本实用新型通过升降组件带动安装板上升，便于利用万向移动轮进行移动，带动机舱本体移动至指定地点，避免使用吊车等机械进行搬移的麻烦，方便了人们使用，提高了实用性。
- 含梯度复合结构的硬质涂层刀具及其制备方法-202210259400.9
- 裴斐;陈响明;温光华;汤爱民;罗胜;罗学全 - 株洲钻石切削刀具股份有限公司
- 2022-03-16 - 2023-09-15 - C23C14/00
- 本发明公开了一种含梯度复合结构的硬质涂层刀具及其制备方法，该刀具包括刀具基体和硬质涂层，硬质涂层包括梯度复合结构多层涂层和设于多层涂层表面的功能层TiB
- 真空处理装置-202280011677.8
- 阪上弘敏;北沢僚也;矶部辰德 - 株式会社爱发科
- 2022-03-18 - 2023-09-12 - C23C14/00
- 本发明提供一种在维持真空气氛的状态下能够尽量排除带入的颗粒的真空处理装置。具有真空室(1、2)，其设置有处理单元(4)，在真空室上连接真空泵(15)，且在真空室内安装有台架(3)；具备摆动机构，基板(Sw)与处理单元对置地被实施处理的台架的姿态为第一姿态，以实施处理时以外的台架的姿态为第二姿态，该摆动机构使台架在第一姿态与第二姿态间摆动；还具备在真空室内向台架喷射惰性气体的喷射机构(5)，喷射机构构成为可在第一流量和第二流量之间进行流量切换，所述第一流量能在使真空室内为规定压力的真空气氛的状态下喷飞附着在台架和基板中的至少一方上的颗粒，所述第二流量可将因喷飞而在真空室内扩散的颗粒向真空泵移送。
- 真空处理装置-201980075427.9
- 铃木康司;长岛英人;藤井佳词 - 株式会社爱发科
- 2019-09-12 - 2023-09-05 - C23C14/00
- 本发明提供一种通过简单的结构就可冷却真空室内设置的可动防尘板的真空处理置。具有真空室(1)并对该真空室中安装的被处理基板(Sw)实施规定的真空处理的发明的真空处理装置(SM)，其特征在于：在真空室内设置防尘板(8)，防尘板由真室中固定配置的固定防尘板(81)和在一个方向上自由移动的可动防尘板(82)构成还具有：竖直设立在真空室的内壁面(13)上的金属材质的块体(9)；以及冷却块体冷却装置(11)，在对被成膜基板实施规定的真空处理的可动防尘板的处理位置上，体的顶表面(91)与可动防尘板接近或抵接。
- 镀膜用遮挡件及挂具、渐变色镀膜的制备方法及卫浴器具-202310564649.5
- 林孝发;林孝山;蔡伟平;李震林;刘小龙;王乾廷;崔志香 - 九牧厨卫股份有限公司
- 2023-05-18 - 2023-08-22 - C23C14/00
- 一种镀膜用遮挡件及挂具、渐变色镀膜的制备方法及卫浴器具，可以克服镀膜渐变色形式少、制作不方便、渐变色不均匀、需频繁调整修正板等缺点，且适用于卫浴行业，有利于提高卫浴器具产品的颜值外观。镀膜用遮挡件，包括：遮挡件本体，包括至少一个遮挡部，遮挡部设置成筒状结构，遮挡部的侧壁设有多个流通孔，多个流通孔沿遮挡部的高度方向排布成多行流通孔组；沿着由遮挡部高度方向的第一端指向第二端的方向，遮挡部的横截面积逐渐减小，且流通孔组的总流通面积逐渐减小。
- 支撑装置和PVD设备-202320399865.4
- 尉法兵 - 三一硅能（株洲）有限公司
- 2023-03-06 - 2023-08-15 - C23C14/00
