[发明专利]腔室内机器人追踪控制系统及包括其的基板处理装置在审
申请号: | 202010599332.1 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN112230650A | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 金多率;姜现仁;郑翰旭 | 申请(专利权)人: | 细美事有限公司 |
主分类号: | G05D1/02 | 分类号: | G05D1/02;H01L21/677 |
代理公司: | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人: | 罗银燕 |
地址: | 韩国忠清南道天安*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及可利用多个超宽带(UWB)雷达来检测腔室内的机器人的位置的腔室内机器人追踪控制系统。为此,本发明提供腔室内机器人追踪控制系统,包括:超宽带雷达,设置于腔室内;位置检测部,通过利用借助上述超宽带雷达的数据检测在上述腔室内移动的机器人的位置;以及机器人控制部,通过对上述位置检测部所检测到的机器人的位置与障碍物的位置进行比较来控制上述机器人的移动。因此,根据本发明,具有如下的优点,即,可在腔室呢实时掌握机器人的位置,因此,可掌握机器人的移动路径是否适当,可事先防止危急的事故。 | ||
搜索关键词: | 室内 机器人 追踪 控制系统 包括 处理 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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