[发明专利]一种半导体器件氢效应定量评价系统及方法在审
| 申请号： | 202010621597.7 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111948506A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 吴照玺;段超;丁鸷敏;孟猛;贾晓;谢晨明;王小青;王旭;郑雪峰 | 申请（专利权）人： | 中国空间技术研究院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 任林冲 |
| 地址： | 100194 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体器件氢效应定量评价系统，包括气体预混合模块、样品试验模块、气体成分分析模块、真空保持模块和控制模块，气体预混合模块包括金属腔体、流量控制阀门、程控阀门和紊流机构，金属腔体为方形腔体，左右两个面上预留螺纹孔，用于安装流量控制阀门和阀门，紊流结构连接在金属腔体侧壁，位于流量控制阀门和程控阀门之间，对从流量控制阀门通入的气体充分混合。本发明中样品试验模块中的气体可以在试验过程中不断补充，保持氢气浓度恒定，确保试验样品处于稳定的氢气浓度中，进而确保氢效应评价结果准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 效应 定量 评价 系统 方法 | ||
【主权项】：
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