- 本实用新型涉及安全装置领域，提供一种支撑装置和PVD设备，包括第一支撑座、第二支撑座和支撑杆，第一支撑座用于与PVD设备的箱盖可拆卸连接，第二支撑座用于与PVD设备的箱体可拆卸连接，支撑杆连接在第一支撑座和第二支撑座之间。在PVD设备装配时，可使用起吊装置打开箱盖，然后将第一支撑座安装到箱盖上，将第二支撑座安装到箱体上，将支撑杆的两端分别与第一支撑座和第二支撑座连接。连接后，该支撑装置可以使箱盖保持打开状态，保证在箱体内进行附件装配的工作人员的安全。此外，当PVD设备在后期检修时，支撑装置可以保证在液压油缸出现故障意外卸力时，箱盖不会意外下落，进一步保证了工作人员的人身安全。
- 由至少两种不同的AlCr基靶材制造的耐磨涂层-202180085600.0
- M·M·埃伯索尔德;O·胡诺尔德 - 欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
- 2021-12-14 - 2023-08-11 - C23C14/00
- 沉积在基材(201)表面上的涂层体系(210)，其包含下层涂覆膜(212)、沉积为多层膜(216)的中间涂覆膜(216)，所述中间涂覆膜(216)由在彼此上交替沉积形成A/B/A/B/A…结构的多个A层和多个B层组成，A层包含铝铬和任选的一种或多种掺杂剂元素，并且B层包含氮化铝铬和一种或多种掺杂剂元素。
- 通过PVD由金属靶产生的富Al的AlCrN涂层-202180066642.X
- S·克拉斯尼策;M·M·艾伯索德 - 欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
- 2021-09-30 - 2023-07-18 - C23C14/00
- 本发明涉及涂层及其生产方法，其中所述涂层包含Al、Cr和N作为主要组分，并具有根据式(Al
- 防附着构件和真空处理装置-201980042545.X
- 阪上弘敏;大野哲宏 - 株式会社爱发科
- 2019-12-09 - 2023-07-18 - C23C14/00
- 本发明提供一种能够抑制在真空处理时从配置在放电空间的防附着构件产生的微粒的技术。本发明的防附着构件(30)具有：框状的防附着主体构件(10)；以及框状的保持构件(20)，其在使防附着主体构件(10)紧贴在真空槽(6)内的放电空间(9)侧的状态下保持防附着主体构件(10)。防附着主体构件(10)从背面(20R)被多个支撑螺栓(23)固定，所述背面(20R)是保持构件(20)的放电空间(9)侧的面的相反侧的面，支撑螺栓(23)构成为各自的顶端部不从防附着主体构件(10)的放电空间(9)侧的面即表面(10F)向放电空间(9)侧露出。
- 一种真空镀膜机用的风冷组件-202320760645.X
- 刘家康;赵鹏;陈伟 - 仪征纳环科技有限公司
- 2023-04-10 - 2023-07-07 - C23C14/00
- 本实用新型涉及了真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机用的风冷组件，包括镀膜机以及风冷框架，镀膜机的左右两侧开设通风口，在通风口上覆盖有风冷框架，风冷框架的中间固定连接有十字板，十字板上等距设有抽风扇，风冷框架的侧面上下对称设有连接环一，风冷框架的侧面中间设有带动齿轮，带动齿轮的上下侧对称设有啮合齿轮，啮合齿轮的下侧固定连接有连接环二，风冷框架的内部设有螺纹轴，风冷框架的上下侧设有导向轴，螺纹轴上设有螺纹块，导向轴上设有滑动块，滑动块、螺纹块以及风冷框架侧面设有折叠板；有益效果为：本实用新型提出一种真空镀膜机用的风冷组件对传统的真空镀膜机进行结构优化，使其更方便使用。
