[发明专利]等离子体处理装置和消耗量测定方法在审
| 申请号： | 202110275034.1 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113451098A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 高良穣二;秋本隆太;渡边雄仁 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体处理装置和消耗量测定方法，能够以不打开腔室的方式高精度地测定导电性构件的消耗量。等离子体处理装置具有处理容器和导电性构件，所述等离子体处理装置还具有：等离子体生成部，其构成为在处理容器内生成等离子体；电力施加部，其构成为在通过等离子体生成部在处理容器内生成了等离子体的状态下向导电性构件施加直流电力；测定部，其构成为测定与通过电力施加部施加的直流电力有关的物理量；以及计算部，其构成为将测定出的与直流电力有关的物理量使用于导电性构件的消耗量同与直流电力有关的物理量的相关函数，来求出导电性构件的消耗量。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 消耗量 测定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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