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- [发明专利]选择性沉积金刚石涂层的方法-CN202180084996.7在审
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O·迪特利希;D·布雷特
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欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
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2021-12-14
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2023-08-11
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C23C16/04
- 本发明涉及用于生产选择性金刚石涂覆的基材的方法，其中所述选择性金刚石涂覆的基材包含：基材(1)，其具有包含硬质合金材料的表面并具有被选定进行涂覆的基材表面区域(10)和未被选定进行涂覆的基材表面区域(20)；和沉积在被选定进行涂覆的所述基材表面区域(10)上的一个或多个金刚石涂层(30)，其中，所述方法包括以下步骤：第一掩蔽步骤，其在实施所述一个或多个化学预处理步骤之前实施，其中在所述第一掩蔽步骤中，通过施加胶乳掩模(50)来掩蔽未被选定进行涂覆但可能在所述一个或多个化学预处理步骤的实施期间受到化学侵蚀的所述基材表面区域(20)，所述胶乳掩模(50)覆盖这些区域(20)以避免这些区域(20)中的基材材料受到任何化学侵蚀；掩模移除步骤，其在实施所述一个或多个化学预处理步骤之后和在实施所述一个或多个涂覆步骤之前进行，其中完全移除所述胶乳掩模(50)，第二掩蔽步骤，其在实施所述一个或多个涂覆步骤之前实施，其中在所述第二掩蔽步骤中，用一个或多个掩蔽罩(60)覆盖从其上移除所述胶乳掩模(50)并且未被选定进行涂覆但可能在所述一个或多个涂覆步骤的实施期间被一个或多个金刚石涂层(30)涂覆的所述基材表面区域(20)，以避免任何金刚石涂层(30)沉积在这些区域上。
- 选择性沉积金刚石涂层方法
- [发明专利]阴极电弧源-CN202080061854.4在审
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S·克拉斯尼策;J·哈格曼;A·P·特鲁霍尔兹
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欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
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2020-07-03
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2022-04-12
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C23C14/32
- 本发明涉及阴极电弧蒸发设备，其包含：‑靶(3)，其具有包含活性表面(3’’)的靶表面(3’)，在阴极电弧方法中材料能够从其蒸发；‑围绕所述靶表面(3’)的外边界的限制部(4)；‑具有电子接受表面(2’，2’’，2’’’)的阳极(2)，所述阳极(2)在靶平面和所述活性表面前方的轴向距离中的至少一个中包括所述靶(3)和所述限制部(4)中的至少一个；‑磁性引导系统，其适于在所述靶表面处提供基本上平行于所述靶表面的至少外部区域的磁场，使得磁场线平行于所述靶表面或以锐角α向所述靶表面倾斜，在那里在表面(3’)区域中限定活性表面(3’’)，其中磁场线以锐角α≤45°进入所述靶表面；‑中心轴Z或中心平面Z’；其中所述限制部(4)和所述阳极(2)两者被制成闭合的几何形状，并且两者相对于彼此和所述靶电绝缘，在那里所述电子接受表面(2’，2’’,2’’’)距所述活性表面(3’’)的最小距离由所述靶表面(3’)的外边界到所述电子接受表面的内边界的径向距离Δr14中的至少一个限定，由此所述靶表面(3’)的外边界具有距所述靶的中间的径向距离r1，并且所述电子接受表面的内边界具有距所述靶的中间的径向距离r4，以及从所述靶表面(3’)到所述限制部的上边界的轴向距离h1或从所述靶表面(3’)到所述电子接受表面(2’，2’’，2’’’)的下边界的轴向距离h2。
- 阴极电弧
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