- 用于超级合金基底的热腐蚀保护的无铬无机涂层体系-202180070449.3
- I·贝洛夫;唐志宏;M·W·珀帕尔;D·G·科普兰;B·D·菲茨沃特 - 普莱克斯S.T.技术有限公司
- 2021-11-04 - 2023-07-04 - C23C14/00
- 本发明描述了适用于产生无机覆盖涂层体系的不含六价铬的浆液配方。该配方为超级合金基底提供优异的热腐蚀保护和高温氧化保护。提供了底涂层浆液和顶涂层浆液。该底涂层浆液包含A1:P摩尔比高于约1:3并掺有金属颗粒或金属氧化物颗粒或两者的组合的颜料的磷酸铝基水性溶液。该顶涂层浆液包含A1:P摩尔比高于约1:3的磷酸铝基水性溶液。由本发明的浆液配方制成的形成在基底上的无机覆盖涂层用于在超级合金基底上针对热腐蚀的热腐蚀保护。此外，多层涂层包括形成在超级合金基底上的金属粘结涂层和无机覆盖涂层，以进一步增强高温氧化保护和热腐蚀保护。
- 一种PVD透毫米波金属薄膜的透光颜色调控方法-202310309541.1
- 傅相林;叶国强;任建全;张晓俊;杨晓锋;郝俊峰;梅良杰;罗林;陈芳;崔民心 - 嘉兴敏惠汽车零部件有限公司
- 2023-03-28 - 2023-06-30 - C23C14/00
- 本发明公开了一种PVD透毫米波金属薄膜的透光颜色调控方法，包括以下步骤：基层颜色调控膜送入到8‑12倍的壳聚糖复调处理液中超声分散处理，处理结束、水洗、干燥；双调改性剂的制备；再置于5‑10倍的双调改性剂中浸渍处理，处理结束，水洗、干燥，即可。本发明通过不同厚度的高低折射率膜层的镀覆，实现了镀膜膜层颜色可调，通过壳聚糖复调处理液超声分散处理，再配合双调改性剂中浸渍处理，制备的金属薄膜可在颜色可调的基础上，实现透毫米波的改进，以及透波均匀性优化，产品协调性能提高，同时产品在盐碱条件下性能稳定。
- 用于PVD腔室内的元件的处理方法、挡板和元件-202111592571.5
- 薛建锋;徐磊 - 通威太阳能(安徽)有限公司
- 2021-12-23 - 2023-06-27 - C23C14/00
- 本申请涉及仪器设备领域，具体而言，涉及一种用于PVD腔室内的元件的处理方法、挡板和元件。处理方法包括：提供工作表面的表面粗糙度为4.2～8.2μm的元件；于工作表面上形成表面粗糙度为7.0～9.2μm的第一涂层；于第一涂层表面粗糙度为8.3～11.5μm的第二涂层。通过上述方法可以使元件的整个表层结构更加致密，后续材料源不会进入到元件的内部，方便后续对材料源的回收，同时表层结构元件结合强度高，有效降低其因使用场景的温度、湿度变化对表层结构粘附能力的影响。此外，上述的表层结构还可以提供较大的附着力，为材料源提供附着力，增加材料源的回收率，降低浪费，同时也可以增加前述元件的使用周期。
- 一种光学镜片真空镀膜装置-202320715021.6
- 胡鹏;胡知平;胡久荣;雷振宇 - 吉林省鑫晖精密模具有限公司
- 2023-04-04 - 2023-06-27 - C23C14/00
- 本实用新型公开了一种光学镜片真空镀膜装置，涉及镜片镀膜装置技术领域。本实用新型包括机体和箱门，所述机体的内部对称设置有安装块，两个所述安装块上对称开设有T形滑槽，且T形滑槽内滑动安装有T形支撑块，两个所述T形支撑块之间固定安装有放置板，所述放置板的侧壁上开设有多个容纳孔，多个所述容纳孔均对称开设有定位槽，且定位槽内设置有夹紧机构，所述T形支撑块的侧壁上开设有定位孔，所述定位孔内设置有定位机构。本实用新型不仅可以加快镜片的冷却，提高取料时的安全性，还可以准备多个放置板进行循环使用，从而提高整个真空镀膜装置的加工效率。
