[发明专利]存储器的制作方法及存储器有效

专利信息
申请号: 202110406663.3 申请日: 2021-04-15
公开(公告)号: CN112951770B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 白卫平;朱丽;应战 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L21/8242 分类号: H01L21/8242;H01L27/108
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 张娜;刘芳
地址: 230011 安徽省合肥*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种存储器的制作方法及存储器,涉及存储设备技术领域,用于解决存储速度和存储效率较低的技术问题,该制作方法包括:提供基底,基底内设有多个间隔设置的电容接触垫;在每个电容接触垫的第一表面上形成第一凹槽;在第一凹槽内形成导电柱,导电柱的上端面与电容接触垫的第一表面齐平;在基底上形成多个电容器,多个电容器与多个电容接触垫一一对应且电连接;每个电容器的第一极板覆盖对应的导电柱,且第一极板的材质与导电柱的材质相同。通过在电容接触垫内设置导电柱,且导电柱和第一极板材质相同,增加了导电柱和第一极板作为一个整体与电容接触垫的接触面积,减少电容器与电容接触垫的接触电阻,从而提高存储效率和存储速度。
搜索关键词: 存储器 制作方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司,未经长鑫存储技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110406663.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top