[发明专利]一种蓝宝石复合衬底及其制备方法有效
申请号: | 202110355356.7 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113140618B | 公开(公告)日: | 2023-02-10 |
发明(设计)人: | 侯想;刘杨;钟梦洁;林赛;陈锋;罗荣煌;卢文瑞 | 申请(专利权)人: | 福建中晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/02 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 黄以琳;张忠波 |
地址: | 350000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: |
一种蓝宝石复合衬底的制备方法,包括如下步骤,在蓝宝石衬底上生成一层AlN薄膜,利用化学气相沉积法在AlN层上沉积一层SiO |
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搜索关键词: | 一种 蓝宝石 复合 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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