- 用于控制薄膜的原子层的射频溅射装置-202180069430.7
- 郑世泳;李有实;金秀宰;朴相彦;千美连 - 釜山大学产学合作团
- 2021-08-31 - 2023-06-23 - C23C14/00
- 本发明涉及一种用于控制薄膜的原子层的射频(RF)溅射装置，更具体地涉及如下的射频溅射装置，即，在通过射频溅射装置来制备金属薄膜时，可通过由单晶铜线形成电力电缆和电源线来消除电噪声，并通过由隔振部支撑射频溅射本体和旋转泵来阻隔物理振动，从而以原子层为单位控制从靶材脱落出来的粒子，使金属薄膜以外延附生(Epitaxy)的方式生长。
- 使用开关模式偏置系统的表面电荷与功率反馈和控制-202180061500.4
- D·卡特 - 先进工程解决方案全球控股私人有限公司
- 2021-04-19 - 2023-05-16 - C23C14/00
- 一种系统、方法和装置，用于调节等离子体室中的离子能量并避免在衬底表面上和在表面上构建的电容性结构内的过量的和破坏性的电荷累积。一种示例性方法包括将衬底放置在等离子体室中，在等离子体室中形成等离子体，可控地切换到衬底的功率以便将周期性电压函数(或修改的周期性电压函数)施加到衬底，以及响应于衬底的表面处的所限定的离子能量的分布，在周期性电压函数的多个周期上调制周期性电压函数，以便在时间平均的基础上实现所限定的离子能量的分布，并将表面电荷累积维持在阈值以下。
- 处理衬底的方法和真空沉积设备-201980033072.7
- E·舒格尔;S·吉斯 - 瑞士艾发科技
- 2019-02-27 - 2023-05-16 - C23C14/00
- 真空处理衬底或制造真空处理的衬底的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供真空室(1)，‑在所述真空室中提供至少一个衬底(30)，‑在所述真空室中产生等离子体环境(2)并将所述至少一个衬底暴露于所述等离子体环境，其中所述等离子体环境包括材料沉积源的第一等离子体(11)和非沉积源的第二等离子体(21)；‑在第一状态和第二状态之间重复地操作所述等离子体环境。本发明还涉及适应于执行所述方法的真空沉积设备。
- 成膜装置-202211243305.6
- 佐藤贵康 - 丰田自动车株式会社
- 2022-10-11 - 2023-05-05 - C23C14/00
- 本发明的实施方式所涉及的成膜装置在减压后的处理容器内设有在基板进行真空成膜的成膜室、以及与成膜室连通并对基板进行冷却的冷却室，冷却室具备：供基板移动的通路；以及冷却装置，其配置于处理容器的内壁，包括与通路相对的表面积扩大构造部、以及冷却剂的冷却剂流路。表面积扩大构造部包括从处理容器的内壁朝向通路突出设置的多个突出部，冷却剂流路沿着突出部形成。
- 用宝石装饰的黑色部件及其制备方法-202180056394.0
- F·让勒诺;G·基斯林;S·劳帕;A·马洛特杜尔;C·米克 - 奥米加股份有限公司
- 2021-07-23 - 2023-04-28 - C23C14/00
- 本发明涉及一种用于钟表或首饰的内部装配或机械的部件，包括部分涂覆有黑色层(3)并装饰有至少一个宝石(4)的基材(2)，所述黑色层(3)包含碳纳米管或氧化铝，所述基材(2)至少在面对宝石(4)的部分上没有黑色层(3)。本发明还涉及用于制备所述钟表或首饰部件的方法。
- 沉积Al
- 多米尼克·迪赫勒;法伊特·席尔 - 瓦尔特公开股份有限公司
- 2018-11-07 - 2023-04-28 - C23C14/00
