[发明专利]一种蓝宝石复合衬底及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110355356.7 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN113140618B 公开(公告)日: 2023-02-10
发明(设计)人: 侯想;刘杨;钟梦洁;林赛;陈锋;罗荣煌;卢文瑞 申请(专利权)人: 福建中晶科技有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L21/02
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 黄以琳;张忠波
地址: 350000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种蓝宝石复合衬底的制备方法,包括如下步骤,在蓝宝石衬底上生成一层AlN薄膜,利用化学气相沉积法在AlN层上沉积一层SiO2层,利用光阻剂及纳米压印设备进行图形转移,在SiO2层上形成光刻胶孔洞,再进行干法蚀刻,使得光刻胶孔洞进一步蚀刻为图形化孔洞,所述图形化孔洞贯穿SiO2层,所述图形化孔洞为上截面面积大于下截面的漏斗形。本方案采用沉积一层AlN层,再化学气相沉积法在AlN层上沉积一层SiO2层,通过蚀刻获得SiO2层上的图形化孔洞的做法,能够提升衬底对于光线的全反射效果,进而提升LED的发光亮度。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 复合 衬底 及其 制备 方法
【主权项】:
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