- 本发明涉及一种被涂覆过的切削工具，所述被涂覆过的切削工具由基材和单层或多层硬质材料涂层构成，所述基材选自硬质合金、金属陶瓷、陶瓷、立方氮化硼(cBN)、多晶金刚石(PCD)、钢或高速钢(HSS)，并且所述硬质材料涂层包含表现出特别高的硬度和约化杨氏模量的至少一层γ‑Al
- 全自动光学光控真空镀膜系统-202211646202.4
- 乔建栋;徐胜;黄坚 - 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
- 2022-12-21 - 2023-04-14 - C23C14/00
- 本发明涉及真空镀膜系统技术领域，且公开了全自动光学光控真空镀膜系统，包括底座，所述底座的内部固定设置有加固垫，所述加固垫的上表面固定设置有弹簧，所述弹簧的上表面固定设置有镀膜板，所述镀膜板的上表面固定设置有真空镀膜设备，所述底座的外侧固定设置有安装座。该全自动光学光控真空镀膜系统，通过设置加固垫、弹簧和镀膜板、穿杆、凹板和橡胶垫，使得本发明具有减震和防摩擦的功能，减轻真空镀膜设备因外部环境影响产生的震动，一定程度增加了装置的使用寿命和使用的安全性，降低了维修成本和维修几率，同时防止真空镀膜设备与真空镀膜设备体内侧的摩擦，影响了光学镜片真空镀膜设备的完好性，从而提高了真空镀膜设备使用的安全性。
- PVD粘合层-201880041831.X
- J·拉姆;B·韦德利格;P·波尔西克;M·金德拉特 - 欧瑞康表面解决方案股份公司;普费菲孔
- 2018-04-19 - 2023-04-14 - C23C14/00
- 超级合金工件，其包含：‑超级合金基底；‑直接在超级合金基底表面上的具有基本上相同的超级合金组成的界面层(IF‑1)；随后‑过渡层(TL)，其具有基本上相同的超级合金和超级合金氧化物或不同的金属组成和不同的金属氧化物，由此过渡层的氧含量从IF‑1向IF‑2增加；具有超级合金氧化物或不同金属氧化物的屏障层(IF‑2)。
- 真空腔体-202223239783.8
- 熊凯;户家周;杨元才;杨喆 - 上海福宜真空设备有限公司
- 2022-12-02 - 2023-03-28 - C23C14/00
- 本实用新型涉及一种真空腔体，采用了真空腔体的上方设置顶板；在真空腔体的下方设置底板；在顶板和底板的中心轴线上设置抽气接口法兰；在真空腔体的一侧设置腔体上门框；腔体上门框将真空腔体分割成一半圆；抽气接口法兰的两侧，沿着顶板和底板的边缘设置若干个腔体侧壁结构；在腔体侧壁结构和腔体侧壁结构之间设置腔体侧壁焊接法兰。腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本。
- 一种芯片镀膜用真空镀膜仪-202221625171.X
- 何锋 - 何锋
- 2022-06-28 - 2023-03-21 - C23C14/00
- 本实用新型公开了一种芯片镀膜用真空镀膜仪，包括箱体和安装板，所述箱体的顶部固定连接有电机，所述电机转轴的底部贯穿至箱体的内腔并固定连接有转杆，所述转杆的底部通过轴承与箱体内腔的底部活动连接，所述转杆的表面固定连接有L型板，所述L型板的一侧贯穿设置有方杆，所述方杆的一端贯穿L型板并固定连接有方板，所述方杆靠近方板一端的表面活动套设有第一弹簧。本实用新型解决了芯片真空镀膜装置两个正负极夹持部件之间的距离虽然能调节，但由于碳丝的长度各有不同，长度小于两个夹持部件之间距离的碳丝则夹持有限，实用性差，并且一次真空镀膜的芯片个数较少，生产加工效率低的问题。
- 专利分类
